薄板部件移载装置制造方法及图纸

提供一种薄板部件移载装置，即使在薄板部件以狭小的间隔收纳于收纳部件内的情况下，也能够可靠地保持并移载。薄板部件移载装置(1)将以规定的间隔排列收纳于第一收纳部件(5)的多张薄板部件(3)移载到第二收纳部件(8)，所述薄板部件移载装置(1)具备：保持移动部件(10)、(20)，它们具有多个保持件(11)、(21)，将薄板部件(3)以多张集中起来的方式以规定的间隔进行保持并使所述薄板部件(3)移动；第一突出部件(50)，其以每隔规定的张数的方式将被收纳于第一收纳部件的薄板部件(3)顶起，用以在第一收纳部件(5)和保持移动部件(10)、(20)之间进行薄板部件(3)的交接；以及第二突出部件(60)，其在保持移动部件(10)、(20)和第二收纳部件(8)之间进行薄板部件(3)的交接。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】薄板部件移载装置
本专利技术涉及移载半导体用晶片等薄板部件的薄板部件移载装置，特别涉及同时移载多张薄板部件的薄板部件移载装置。
技术介绍
以往提供有许多移载装置，所述移载装置将用于半导体制造的半导体晶片或用于液晶显示装置的玻璃薄板等薄板部件以多张集中起来的方式从规定的场所移载到规定的场所。例如，在下述专利文献1、2中公开了将晶片或玻璃基板等薄板部件以多张集中起来的方式从规定的收纳部件保持并移载到其他收纳部件的移载装置。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开2000-114344号公报专利文献2：日本特开2006-156667号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题但是，在上述专利文献1、2所公开的薄板部件移载装置中，是通过真空吸附来吸附保持各薄板部件，需要在收纳于收纳部件的各薄板部件之间插入用于吸附的板状吸附部件。因此，在上述专利文献1、2的移载装置中，若没有将薄板部件以比板状吸附部件的厚度大的间隔收纳在收纳部件内，则无法吸附保持薄板部件，产生了由于薄板部件的收纳间距而无法进行移载这样的问题。本专利技术正是鉴于这样的课题而完成的，其目的在于提供一种薄板部件移载装置，即使在薄板部件以狭本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种薄板部件移载装置，其将以规定的间隔排列收纳于第一收纳部件的多张薄板部件移载到第二收纳部件，所述薄板部件移载装置的特征在于，其具备：保持移动部件，其具有以规定的间隔设置的多个保持件，用以一张一张地保持所述薄板部件，所述保持移动部件将所述薄板部件以多张集中起来的方式以规定的间隔进行保持并使所述薄板部件移动；第一突出部件，其以每隔规定的张数的方式支承被收纳于所述第一收纳部件的所述薄板部件，并朝向所述保持移动部件突出，用以在所述第一收纳部件和所述保持移动部件之间进行所述薄板部件的交接；以及第二突出部件，其支承被所述保持移动部件移动到所述第二收纳部件的附近的多张所述薄板部件，并将该多张所述薄板部件收...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.12.16 JP 2011-2752481.一种薄板部件移载装置，其将以规定的间隔排列收纳于第一收纳部件的多张薄板部件移载到第二收纳部件，所述薄板部件移载装置的特征在于，其具备：保持移动部件，其具有以规定的间隔设置的多个保持件，用以一张一张地保持所述薄板部件，所述保持移动部件将所述薄板部件以多张集中起来的方式以规定的间隔进行保持并使所述薄板部件移动；第一突出部件，其以每隔规定的张数的方式支承被收纳于所述第一收纳部件的所述薄板部件，并朝向所述保持移动部件突出，用以在所述第一收纳部件和所述保持移动部件之间进行所述薄板部件的交接；以及第二突出部件，其支承被所述保持移动部件移动到所述第二收纳部件的附近的多张所述薄板部件，并将该多张所述薄板部件收纳到所述第二收纳部件，用以在所述保持移动部件和所述第二收纳部件之间进行所述薄板部件的交接。2.根据权利要求1所述的薄板部件移载装置，其特征在于，所述薄板部件移载装置还具备：中间回转载物台，其具有旋转自如的旋转工作台，用以临时载置被所述保持移动部件移动的所述薄板部件并且使所载置的所述薄板部件的表背翻转，所述中间回转载物台被设置在所述第一收纳部件和所述第二收纳部件之间；以及第三突出部件，其支承被所述保持移动部件移动到所述中间回转载物台的附近的多张所述薄板部件并载置到所述旋转工作台上，用以在所述保持移动部件和所述中间回...

【专利技术属性】
技术研发人员：藤原弘一，藤原贤司，
申请(专利权)人：福来斯科精密机械有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP