一种发光二极管及其制造方法技术

技术编号:10229960 阅读:166 留言:0更新日期:2014-07-18 03:15
本发明专利技术提供一种发光二极管及其制造方法,包括:导热导电衬底,上下表面分别具有键合层与P电极;反射镜;发光外延结构,包括层叠的P型层、量子阱层及N型层;蓝宝石衬底,结合于所述发光外延结构;接触区,由所述蓝宝石衬底贯穿至所述键合层;N电极,藉由所述接触区将所述N型层电性连接至所述蓝宝石衬底表面;钝化层,填充于所述接触区内。本发明专利技术提供了一种新型的倒装LED结构,通过晶圆级的键合工艺实现了倒装LED芯片的制造,将LED芯片直接键合于导热导电衬底中,大大地提高了LED芯片的散热效率;先于蓝宝石衬底中形成凹槽结构后进行外延,最后通过减薄将N电极露出,避免后续加工容易出现碎片等缺陷,降低了工艺的难度,并有效提高了产品的良率。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供,包括:导热导电衬底,上下表面分别具有键合层与P电极;反射镜;发光外延结构,包括层叠的P型层、量子阱层及N型层;蓝宝石衬底,结合于所述发光外延结构;接触区,由所述蓝宝石衬底贯穿至所述键合层;N电极,藉由所述接触区将所述N型层电性连接至所述蓝宝石衬底表面;钝化层,填充于所述接触区内。本专利技术提供了一种新型的倒装LED结构,通过晶圆级的键合工艺实现了倒装LED芯片的制造,将LED芯片直接键合于导热导电衬底中,大大地提高了LED芯片的散热效率;先于蓝宝石衬底中形成凹槽结构后进行外延,最后通过减薄将N电极露出,避免后续加工容易出现碎片等缺陷,降低了工艺的难度,并有效提高了产品的良率。【专利说明】
本专利技术属于半导体照明领域,特别是涉及。
技术介绍
半导体照明作为新型高效固体光源,具有寿命长、节能、环保、安全等显著优点,将成为人类照明史上继白炽灯、荧光灯之后的又一次飞跃,其应用领域正在迅速扩大,正带动传统照明、显示等行业的升级换代,其经济效益和社会效益巨大。正因如此,半导体照明被普遍看作是21世纪最具发展前景的新兴产业之一,也是未来几年光电子领域最重要的制本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种发光二极管,其特征在于,所述发光二极管至少包括:导热导电衬底,其下表面结合有P电极,上表面结合有键合层;反射镜,结合于所述键合层;发光外延结构,结合于所述反射镜,包括依次层叠的P型层、量子阱层及N型层;蓝宝石衬底,结合于所述发光外延结构;接触区,由所述蓝宝石衬底贯穿至所述键合层;N电极,藉由所述接触区将所述N型层电性连接至所述蓝宝石衬底表面;钝化层,填充于所述接触区内的N电极与键合层之间。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:郝茂盛朱广敏张楠陈耀杨杰袁根如
申请(专利权)人:上海蓝光科技有限公司
类型:发明
国别省市:上海;31

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