引线键合装置用清洗套件、装置以及毛细管清洗方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及在长时间使用引线键合的过程中能够有效地去除附着于毛细管的端部的异物的引线键合装置用清洗套件、装置以及毛细管清洗方法。本发明专利技术的实施例的引线键合装置用清洗套件作为用于使引线键合对象物进行固定，并以固定的方式安装于具有孔的窗口夹板来使用，或以装拆的形态使用的清洗套件，其特征在于，包括振动生成板和研磨片，上述振动生成板放置于窗口夹板上，上述研磨片附着于上述振动生成板上，并与上述振动生成板联动。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术涉及在长时间使用引线键合的过程中能够有效地去除附着于毛细管的端部的异物的。本专利技术的实施例的引线键合装置用清洗套件作为用于使引线键合对象物进行固定，并以固定的方式安装于具有孔的窗口夹板来使用，或以装拆的形态使用的清洗套件，其特征在于，包括振动生成板和研磨片，上述振动生成板放置于窗口夹板上，上述研磨片附着于上述振动生成板上，并与上述振动生成板联动。【专利说明】
本专利技术涉及一种引线键合(WireBonding)装置用清洗套件、包括该引线键合装置用清洗套件的引线键合装置以及利用该引线键合装置的毛细管清洗方法，更详细地，涉及通过向窗口夹板(window clamp)安装用于生成振动的清洗套件，能够有效地清洗毛细管的端部的引线键合装置用清洗套件、包括该引线键合装置用清洗套件的引线键合装置以及利用该引线键合装置的毛细管清洗方法。
技术介绍
在半导体的制备工序中，普遍使用利用引线键合装置，以金属线连接发光芯片和基板的技术。在这种引线键合工序中，普遍使用金子作为金属线。但是，从最近半导体的高速化、低价格化的需求出发，除了金子之外，偶尔也存在使用能够进行更加高速的信号处理且费用低廉的铜等金属线的情况。在这种引线键合装置安装有管形态的毛细管，用于操纵微细的金属线，而通过这种毛细管，金属线的一端与发光芯片进行球焊，金属线的另一端与基板进行针脚式接合。即，引线键合装置首先向沿着毛细管的下端以规定的长度延伸的金属线供给放电火花，使得形成球。接着，引线键合装置向发光芯片方向移动毛细管后，向该毛细管供给超声波，从而使球与发光芯片进行球焊。最后，引线键合装置向基板方向移动毛细管后，向毛细管重新供给超声波，从而使该金属线的另一端在与基板进行针脚式接合。此时，在金属线进行针脚式接合之后，从基板切断金属线，并重新反复执行如上所述的一连串的过程。但是，这种毛细管，尤其在毛细管的端部会提供各种恶劣的环境。即，毛细管的端部既会被施加放电火花，也会与金属线的熔融的部分相接触。并且，当毛细管在与发光芯片或基板相接触时，由于超声波能量集中于毛细管的端部，因而该恶劣的程度将更加加重。由于这种原因，越是长时间进行引线键合，在毛细管端部越会积累各种异物。在这种毛细管端部将以持续附着的方式积累由通过放电火花来分解的毛细管自身的颗粒、金属线、发光芯片及基板引起的各种金属异物。像这样，在毛细管的端部积累各种金属异物的情况下，由于毛细管端部的形状不规则，因而将成为引线键合时键合产生率提高的主要原因。以往，以预定的化工药剂对毛细管进行处理，从而从毛细管去除各种金属异物，但由于这种化工药剂有可能损伤毛细管，因而在实施化工药剂处理之后，必须要对毛细管实施肉眼检查。但是，这种对毛细管的化工药剂处理不仅需要很长时间，而且根据情况，还存在毛细管自身受到破损的问题。由于这种问题，在规定时间内使用毛细管之后，更换毛细管本身来代替化工药剂处理，但是在这种情况下，不仅在更换毛细管时需要很长时间，而且由于安装新的毛细管时需重新执行工作设定的理由等而具有工序受益率下降的问题。作为相关现有文献，有大韩民国公开专利公报第10-2010-0043410号(2010年04月29日公告)，且上述文献公开了毛细管及包括该毛细管的引线键合装置。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供一种利用清洗片在没有毛细管损伤的情况下能够有效地去除在长时间执行引线键合的过程中不可避免地附着于毛细管端部的各种金属异物的可生成振动的引线键合装置用清洗套件、包括该引线键合装置用清洗套件的引线键合装置以及利用该引线键合装置的毛细管清洗方法。用于达成上述目的的本专利技术实施例的引线键合装置用清洗套件，用于固定引线键合对象物，以固定的方式安装于具有孔的窗口夹板来使用，或以装拆的形态使用，其特征在于，包括:振动生成板，放置于窗口夹板上；以及研磨片，附着于上述振动生成板上，并与上述振动生成板联动。用于达成上述目的的本专利技术的实施例的引线键合装置，其特征在于，包括:毛细管，使金属线通过；键合臂，用于固定上述毛细管，并控制上述毛细管的上下及左右往复运动；加热块，安装于上述毛细管及键合臂的下部；窗口夹板，配置于上述加热块上，用于对引线键合对象物进行固定，并具有多个孔；以及清洗套件，具有振动生成板和研磨片，上述振动生成板放置于上述窗口夹板上，上述研磨片附着于上述振动生成板上，并与上述振动生成板联动。用于达成上述目的的本专利技术的实施例的利用引线键合装置的毛细管的清洗方法，其特征在于，包括:步骤(a)，对于键合对象物，将执行了设定时间的引线键合的毛细管的端部附着于清洗套件的上部；步骤(b)，驱动与上述清洗套件的研磨片相联动的振动生成板来对上述毛细管的端部进行研磨；以及步骤(C)，在引线键合对象物的上部排列已结束上述研磨的毛细管。本专利技术的引线键合装置用清洗套件以使毛细管固定于与生成振动的振动板相联动的研磨片的上部，并在附着的状态下，形成物理清洗，从而可在没有毛细管的损伤的情况下有效地去除附着于毛细管端部的金属异物。结果，本专利技术的引线键合装置用清洗套件将毛细管的更换周期延长2.5倍以上，从而明显减少工序损失，由此可期待减少毛细管更换费用的效果。当前，每个毛细管的更换周期为80万打前后，但在利用本专利技术的引线键合装置用清洗套件来清洗毛细管的情况下，具有可将每个毛细管的更换周期延长为200万打以上的优点。并且，本专利技术的引线键合装置具有包括振动生成板和研磨片的清洗套件，从而在执行了设定时间的引线键合后，可提前防止由附着于毛细管端部的金属异物引起的引线键合的不良。并且，利用本专利技术的引线键合装置的毛细管清洗方法不仅不用进行化工药剂处理，而且还在无需更换毛细管本身的的情况下，通过利用生成振动的清洗套件的物理清洗来去除附着于毛细管端部的金属异物，因此不存在更换毛细管本身的费用损失，并且，由于没必要重新执行工作设定，因而具有可提高工序受益率的优点。【专利附图】【附图说明】图1为用于说明本专利技术的一实施例的引线键合装置用清洗套件的图。图2为表示图1的窗口夹板的立体图。图3为放大地表示图1的振动生成板的分解立体图。图4为用于说明利用清洗套件的清洗方法的图。图5为用于说明本专利技术的再一实施例的引线键合装置用清洗套件的图。图6为沿着图5的V1-VI’线以切割的方式表示的剖视图。图7为用于说明本专利技术的另一实施例的引线键合装置用清洗套件的图。图8为表示本专利技术的实施例的引线键合装置的立体图。图9为表示本专利技术的实施例的利用引线键合装置的毛细管清洗方法的工序流程图。图10为表示清洗引线键合装置的毛细管的端部之前的状态的照片。图11为表示清洗引线键合装置的毛细管的端部之后的状态的照片。【具体实施方式】以下，参照附图对本专利技术优选实施例的引线键合装置用清洗套件、包括该引线键合装置用清洗套件的引线键合装置以及利用该引线键合装置的毛细管清洗方法进行详细说明如下。图1为用于说明本专利技术的一实施例的引线键合装置用清洗套件的图，图2为表示图1的窗口夹板的立体图。此时，图1示出在与窗口夹板的多个孔相对应的位置安装清洗套件的状态。参照图1及图2，所示的本专利技术的一实施例的引线键合装置用清洗套件100用于固定引线键合对象物(未图示)，并安装于具有多个孔H的窗口夹板10来使用。此时，虽本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种引线键合装置用清洗套件，用于固定引线键合对象物，以固定的方式安装于具有孔的窗口夹板来使用，或以装拆的形态使用，其特征在于，包括：振动生成板，放置于窗口夹板上；以及研磨片，附着于上述振动生成板上，并与上述振动生成板联动。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：梁茪旭，刘姬珍，
申请(专利权)人：日进LED有限公司，
类型：发明
国别省市：