化学机械研磨机台及其研磨液供给手臂制造技术

本实用新型专利技术提供一种化学机械研磨机台及其研磨液供给手臂。所述研磨液供给手臂包括主体、设置于所述主体一端的喷嘴以及设置于所述主体底部的多个刷子。所述刷子有助于去除研磨垫沟槽内的残留物质，提高了化学机械研磨机台的清扫能力，有利于减少晶圆表面的划伤缺陷。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种研磨液供给手臂，包括主体以及设置于所述主体一端的喷嘴，其特征在于，还包括设置于所述主体底部的多个刷子。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周维娜，刘庚申，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11