【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了，属于半导体制造领域。离子束采集系统包括：计算机、运动控制器、直流电机、移动法拉第，离子束采集方法包括离子束采集系统对离子束的等距均匀采集，通过计算机编制控制程序，由运动控制器控制直流电机带动移动法拉第运动，同时运动控制器根据直流电机运动产生等距离触发脉冲，实现运动控制器等距均匀采集离子束流的目的。本专利技术能够实现离子束流精确、均匀的采集。【专利说明】
本专利技术涉及离子注入机束流采集的系统与方法，涉及离子注入机，属于半导体装备制造领域。
技术介绍
离子注入机是半导体器件制造中常用的掺杂设备，该设备通过引导杂质离子注入半导体晶片，从而改变晶片传导率，其中离子束流的均匀性及平行度是离子注入机极为重要的两项性能指标。由于离子束流采集对离子注入机的均匀性及平行度校正至关重要，因此必须设计合理的离子束流采集系统与离子束流采集方法，为离子束流均匀性及平行度的校正打下基础。本专利技术提供了一种离子束流采集系统与离子束流采集方法，本采集系统与采集方法体系结构简单，测量与控制精确、可靠。
技术实现思路
本专利技术涉及一种离子束流采集系统与离子...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王高腾，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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