下载一种基于多场耦合的键合方法的技术资料

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本发明提供了一种基于多场耦合的键合方法,首先在衬底上制备一层金属薄膜作为基底,之后用电化学沉积的方法在金属基底表面制备纳米金属针锥结构作为键合层,最后在一定温度和压力条件下,将金属基底连接恒流脉冲电源,通电持续一段时间后断开电源,再恒温恒压...
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