下载聚焦偏移位移传感器的技术资料

文档序号:10291413

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本发明提供了一种聚焦偏移位移传感器,属于机械技术领域。它解决了现有的传感器测量误差大的问题。本聚焦偏移位移传感器包括一壳体,所述壳体内连接有物镜、成像镜、激光器、分光棱镜和光电位移探测器,上述的物镜、分光棱镜一、分光棱镜二、成像镜一、光电位...
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