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本发明公开了一种离子束采集系统与离子束采集方法，属于半导体制造领域。离子束采集系统包括：计算机、运动控制器、直流电机、移动法拉第，离子束采集方法包括离子束采集系统对离子束的等距均匀采集，通过计算机编制控制程序，由运动控制器控制直流电机带动移...
该专利属于北京中科信电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中科信电子装备有限公司授权不得商用。

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