本实用新型专利技术提供一种主传动装置，该装置至少包括：旋转气缸及一端与该旋转气缸底部连接并沿该旋转气缸底部滑动的第一横杆；具有滑槽的第二横杆；所述第一横杆的另一端通过第二横杆的滑槽固定于所述第二横杆；所述第一横杆沿所述滑槽来回滑动并在水平方向绕所述第二横杆旋转；竖轴；所述第二横杆末端与竖轴顶部连接并绕竖轴在水平方向旋转；穿过所述第二横杆与竖轴的连接端将所述竖轴固定于一基板上的螺杆；由水平杆和竖直杆连接构成的框架；所述螺杆顶部连接于所述水平杆；所述竖直杆底部固定于所述基板上。该装置延长螺杆并外加与螺杆固定的框架，使竖轴在旋转气缸作用下受到的剪切力分散到所述螺杆及框架中，增加了竖轴的使用寿命。
【技术实现步骤摘要】
一种主传动装置
本技术涉及一种半导体制造设备，特别是涉及一种用于晶圆的主传动装置。
技术介绍
半导体制程中，一种主传动装置是用来将晶圆定位以及传输的装置，该装置在晶圆的定位过程中防止晶圆偏出。如图1所示，表示的是现有技术中所述主传动装置的结构不意图，该装置至少包括:旋转气缸10, —端与所述旋转气缸10底部相连接的第一横杆11,所述第一横杆11可沿所述旋转气缸的底部滑动，所述第一横杆11的另一端与所述第二横杆12通过所述第二横杆的滑槽连接，所述第一横杆可沿所述滑槽来回滑动，同时并可在水平方向绕所述第二横杆12旋转；与所述第二横杆12的末端连接的竖轴13，所述第二横杆可绕所述竖轴13在水平方向旋转，穿过所述第二横杆与所述竖轴13的连接端将所述竖轴固定于一基板14上的螺杆15。该装置的工作原理是:当所述旋转气缸10在驱动力的作用下旋转时，与所述气缸底部连接的第一横杆11由旋转气缸10带动并在水平方向滑动，由于所述第一横杆的旋动，与所述第一横杆11连接的第二横杆12通过所述滑槽在所述第一横杆11的带动下也发生水平方向的旋动，所述第二横杆的旋动使得与其末端连接的竖轴发生旋转，同时，该装置还包括位于所述竖轴表面的用于卡持传输带的齿轮，在所述基板上还具有另外其他多个竖轴，用于卡持所述传输带，通过传输带将旋转气缸旋转时的外力传输到所述其他多个竖轴，其他多个竖轴就会发生旋转，由于所述其他几个竖轴通过所述基板，并在所述基板的下方通过所述其他多个竖轴连接夹持器，所述夹持器会随着所述竖轴的旋转发生转动从而达到夹持晶圆的目的。在所述竖轴发生旋转的是由于受到一个扭力，该扭力的作用是使得所述竖轴发生旋转，是一个驱动力，除此之外，位于所述竖轴内部的螺杆也会受到一个较大的切向剪切力，该剪切力是随着扭力的产生同时产生的,而该剪切力作用于所述竖轴内部的螺杆上,所述螺杆经常会被扭断，该剪切力是一个多余的力，但又无法消除。通常情况下，半导体制程中用于晶圆的主传动装置较为昂贵，由于所述螺杆经常性的扭断而需要不断更换，极大地增加了生产需要的费用，造成生产成本上升。因此，有必要提出一种新的用于晶圆的转动装置来解决目前存在的如上所述的问题。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种主传动装置，用于解决现有技术中由于晶圆主传动装置中的竖轴经常性被扭断并且需要更换新的竖轴而导致半导体生产成本上升的问题。为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种主传动装置，所述主传动装置至少包括:旋转气缸以及一端与所述旋转气缸底部连接并沿所述旋转气缸底部滑动的第一横杆；具有滑槽的第二横杆；所述第一横杆的另一端通过所述第二横杆的滑槽固定于所述第二横杆；所述第一横杆沿所述滑槽来回滑动并在水平方向绕所述第二横杆旋转；竖轴；所述第二横杆的末端与所述竖轴顶部连接并绕所述竖轴在水平方向旋转；穿过所述第二横杆与所述竖轴的连接端将所述竖轴固定于一基板上的螺杆；由水平杆和竖直杆连接构成的框架；所述螺杆的顶部连接于所述水平杆；所述竖直杆的底部固定于所述基板上。作为本技术的主传动装置的一种优选方案，所述螺杆位于所述第二横杆上方部分的长度不小于位于所述竖轴内部的长度。作为本技术的主传动装置的一种优选方案，所述螺杆的直径不小于所述竖轴直径的三分之一。作为本技术的主传动装置的一种优选方案，所述螺杆的轴心线与所述竖轴的轴心线重合。作为本技术的主传动装置的一种优选方案，与所述螺杆连接的框架为两个。作为本技术的主传动装置的一种优选方案，除与所述螺杆顶部连接的所述框架的水平杆以外，所述另一框架的水平杆与所述螺杆的连接端位于所述竖轴上方与螺杆顶部之间。作为本技术的主传动装置的一种优选方案，所述两个框架的水平投影不在一条直线上。作为本技术的主传动装置的一种优选方案，所述竖轴表面具有卡持传输带的齿轮。作为本技术的主传动装置的一种优选方案，该装置还包括固定于所述基板上且具有齿轮的至少两个传动竖轴，所述至少两个传动竖轴的齿轮中卡有传输带，该传输带与所述竖轴表面齿轮中的传输带首尾连接形成一个闭合传输带。作为本技术的主传动装置的一种优选方案，该装置还包括位于所述基板下方且与所述两个传动竖轴的底部分别连接的夹持杆，所述夹持杆用于夹持晶圆。如上所述，本技术的主传动装置，通过将现有技术中所述主传动装置的螺杆进行加长，并在所述加长的螺杆顶部连接一个由水平杆和竖直杆构成的框架。具有以下有益效果:当所述竖轴发生旋转时，受到的切向的剪切力会分担在所述加长的螺杆以及所述框架的各个部分，减小了所述螺杆所受剪切力的大小，使得所述螺杆以及竖轴不易被频繁扭断，节约了生产成本，同时提高了工作效率。【附图说明】图1为现有技术中的主传动装置示意图。图2为本技术的一种主传动装置示意图。图3为本技术的另一种主传动装置示意图。元件标号说明10、20 旋转气缸11,21 第一横杆12、22 第二横杆13、23 竖轴14、24 基板15、25 螺杆261、263 水平杆262、264 竖直杆27传动竖轴28夹持杆29晶圆【具体实施方式】以下通过特定的具体实例说明本技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点与功效。本技术还可以通过另外不同的【具体实施方式】加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本技术的精神下进行各种修饰或改变。请参阅图2至图3。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本技术的基本构想，遂图式中仅显示与本技术中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制 ，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。如图2所示，本技术提供一种主传动装置，该装置至少包括:旋转气缸20，一端与所述旋转气缸20的底部相连接的第一横杆21，所述第一横杆21可沿所述旋转气缸20的底部滑动，所述第一横杆21的另一端连接有第二横杆22，所述第一横杆与所述第二横杆22的连接是通过位于所述第二横杆表面的滑槽将所述第一横杆21的另一端固定于所述第二横杆22，所述第一横杆21可沿所述滑槽来回滑动并可在水平方向绕所述第二横杆22旋转；图2中，所述第二横杆表面黑色区域表示所述滑槽；当所述旋转气缸20在外力的驱动作用下发生旋转时，与所述旋转气缸底部相连接的所述第一横杆的一端由所述旋转气缸带动沿所述旋转气缸底面发生滑动，由于所述第一横杆21的另一端通过所述第二横杆22表面的滑槽连接于所述第二横杆22，因此，所述第一横杆在发生滑动时，带动所述第二横杆22发生旋转，所述第二横杆22仅在水平方向发生旋转。所述第二横杆22的末端与一竖轴23的顶部相互连接，穿过所述第二横杆22与所述竖轴连接端的螺杆25将所述竖轴23固定于一基板24上，由于所述第二横杆22的末端与所述竖轴23相互连接，所述螺杆25穿过所述第二横杆22与所述竖轴的连接端并将所述竖轴固定在所述基板24上，因此所述第二横杆22可绕所述竖轴在水平方向旋转；当所述第二横杆22在所述第一横杆21的带动下发生旋转时，所述第二横杆22以所述竖轴为圆心，在水平方向发生旋转。由于所述本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种主传动装置，其特征在于，所述主传动装置至少包括：旋转气缸以及一端与所述旋转气缸底部连接并沿所述旋转气缸底部滑动的第一横杆；具有滑槽的第二横杆；所述第一横杆的另一端通过所述第二横杆的滑槽固定于所述第二横杆；所述第一横杆沿所述滑槽来回滑动并在水平方向绕所述第二横杆旋转；竖轴；所述第二横杆的末端与所述竖轴顶部连接并绕所述竖轴在水平方向旋转；穿过所述第二横杆与所述竖轴的连接端将所述竖轴固定于一基板上的螺杆；由水平杆和竖直杆连接构成的框架；所述螺杆的顶部连接于所述水平杆；所述竖直杆的底部固定于所述基板上。
【技术特征摘要】
1.一种主传动装置，其特征在于，所述主传动装置至少包括: 旋转气缸以及一端与所述旋转气缸底部连接并沿所述旋转气缸底部滑动的第一横杆； 具有滑槽的第二横杆；所述第一横杆的另一端通过所述第二横杆的滑槽固定于所述第二横杆；所述第一横杆沿所述滑槽来回滑动并在水平方向绕所述第二横杆旋转； 竖轴；所述第二横杆的末端与所述竖轴顶部连接并绕所述竖轴在水平方向旋转；穿过所述第二横杆与所述竖轴的连接端将所述竖轴固定于一基板上的螺杆； 由水平杆和竖直杆连接构成的框架；所述螺杆的顶部连接于所述水平杆；所述竖直杆的底部固定于所述基板上。2.根据权利要求1所述的主传动装置，其特征在于:所述螺杆位于所述第二横杆上方部分的长度不小于位于所述竖轴内部的长度。3.根据权利要求1或2所述的主传动装置，其特征在于:所述螺杆的直径不小于所述竖轴直径的三分之一。4.根据权利要求1所述的主传动装置，其特征在于:所述螺杆的...
【专利技术属性】
技术研发人员：蔡茂，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11
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