【技术实现步骤摘要】
一种在线式化学气相沉积炉的对地绝缘判定系统
本技术涉及光伏及新材料
，具体涉及一种在线式化学气相沉积炉的对地绝缘判定系统。
技术介绍
在现有C/C行业的化学气相沉积炉中，由于生产工艺过程中需要向内罐充丙烯及甲烷等可燃性气体，此气体在高温下分解形成部分碳分子，不可避免的从罐内反到罐外加热室，很容易造成电阻带碳化及保温炉衬渗碳，长时间积累会导致电阻带及炉衬对地绝缘电阻大大降低，甚至电阻带熔断。目前常见的化学气相沉积炉加热室反碳程度判定方法，在加热室与马弗罐内分别设置压力传感器，根据内外压差和真空度，综合工艺特点设定压差仪表的报警数值，提示并判断反碳程度是否超标。若超标，通过人为手段调节充气量或更换真空泵，甚至停炉检修清理真空管道。这种方法往往不能真实反映加热室内反碳情况，尤其在检修清理后对电阻带及炉衬的积炭程度无法估计，经常因处理不及时、不彻底，造成电阻带及炉衬的损坏，造成巨大的经济损失。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种能准确反映化学气相沉积炉加热室反碳程度的在线式化学气相沉积炉的对地绝缘判定系统。本技术所采用的技术方案是:一种在线式化学气相沉积炉的对地绝缘判定系统，其特征在于:炉内每一个加热区的电阻带及炉衬分别串联一个多路转换开关后并联，再与电量变送器、变流电阻、单相降压变压器电源和炉壳串联成闭环测试电路系统；电量变送器接入智能数字仪表和报警提示系统。炉内各加热区的电阻带及炉衬设置并联的测试断开位，测试断开位串联有多路转换开关。本技术具有以下优点:本技术是由变流电阻、单相变压器、电量变送器、多路转换开关、数值显示报警仪表，炉膛加热体及...
【技术保护点】
一种在线式化学气相沉积炉的对地绝缘判定系统，其特征在于：炉内每一个加热区的电阻带及炉衬分别串联一个多路转换开关后并联，再与电量变送器、变流电阻、单相降压变压器电源和炉壳串联成闭环测试电路系统；电量变送器接入智能数字仪表和报警提示系统。
【技术特征摘要】
1.一种在线式化学气相沉积炉的对地绝缘判定系统，其特征在于: 炉内每一个加热区的电阻带及炉衬分别串联一个多路转换开关后并联，再与电量变送器、变流电阻、单相降压变压器电源和炉壳串联成闭环测试电路系统； ...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨雷，张建华，
申请(专利权)人：西安电炉研究所有限公司，
类型：新型
国别省市：陕西;61
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