一种多晶硅生产中的还原尾气冷凝分离塔制造技术

技术编号:10369852 阅读:157 留言:0更新日期:2014-08-28 12:29
本实用新型专利技术公开了一种多晶硅生产中的还原尾气冷凝分离塔,该还原尾气冷凝分离塔包括:还原尾气集液器、循环水换热器、气气换热器、氟利昂换热器、冷凝分离塔顶封头,还原尾气集液器、循环水换热器、气气换热器、氟利昂换热器、冷凝分离塔顶封头从下往上依次连接成塔状。相对于现有技术中的通过管道串联起来的多晶硅生产中回收冷凝的装置来说,本实用新型专利技术能节约基础建造成本15%,并能够达到更好的冷凝分离效果,从而将氯硅烷与不可被冷凝的氢气与大部分氯硅烷分离开来。本实用新型专利技术中的还原尾气冷凝分离塔利用重力原理及冷凝过程中的冷量及热量进行相互换热,充分利用冷量,从而达到很好的冷凝分离效果及降低生产能耗以及减少建设用地的目的。(*该技术在2024年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅生产中的还原尾气冷凝分离塔
本技术属于多晶硅生产
,具体涉及一种多晶硅生产中的还原尾气冷凝分离塔。
技术介绍
在多晶硅生产过程中,还原尾气冷凝分离系统是将还原尾气中的可被冷凝的氯硅烷与不可被冷凝的氢气及大部分氯化氢分离开来。如图1所示,是专利CN201305657Y中所公开的现有技术中的多晶硅生产中还原尾气回收冷凝的装置,用于对还原尾气进行冷凝分离,还原尾气包括氢气、氯硅烷和氯化氢,所述装置包括一级换热器1、二级换热器2、三级换热器3、四级换热器4和冷凝液储罐5,其中,一级换热器1、二级换热器2、三级换热器3、四级换热器4和冷凝液储罐5均通过管道连接,该连接方式为通过管道进行串联连接降温冷却,从而达到将氯硅烷与氢气以及大部分氯化氢分离的目的。该装置不仅需要大量的冷量才能将尾气中的可凝组分与非可凝组分分离开来,而且各换热器及冷凝液储罐5通过管道连接,需要较大的空间。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是针对现有技术中存在的上述不足,提供一种多晶硅生产中的还原尾气冷凝分离塔,该还原尾气冷凝分离塔利用重力原理及冷凝过程中的冷量及热量进行相互换热,充分利用冷量,从而达到很好的冷凝分离效果及降低生产能耗以及减少建设用地的目的。解决本技术技术问题所采用的技术方案是提供一种多晶硅生产中的还原尾气冷凝分离塔包括:还原尾气集液器、循环水换热器、气气换热器、氟利昂换热器、冷凝分离塔顶封头,所述还原尾气集液器、所述循环水换热器、所述气气换热器、所述氟利昂换热器、所述冷凝分离塔顶封头从下往上依次连接成塔状,其中,所述还原尾气集液器用于收集冷凝下来的液体,所述冷凝分离塔顶封头上设置有还原尾气出口,该还原尾气出口用于排出未被冷凝的还原尾气。优选的是,所述还原尾气集液器、所述循环水换热器、所述气气换热器、所述氟利昂换热器、所述冷凝分离塔顶封头,从下往上依次通过法兰连接。优选的是,所述还原尾气集液器的两端分别设置有用于还原尾气从塔底进入的还原尾气集液器入口端和还原尾气集液器出口端,所述还原尾气集液器入口端用于通入还原尾气,所述循环水换热器的两端分别设置有循环水换热器入口端和循环水换热器出口端,所述气气换热器的两端分别设置有气气换热器入口端和气气换热器出口端,所述氟利昂换热器的两端分别设置有氟利昂换热器入口端和氟利昂换热器出口端,所述还原尾气集液器出口端与所述循环水换热器入口端连接,所述循环水换热器出口端与所述气气换热器入口端连接,所述气气换热器出口端与所述氟利昂换热器入口端连接,所述氟利昂换热器出口端与所述冷凝分离塔顶封头连接,所述冷凝分离塔顶封头上设置有还原尾气出口,该还原尾气出口用于排出还原尾气,所述循环水换热器出口端的温度为30?50°C,所述气气换热器出口端的温度为-15?-20°C,所述氟利昂换热器出口端的温度为-35?-40°C。优选的是,在所述循环水换热器与所述气气换热器之间设置有第一再分布器,该第一再分布器用于还原尾气冷凝过程中的缓冲作用。优选的是,在所述气气换热器与所述氟利昂换热器之间设置有第二再分布器,该第二再分布器用于还原尾气冷凝过程中的缓冲作用。优选的是,所述的多晶硅生产中的还原尾气冷凝分离塔还包括还原尾气除泡沫器,该还原尾气除泡沫器设置于所述还原尾气冷凝分离塔内部或者设置于所述氟利昂换热器与所述冷凝分离塔顶封头之间,所述还原尾气除泡沫器用于还原尾气冷凝过程中的除泡沫作用。优选的是,在所述氟利昂换热器与所述还原尾气除沫器之间设置有第三再分布器,该第三再分布器用于还原尾气冷凝过程中的缓冲作用。本技术中的多晶硅生产中的还原尾气冷凝分离塔相对于现有技术中的通过管道串联起来的多晶硅生产中回收冷凝的装置来说,能够节约基础建造成本15%,并且能够达到更好的冷凝分离效果,从而将氯硅烷与不可被冷凝的氢气与大部分氯硅烷分离开来。本技术中的多晶硅生产中的还原尾气冷凝分离塔利用重力原理及冷凝过程中的冷量及热量进行相互换热,充分利用冷量,从而达到很好的冷凝分离效果及降低生产能耗以及减少建设用地的目的。【附图说明】图1是现有技术中的多晶硅生产中还原尾气回收冷凝装置的结构示意图;图2是本技术实施例中的多晶硅生产中的还原尾气冷凝分离塔的结构示意图。图中:1-一级换热器;2_ 二级换热器;3_三级换热器;4_四级换热器;5_冷凝液储罐;6_还原尾气集液器;7_循环水换热器;8_气气换热器;9_氟利昂换热器;10_冷凝分离塔顶封头;11-还原尾气出口 ;12_法兰;13-还原尾气集液器入口端;14-还原尾气集液器出口端;15_循环水换热器入口端;16_循环水换热器出口端;17_气气换热器入口端;18-气气换热器出口端;19_氟利昂换热器入口端;20_氟利昂换热器出口端;21_循环水入口 ;22_循环水出口 ;23_氢气入口 ;24_氢气出口 ;25_氟利昂入口 ;26_氟利昂出口 ;27_第一再分布器;28_第二再分布器;29_还原尾气除泡沫器;30_第三再分布器。【具体实施方式】为使本领域技术人员更好地理解本技术的技术方案,下面结合附图和【具体实施方式】对本技术作进一步详细描述。实施例如图2所示,本实施例提供一种多晶硅生产中的还原尾气冷凝分离塔,包括:还原尾气集液器6、循环水换热器7、气气换热器8、氟利昂换热器9、冷凝分离塔顶封头10,所述还原尾气集液器6、所述循环水换热器7、所述气气换热器8、所述氟利昂换热器9、所述冷凝分离塔顶封头10从下往上依次连接成塔状,其中,所述还原尾气集液器6用于收集冷凝下来的液体,所述冷凝分离塔顶封头10上设置有还原尾气出口 11,该还原尾气出口 11用于排出未被冷凝的还原尾气。当使用多晶硅生产中的还原尾气冷凝分离塔进行还原尾气的冷凝分离时,首先,将还原尾气从还原尾气冷凝分离塔的最下部通入到还原尾气冷凝分离塔内,还原尾气首先进入还原尾气集液器6内;再向上流动进入到循环水换热器7内进行冷凝,其中被冷凝下来的液体在重力的作用下向下流动进入到还原尾气集液器6内,未被冷凝的还原尾气继续向上流动进入气气换热器8内;还原尾气在气气换热器8内进行冷凝,其中被冷凝下来的液体在重力的作用下向下流动进入循环水换热器7内,被冷凝下来的液体在循环水换热器7内同时还可以对从还原尾气集液器6进入到循环水换热器7内的还原尾气进行冷凝,这样使得被气气换热器8冷凝下来的液体作为冷源,从而提高了循环水换热器7内的冷凝效率,其中在气气换热器8内未被冷凝下来的还原尾气继续向上流动进入氟利昂换热器9内;还原尾气在氟利昂换热器9内进行冷凝,其中被冷凝下来的液体在重力的作用下向下流动进入气气换热器8内,被冷凝下来的液体在气气换热器8内同时还可以对从循环水换热器7进入到气气换热器8内的还原尾气进行冷凝,这样使得被氟利昂换热器9冷凝下来的液体作为冷源,从而提高了气气换热器8内的冷凝效率,其中在氟利昂换热器9内未被冷凝下来的还原尾气继续向上流动进入冷凝分离塔顶封头10 ;然后由冷凝分离塔顶封头10排出。本实施例中的多晶硅生产中的还原尾气冷凝分离塔相对于现有技术中的通过管道串联起来的多晶硅生产中回收冷凝的装置来说,能够节约基础建造成本15%,并且能够达到更好的冷凝分离效果,从而将氯硅烷与本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多晶硅生产中的还原尾气冷凝分离塔,其特征在于,包括:还原尾气集液器、循环水换热器、气气换热器、氟利昂换热器、冷凝分离塔顶封头,所述还原尾气集液器、所述循环水换热器、所述气气换热器、所述氟利昂换热器、所述冷凝分离塔顶封头从下往上依次连接成塔状,其中,所述还原尾气集液器用于收集冷凝下来的液体,所述冷凝分离塔顶封头上设置有还原尾气出口,该还原尾气出口用于排出未被冷凝的还原尾气。

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅生产中的还原尾气冷凝分离塔,其特征在于,包括:还原尾气集液器、循环水换热器、气气换热器、氟利昂换热器、冷凝分离塔顶封头,所述还原尾气集液器、所述循环水换热器、所述气气换热器、所述氟利昂换热器、所述冷凝分离塔顶封头从下往上依次连接成塔状,其中,所述还原尾气集液器用于收集冷凝下来的液体,所述冷凝分离塔顶封头上设置有还原尾气出口,该还原尾气出口用于排出未被冷凝的还原尾气。2.根据权利要求1所述的多晶硅生产中的还原尾气冷凝分离塔,其特征在于,所述还原尾气集液器、所述循环水换热器、所述气气换热器、所述氟利昂换热器、所述冷凝分离塔顶封头,从下往上依次通过法兰连接。3.根据权利要求1所述的多晶硅生产中的还原尾气冷凝分离塔,其特征在于,所述还原尾气集液器的两端分别设置有用于还原尾气从塔底进入的还原尾气集液器入口端和还原尾气集液器出口端,所述循环水换热器的两端分别设置有循环水换热器入口端和循环水换热器出口端,所述气气换热器的两端分别设置有气气换热器入口端和气气换热器出口端,所述氟利昂换热器的两端分别设置有氟利昂换热器入口端和氟利昂换热器出口端,所述还原尾气集液器出口端与所述循环水换热器入口端连接,所述循环水换热器出口端与所述气气换热器入口...

【专利技术属性】
技术研发人员:王东陈文岳罗永君
申请(专利权)人:新特能源股份有限公司
类型:新型
国别省市:新疆;65

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