一种片状纳米氧化锌的生长方法技术

本发明专利技术公开一种片状纳米氧化锌的生长方法，首先用电子束蒸镀法制备具有一层催化剂的衬底；然后将0.5-1g由氧化锌、石墨与五氧化二磷组成的混合粉末填装入刚玉瓷舟中，将步骤（1）所得的表面具有一层催化剂的衬底放置于刚玉瓷舟内的混合粉末上方；然后将刚玉瓷舟放入管式炉中的加热区域，通入由氧气和氩气组成的混合气为载气，加热至800-1000℃进行保温3-60min，然后随炉自然冷却至室温，停止通入载气，即得片状纳米氧化锌。本发明专利技术的一种片状纳米氧化锌的生长方法，能稳定、可控地制备大量的具有较大的比表面积的片状纳米氧化锌，且本工艺方法操作简单，生产周期短，为实现工业化生产奠定基础。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及纳米半导体材料制备，尤其涉及。
技术介绍
ZnO有特殊的导电、导热性能，化学性质非常稳定，作为短波长发光器件具有高的工作稳定性，有极大地应用价值。由于传统的制备工艺很难得到良好的ZnO单晶体材料或薄膜材料，限制了 ZnO作为发光材料的应用。且自从人们观察到ZnO薄膜的光泵浦近紫外受激发射现象以来，由于ZnO近紫外发射比GaN的蓝光发射具有更短的波长，因此对于提高光记录密度和光信息的存取速度起到了非常重要的作用。有望利用ZnO材料在声表面波、透明电极、光电器件、蓝光器件等应用方面获得突破性成果。ZnO的光致发光和受激辐射具有较低的阈值，更容易在室温下实现高效发射。 氧化锌纳米结构的合成方法有很多，物理气相沉积法、金属有机化学气相沉积、水溶液法、模版法等等。金属有机化学气相沉积法(MOCVD)是以金属有机化合物为原料，经蒸发、反应和沉积过程制备纳米材料的重要方法之一。金属有机化合物的蒸发分解温度较低，这可以大大降低制备温度。采用MOCVD法制备一维氧化锌纳米材料时，作为原料的有机锌化合物一般为四乙酰丙络锌、二乙基锌等。低压MOVPE系统，采用以二乙基锌和氧气作为反本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种片状纳米氧化锌的生长方法，其特征在于具体包括如下步骤：（1）、将衬底，用电子束蒸镀法制备具有一层催化剂的衬底；上述的衬底的材质为蓝宝石、单晶硅、氧化镁、氮化镓或硫化锌，衬底的晶向为2－1－10方向；所述催化剂为金、银、镍、锡、镓中的一种或两种以上金属所形成的合金；（2）、配制由氧化锌、石墨与五氧化二磷组成的混合粉末；上述混合粉末中的氧化锌与石墨质量比为1：1‑5，其中五氧化二磷粉末的量，按磷含量计算，即磷为氧化锌与石墨总质量的2.5‑20％；（3）、将0.5‑1g步骤（2）所得的混合粉末填装入刚玉瓷舟中，将步骤（1）所得的表面具有一层催化剂的衬底放置于刚玉瓷舟内的混合粉末上方；（4）、然后...

【技术特征摘要】
1.一种片状纳米氧化锌的生长方法，其特征在于具体包括如下步骤: (1)、将衬底，用电子束蒸镀法制备具有一层催化剂的衬底； 上述的衬底的材质为蓝宝石、单晶硅、氧化镁、氮化镓或硫化锌，衬底的晶向为2 — I 一10方向； 所述催化剂为金、银、镍、锡、镓中的一种或两种以上金属所形成的合金； (2)、配制由氧化锌、石墨与五氧化二磷组成的混合粉末； 上述混合粉末中的氧化锌与石墨质量比为1:1-5，其中五氧化二磷粉末的量，按磷含量计算，即磷为氧化锌与石墨总质量的2.5-20% ； (3)、将0.5-lg步骤(2)所得的混合粉末填装入刚玉瓷舟中，将步骤(1)所得的表面具有一层催化剂的衬底放置于刚玉瓷舟内的混合粉末上方； (4)、然后将刚玉瓷舟放入管式炉中加热区域，通入载气，并加热至温度800-100(TC进行保温3-60min，然后随炉自然冷却至室温，停止通入载气，即得片状纳米氧化锌； ...

【专利技术属性】
技术研发人员：王现英，许颖，刘洋洋，谢澍梵，陈祯璐，
申请(专利权)人：上海理工大学，
类型：发明
国别省市：上海;31