液滴喷出装置、喷头的清洁方法、电光学装置的制造方法、电光学装置及电子设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种液滴喷出装置、喷头的清洁方法、电光学装置的制造方法、电光学装置及电子设备，用清洁部件擦拭喷头的喷嘴面时，可防止清洁部件从喷嘴开口中引出液体，可确实防止液体污染喷嘴面。液滴喷出装置（１０）用于向工件上喷出液滴，该装置包括供给喷出用液体并喷出液滴的喷头（１１）、带有与附着在喷头（１１）的喷嘴面（７０）上的喷出用液体溶合的清洗用液体（６１０）的液体清洗机构（６００）、移动操作机构（６０１），该移动操作机构（６０１）使喷头（１１）的喷嘴面（７０）与液体清洗机构（６００）相对移动，从而将附着在喷嘴面（７０）上的喷出用液体从喷嘴面（７０）上剥离下来。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种向工件上喷出液滴的液滴喷出装置、喷头的清洁方法、电光学装置的制造方法、电光学装置及电子设备。
技术介绍
液滴喷出装置可用作描绘系统，该描绘系统以喷墨方式向工件喷出液滴。该描绘系统可用于例如平板显示器那样的电光学元件的制造。以喷墨方式喷出液滴的液滴喷出装置带有用于喷出液滴的喷头。根据需要，必须清洁该喷头的喷嘴面，为此提出了喷头的清洁方法(例如专利文献1)。〖专利文献1〗特开2003-270426号公报(第10页，图18)这种喷头清洁装置将喷头内的气泡、垃圾或凝固的墨水等异物从喷嘴开口排到外部后，将擦拭片压在喷嘴面上，使喷嘴面变为清洁的状态。然而喷头的喷嘴面侧，墨水的弯液面(墨水的界面)位于各喷嘴开口内，该弯液面形成在靠近喷嘴面的位置上。因此，如果将以前采用的擦拭片压在喷嘴面上，擦拭喷嘴面上残留的墨水等，会破坏各喷嘴开口中的墨水的弯液面，产生将喷嘴开口内的墨水引到喷嘴面上的现象。因此，无论既便对喷嘴面进行了清洁，从喷嘴开口中刮出的墨水又附着在喷嘴面上。该附着在喷嘴面上的墨水不一定总是妨碍通过喷墨方式喷出液滴，但如果残留在喷嘴面上的墨水附着在喷嘴开口附近，则此后通过喷墨方式喷出墨滴的动作会发生墨滴的飞行倾斜的现象。如果墨水长时间附着在喷嘴面上，还会腐蚀构成喷嘴面的喷嘴板。
技术实现思路
本专利技术的目的在于解决上述问题，提供一种液滴喷出装置、喷头的清洁方法、电光学装置的制造方法、电光学装置及电子设备，用清洁部件擦拭喷头的喷嘴面时，可防止清洁部件从喷嘴开口中引出液体，可确实防止液体污染喷嘴面。第一专利技术通过如下的液滴喷出装置实现上述目的，该液滴喷出装置用于向工件喷出液滴，其特征在于该装置包括供给喷出用液体并喷出前述液滴的喷头、带有与附着在前述喷头的喷嘴面上的前述喷出用液体溶合的清洗用液体的液体清洗机构、移动操作机构，该移动操作机构使前述喷头的前述喷嘴面与前述液体清洗机构相对移动，将附着在前述喷嘴面上的前述喷出用液体从前述喷嘴面上剥离下来。采用第一专利技术的结构，喷头供给喷出用液体并喷出液滴。液体清洗机构带有与附着在喷头的喷嘴面上的喷出用液体溶合的清洗用液体。移动操作机构使喷头的喷嘴面与液体清洗机构相对移动，从而将喷出用液体从喷嘴面上剥离下来。由此，通过使喷头的喷嘴面与液体清洗机构相对移动，液体清洗机构的清洗用液体可与喷出用液体溶合，同时将喷出用液体从喷嘴面上剥离下来。因而，不会象以往那样破坏喷嘴开口中的喷出用液体的弯液面，并且喷嘴面不会被喷出用液体污染，因此可防止喷出液滴时液滴的飞行偏斜。由于液滴不会附着在喷嘴面上，因此可确实防止腐蚀喷嘴面。第二专利技术的特征在于，在第一专利技术的构成中，前述液体清洗机构带有容纳前述清洗用液体的容纳部、使前述容纳部内的前述清洗用液体与附着在前述喷嘴面上的前述喷出用液体溶合的供给部，前述移动操作机构使前述供给部与前述喷嘴面平行地相对移动。采用第二专利技术的构成，液体清洗机构的容纳部容纳清洗用液体。供给部使容纳部内的清洗用液体与附着在喷嘴面上的喷出用液体溶合。移动操作机构使该供给部与喷嘴面平行地相对移动。由于供给部与喷嘴面平行地相对移动，因此可使来自供给部的清洗用液体确实与附着在喷嘴面上的喷出用液体溶合。第三专利技术的特征在于，在第一或第二专利技术的构成中，前述喷嘴面经过了排斥前述喷出用液体的疏液处理。采用第三专利技术的构成，喷嘴面经过了排斥前述喷出用液体的疏液处理。由此，通过喷嘴面的疏液处理，可更容易地使清洗用液体与喷出用液体溶合，并将附着在喷嘴面上的喷出用液体从喷嘴面上剥离下来。第四专利技术的特征在于，在第一或第二专利技术的构成中，前述喷出用液体是包含功能性材料的溶液，前述清洗用液体是前述溶液中使用的溶剂。采用第四专利技术的构成，喷出用液体是包含功能性材料的溶液，清洗用液体是溶液中使用的溶剂。由此，通过采用溶液中使用的溶剂，清洗用液体不会用异物污染喷头侧的喷出用液体和喷嘴面。第五专利技术的特征在于，在第一专利技术或第二专利技术的构成中，前述清洗用液体与供给前述喷头的前述喷出用液体是相同的液体。采用第五专利技术的构成，清洗用液体使用与供给喷头的喷出用液体相同的液体，异物不会污染喷头侧的喷出用液体和喷嘴面。第六专利技术的特征在于，在第二专利技术的构成中，前述清洗用液体的前述容纳部带有改变前述清洗用液体的液面高度位置的液面高度位置变更部。采用第六专利技术的构成，清洗用液体的容纳部带有液面高度位置变更部。该液面高度位置变更部可改变清洗用液体的液面高度位置。由此，供给部可相对喷嘴面侧的喷出用液体，与容纳部内的清洗用液体的残留量相对应地改变液体高度，确实供给清洗用液体。第七专利技术的特征在于，在第二专利技术或第六专利技术的构成中，前述清洗用液体的前述供给部带有改变前述清洗用液体的喷出高度位置的喷出高度位置变更部。采用第七专利技术的构成，喷出高度位置变更部可改变清洗用液体的喷出高度。由此，清洗用液体通过调整喷出高度，可确实与附着在喷嘴面上的喷出用液体溶合。第八专利技术通过一种喷头的清洁方法来实现上述目的，该方法是清洁向工件喷出液滴的液滴喷出装置的喷头的清洁方法，其特征在于，利用液体清洗机构使清洗用液体与附着在供给喷出用液体并喷出前述液滴的前述喷头的喷嘴面上的前述喷出用液体溶合，并利用移动操作机构使前述喷头的前述喷嘴面与前述液体清洗机构相对移动，从而将前述喷出用液体从前述喷嘴面上剥离下来。由此，通过使喷头的喷嘴面与液体清洗机构相对移动，液体清洗机构的清洗用液体可与喷出用液体溶合，同时将喷出用液体从喷嘴面上剥离下来。因而，不会象以往那样破坏喷嘴开口中的喷出用液体的弯液面，并且喷嘴面不会被喷出用液体污染，因此可防止喷出液滴时液滴的飞行偏斜。由于液滴不会附着在喷嘴面上，因此可确实防止腐蚀喷嘴面。第九专利技术通过一种电光学装置的制造方法来实现上述目的，该方法是采用从喷头向工件喷出液滴的液滴喷出装置来制造电光学装置的电光学装置的制造方法，其特征在于，利用液体清洗机构使清洗用液体与附着在供给喷出用液体并喷出前述液滴的前述喷头的喷嘴面上的前述喷出用液体溶合，并利用移动操作机构使前述喷头的前述喷嘴面与前述液体清洗机构相对移动，从而将前述喷出用液体从前述喷嘴面上剥离下来而进行清洁，清洁前述喷嘴面后，向前述工件喷出前述液滴。由此，通过使喷头的喷嘴面与液体清洗机构相对移动，液体清洗机构的清洗用液体可与喷出用液体溶合，同时将液体从喷嘴面上剥离下来。因而，不会象以往那样破坏喷嘴开口中的喷出用液体的弯液面，并且喷嘴面不会被喷出用液体污染，因此可防止喷出液滴时液滴的飞行偏斜。由于液滴不会附着在喷嘴面上，因此可确实防止腐蚀喷嘴面。第十专利技术通过一种电光学装置来实现上述目的，该装置是采用从喷头向工件喷出液滴的液滴喷出装置制造的电光学装置，其特征在于，利用液体清洗机构使清洗用液体与附着在供给喷出用液体并喷出前述液滴的前述喷头的喷嘴面上的前述喷出用液体溶合，并利用移动操作机构使前述喷头的前述喷嘴面与前述液体清洗机构相对移动，从而将前述喷出用液体从前述喷嘴面上剥离下来而进行清洁，清洁前述喷嘴面后，向前述工件喷出前述液滴，从而制成该装置。由此，通过使喷头的喷嘴面与液体清洗机构相对移动，液体清洗机构的清洗用液体可与喷出用液体溶合，同时将喷出用液体从喷嘴面上剥离下来。因而，不会象以往那样破坏喷嘴开口中的喷出用本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液滴喷出装置，用于向工件上喷出液滴，其特征在于，包括：供给喷出用液体并喷出前述液滴的喷头；液体清洗机构，其带有与附着在前述喷头的喷嘴面上的前述喷出用液体溶合的清洗用液体；以及移动操作机构，其使前述喷头的前述喷嘴面 与前述液体清洗机构相对移动，从而将附着在前述喷嘴面上的前述喷出用液体从前述喷嘴面上剥离下来。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：岩田裕二，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]