【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种聚焦偏移位移传感器,包括一壳体(1),所述壳体(1)内连接有物镜(2)、成像镜、激光器、分光棱镜和光电位移探测器,其特征在于,所述激光器的数量为两个:激光器一(3)和激光器二(4),所述成像镜的数量为两块:成像镜一(5)和成像镜二(6),所述光电位移探测器的数量为两个:光电位移探测器一(7)和光电位移探测器二(8),所述的分光棱镜的数量为两个:分光棱镜一(9)和分光棱镜二(10),所述的物镜(2)位于壳体(1)的一侧,上述的物镜(2)、分光棱镜一(9)、分光棱镜二(10)、成像镜一(5)、光电位移探测器一(7)在壳体(1)内由右至左设置,上述的激光器一(3)和激光器二(4)均位于分光棱镜一(9)上部,所述激光器一(3)和激光器二(4)射出的激光相平行且上述两束激光能入射至所述的分光棱镜一(9)上,所述的光电位移探测器二(8)位于分光棱镜二(10)上部,上述成像镜二(6)位于光电位移探测器二(8)与分光棱镜二(10)之间。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:陆惠宗,
申请(专利权)人:海宁科海光电科技有限公司,
类型:发明
国别省市:浙江;33
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