本申请公开了一种适用于Mirau物镜参考反射镜焦距微调装置，其属于光学器件设计领域。包括：第一感光件包括光源；所述第一感光件的下方设置干涉物镜；偏振分光器相对于水平面倾斜，所述偏振分光器使光分成s光和p光，所述p光穿过所述偏振分光器照射...

本技术公开了一种测量台阶面高度的装置，包括：激光发生件，用于形成可在待测量台阶面上形成入射线的激光光路；数码相机，且形成有用于使激光光路形成反射线的像面；调节系统，用于与激光发生件和数码相机连接；其中，所述待测量台阶面位于所述激光光路中...

本技术公开了一种测量透明薄膜厚度的装置，包括：激光发生件，用于形成激光光路；数码相机，且形成有用于使激光光路形成像位点的像面；调节系统，用于与激光发生件和数码相机连接；其中，所述待测量透明薄膜位于所述激光光路中；所述激光光路经待测量透明...

本发明提供了一种双频差动厚度测量方法和设备，属于厚度测量技术领域。它解决了现有技术在测量时容易损伤被测件等技术问题。本厚度测量方法包括如下工序：a、放置参照物；b、测量参照物上表面与检测头一之间的距离s1；c、测量参照物下表面与检测头二...

本发明提供了一种可提示聚焦方向的高精度激光位移传感器，属于机械技术领域。它解决了现有传感器调节繁琐且调节精度不高的问题。本可提示聚焦方向的高精度激光位移传感器包括一壳体，所述的壳体内连接有双频激光器、分光镜一、场镜和光电池，所述的分光镜...

本发明提供了一种光学位移传感器，属于机械技术领域。它解决了现有的位移传感器测量误差高且不方便校正的问题。本光学位移传感器，所述位移探测器的数量为两个：探测器一和探测器二，所述物镜一、分光棱镜一、分光棱镜二、成像镜一和探测器一在壳体内由右...

本发明提供了一种聚焦偏移位移传感器，属于机械技术领域。它解决了现有的传感器测量误差大的问题。本聚焦偏移位移传感器包括一壳体，所述壳体内连接有物镜、成像镜、激光器、分光棱镜和光电位移探测器，上述的物镜、分光棱镜一、分光棱镜二、成像镜一、光...