压电陶瓷板以及板状基体、和电子部件制造技术

提供烧制所引起的变形小的压电陶瓷板以及板状基体、和电子部件。适合用于主面(1c)的面积360mm2以上、厚度150μm以下的压电陶瓷板(1)中，压电陶瓷板(1)具有一对四边形状的主面(1c)、和对置的一对第1侧面(1d)以及对置的一对第2侧面(1e)，一对第1侧面(1d)是烧完面，并在将第1侧面(1d)的长度方向中央的一对第1侧面(1d)间的长度设为Lc、将第1侧面(1d)的长度方向端的一对第1侧面(1d)间的长度设为Le时，该Le与Lc之差ΔL、和Lc的比率(ΔL/Lc)为1.0％以下。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及压电陶瓷板以及板状基体、和电子部件。
技术介绍
压电陶瓷板用在将经由压电现象而产生的位移或力利用为机械性驱动源的压电致动器等各种电子部件中。压电致动器随着其用途扩大，以更低电压得到更大位移或产生力的层叠压电致动器被较多地使用以往，由于烧制后的压电陶瓷板的变形(收缩偏差)较大，因此，为了将压电陶瓷板的形状、尺寸控制在给定范围内，在烧制后进行压电陶瓷板的切断、研磨等加工(例如参考专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：特开平3-54878号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题但在，以往如上述那样，由于为了将压电陶瓷板的形状、尺寸控制在给定范围内，而在烧制后进行切断或进行研磨，因此有工序增加、制造成本也变高的课题。本专利技术目的在于，提供能减少烧制后的加工的压电陶瓷板以及板状基体、和电子部件。用于解决课题的手段本专利技术的压电陶瓷板的特征在于，具有一对四边形状的主面、和对置的一对第1侧面以及对置的一对第2侧面，所述一对第1侧面是烧完面，并且在将所述第1侧面的长度方向中央的所述一对第1侧面间的长度设为Lc、将所述第1侧面的长度方向端的所述一对第1侧面间的长度设为Le时，该Le与所述Lc之差ΔL、和所述Lc的比率(ΔL/Lc)为1.0％以下。本专利技术的压电陶瓷板的特征在于，具有一对四边形状的主面、和对置的一对第1侧面以及对置的一对第2侧面，所述主面的面积为360mm2以上，并且所述一对第1侧面的烧完面。本专利技术的板状基体的特征在于，在压电陶瓷板内具有内部电极。本专利技术的电子部件的特征在于，具备：表面电极，其配置于上述板状基体的表面；和通孔导体，其与所述内部电极连接，在所述压电陶瓷板的厚度方向上延伸而被引出到所述板状基体的表面，并且所述压电陶瓷板的所述一对第2侧面是烧完面。本专利技术的电子部件的特征在于，具备：上述板状基体；和外部电极，其配置于所述压电陶瓷板的第2侧面，与所述内部电极连接，并且在所述压电陶瓷板的第2侧面具有加工面，在该加工面配置所述外部电极。专利技术的效果根据本专利技术的压电陶瓷板，能减少烧制后的加工。另外，根据本专利技术的板状基体、电子部件，能减少制造成本。附图说明图1是表示压电陶瓷板的图，(a)是立体图，(b)是从第1侧面到主面的表面的扫描型电子显微镜(SEM)照片。图2(a)是关于主面为长方形的压电陶瓷板的变形量的说明图，(b)是关于主面为梯形的压电陶瓷板的变形量的说明图。图3是示意表示电子部件的第1实施方式的图，(a)是概略俯视图，(b)是(a)的A-A线截面图。图4是手持电子部件的状态的照片。图5是表示电子部件的第2实施方式的图，(a)是概略纵截面图，(b)是概略横截面图。图6是表示压电体层的组织的说明图。图7是表示样本No.3的X射线衍射结果的图。图8是表示样本No.5的X射线衍射结果的图。具体实施方式(压电陶瓷板)图1(a)表示本实施方式的压电陶瓷板1，该压电陶瓷板1具有：具备对置的大致平行的一对边1a、另一对边1b的长方形的一对主面1c、对置的一对第1侧面1d以及对置的一对第2侧面1e。构成一对第1侧面1d的主面1c侧的边是主面1c的边1a。由此，一对第1侧面1d成为大致平行。并且，如图1(b)所示那样，一对第1侧面1d是烧完面。另外，图1(b)是为了能确认第1侧面1d和主面1c而从主面1c的斜上方观察压电陶瓷板1的表面的SEM照片。如图1(b)所示那样，所谓烧完面，是指烧制后未进行加工的面，是由角变圆的结晶粒子(陶瓷粒子)构成的面。另外，在该实施方式中，关于一对第2侧面1e、一对主面1c，也是烧完面，全周为烧完面。并且，如图2(a)所示那样，在将第1侧面1d的长度方向(x轴方向)中央的一对第1侧面1d间的长度设为Lc、将第1侧面1d的长度方向(x轴方向)端的一对第1侧面1d间的长度设为Le时，Le与Lc之差ΔL和Lc的比率(ΔL/Lc)为1.0％以下。特别地，ΔL/Lc为0.4％以下，进而为0.2％以下，更进一步为0.1％以下。另外，差ΔL是从长的一方的长度减去短的一方的长度值，以成为正值。第1侧面1d间的长度例如能用游标卡尺或图像尺寸测定器(CNC图像测定器等)测定。具体地，如图2(a)中两点划线所示那样，引出将压电陶瓷板1的主面1c中的一个边1a的两端间连结起来的直线，对该直线上的边1a的两端的中点引垂线C(一点划线)，求取该垂线C与主面1c的一对边1a的交叉点，将这些交叉点间的长度设为Lc。另外，引出位于一个边1a的两端的任一端、并与垂线C平行的线E，求取该线E与一对边1a的交叉点，将这些交叉点间的长度设为Le。在本实施方式的压电陶瓷板1中，由于ΔL/Lc为1.0％以下，因此，即使不进行切断或研磨等加工也能控制在给定的形状、尺寸，能简单地得到正确的形状、尺寸的压电陶瓷板1，制造成本也能降低。另外，由于在烧制后不进行加工，因此能降低薄的压电陶瓷板1的缺损、碎裂等损坏。另外，图1中对具有长方形的一对主面1c的压电陶瓷板1进行了说明，但当然也可以如图2(b)所示那样，是具有梯形的一对主面1c的压电陶瓷板1。引出将主面1c的一对边1a当中短的一方的边1a的两端间连起来的直线，对该直线上的边1a的两端的中点引垂线C(一点划线)，另外，引出位于一方的边1a的两端的任一端、并与垂线C平行的线E，由此来求取该情况下的Le和Lc。另外，在图1中，说明了一对主面1c是烧完面的情况，但也可以不是烧完面。通过使一对主面1c也是烧完面，能够不需要烧制后的压电陶瓷板1的主面1c的加工。另外，压电陶瓷板1在主面1c的面积为360mm2以上的情况下，(ΔL/Lc)为1.0％以下，进而在主面1c的面积为1000mm2以上的情况下，(ΔL/Lc)也可以为1.0％以下。另外，主面1c的面积能以上述Lc与边1a的两端间的长度之积求取。进而，在没有内部电极的情况下，压电陶瓷板1在具有上述主面1c的面积的情况下，在厚度为50μm以下、进而30μm以下时，(ΔL/Lc)也可以为1.0％以下。(板状基体、电子部件)图3表示电子部件的第1实施方式，该电子部件具备在压电陶瓷板1内具有内部电极5的板状基体8。并且具备：在板状基体8表面形成多个的表面电极10；和与内部电极5连接、在压电陶瓷板1的厚度方向(z轴方向)上本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电陶瓷板，其特征在于，具有一对四边形状的主面、和对置的一对第1侧面以及对置的一对第2侧面，所述一对第1侧面是烧完面，并且在将所述第1侧面的长度方向中央处的所述一对第1侧面间的长度设为Lc、将所述第1侧面的长度方向端部的所述一对第1侧面间的长度设为Le时，该Le与所述Lc之差ΔL、和所述Lc的比率(ΔL/Lc)为1.0％以下。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.08.29 JP 2014-1757671.一种压电陶瓷板，其特征在于，
具有一对四边形状的主面、和对置的一对第1侧面以及对置的一对第
2侧面，
所述一对第1侧面是烧完面，
并且在将所述第1侧面的长度方向中央处的所述一对第1侧面间的长
度设为Lc、将所述第1侧面的长度方向端部的所述一对第1侧面间的长度
设为Le时，该Le与所述Lc之差ΔL、和所述Lc的比率(ΔL/Lc)为1.0％
以下。
2.根据权利要求1所述的压电陶瓷板，其特征在于，
所述一对主面是烧完面。
3.根据权利要求1或2所述的压电陶瓷板，其特征在于，
所述一对第1侧面由角变圆的结晶粒子构成。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的压电陶瓷板，其特征在于，
所述主面的面积为360mm2以上。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的压电陶瓷板，其特征在于，
所述主面的面积为1000mm2以上。
6....

【专利技术属性】
技术研发人员：福冈修一，江口知宣，中久保仁，
申请(专利权)人：京瓷株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP