【技术实现步骤摘要】
本技术属于单晶炉维护
技术介绍
单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备,其中,单晶炉热场是单晶炉中必备部件,主要由柱状等静压石墨加工而成,加热、保温、热屏、防漏(硅)等均是通过热场来实现的。单晶炉热场在运行一炉完成后,需要对其进行拆炉清理,清除附着在石墨件上的碳化硅、硅蒸汽等杂质。当前清理石墨件上附着杂质时,操作人员在石墨清理间内作业,主要采用百洁布和小型研磨机,在打磨杂质时容易造成扬尘,粉尘较多,清理作业环境较差;石墨件打磨完成后,需要将其表面扬尘清理干净,目前使用的方法是用吸尘器清理,对其表面粉尘清理质量较差,不能满足清炉质量要求;另外,操作人员清理热场时多为站立或者弯腰工作,不符合人体工程学,员工工作强度大。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种单晶炉热场清理工作台,能够有效改善热场清理工作环境,提高热场清理效果,降低劳动强度。为解决上述技术问题,本技术所采取的技术方案是:一种单晶炉热场清理工作台,用于清理热场石墨件,包括支撑底座、位于支撑底座上部的台面、罩于台面上的壳体状封闭室;所述台面面板上均匀分布着开孔;所述开孔与抽吸系统连接;所述台面上中心部位设有旋转托盘;所述封闭室侧壁上设有工作台门;所述封闭室壁上连接有气体反吹系统。具体地,所述台面采用不锈钢材质;所述台面面板上设有均匀分布的篦子;所述篦子间隙与位于台面底部的抽气口联通;所述抽气口通过抽气管路与真空泵相连。所述旋转式托盘的尺寸与热场中的石墨件尺寸相 ...
【技术保护点】
一种单晶炉热场清理工作台,用于清理热场石墨件,其特征在于:包括支撑底座(10)、位于支撑底座(10)上部的台面(1)、罩于台面(1)上的壳体状封闭室(5);所述台面(1)面板上均匀分布着开孔;所述开孔与抽吸系统连接;所述台面(1)上中心部位设有旋转托盘(7);所述封闭室(5)侧壁上设有工作台门(2);所述封闭室(5)壁上连接有气体反吹系统。
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉热场清理工作台,用于清理热场石墨件,其特征在于:包括支撑底座(10)、位于支撑底座(10)上部的台面(1)、罩于台面(1)上的壳体状封闭室(5);所述台面(1)面板上均匀分布着开孔;所述开孔与抽吸系统连接;所述台面(1)上中心部位设有旋转托盘(7);所述封闭室(5)侧壁上设有工作台门(2);所述封闭室(5)壁上连接有气体反吹系统。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场清理工作台,其特征在于:所述台面(1)采用不锈钢材质;所述台面(1)面板上设有均匀分布的篦子(6);所述篦子(6)间隙与位于台面(1)底部的抽气口(8)联通;所述抽气口(8)通过抽气管路(9)与真空泵相连。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场清理工作台,其特征在于:所述旋转式托盘(7)的尺寸与热场中的石墨件尺寸相适配;所述旋转托盘(7)同时具备...
【专利技术属性】
技术研发人员:张刚,
申请(专利权)人:英利能源中国有限公司,
类型:新型
国别省市:河北;13
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