一种在线油液磨粒监测传感器及其制造方法技术

本发明专利技术公开了一种在线油液磨粒监测传感器及其制造方法，所述在线油液磨粒监测传感器的主管道在磨粒检测管段分成几个歧管，各歧管上都有一个传感器，各支路歧管按某一角度均匀分布，或不均匀分布，歧管的管径为主路管径的0.05至0.9倍，且支路歧管可以为一级或多级。所述方法采用MEMS微型机械电子系统方法实现了对在线油液磨粒监测传感器的制造。本发明专利技术实现了大流量的在线全流量检测，并同时提高了检测分辨率到10微米，当接入通径为7cm～10cm的润滑主路管道时，造成的压力损失小于0.3MPa。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种在线油液磨粒监测传感器，其特征在于，所述在线油液磨粒监测传感器的主管道在磨粒检测管段分成几个歧管，各歧管上都有一个传感器，各支路歧管按某一角度均匀分布，或不均匀分布，歧管的管径为主路管径的0.05至0.9倍，且支路歧管可以为一级或多级。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：孙衍山，曾周末，马闻博，张涛，
申请(专利权)人：天津大学，
类型：发明
国别省市：天津;12