【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种基于多场耦合的键合方法,其特征是在衬底上制备一层金属薄膜作为基底,之后用电化学沉积的方法在金属基底表面制备纳米金属针锥结构作为键合层,最后在一定温度和压力条件下,将金属基底连接恒流脉冲电源,通电持续一段时间后断开电源,再恒温恒压保持一定时间。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:宋晓辉,乔彦超,赵兰普,庄春生,岳鹏飞,张萍,
申请(专利权)人:河南省科学院应用物理研究所有限公司,
类型:发明
国别省市:河南;41
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