【技术实现步骤摘要】
一种垂直方向角度测量的装置，通过精密的结构及逻辑严谨电气控制可以精确测量垂直方向的束流角度，在离子注入机垂直方向角度测量的
中得到应用。
技术介绍
随着半导体工艺的迅速发展，产品对离子注入角度要求也越来月高，就中束流注入设备而言，尤其是角度敏感的工艺，如果注入角度与设计要求角度偏差在0.1度，产品就属于不合格。目前，我们的中束流离子注入机在测量水平方向的束流角度及平行度方面，在技术上已经可以精确的测量，但是对于垂直方向束流角度，还未提供可以测量的功能部件，因此无法量化垂直方向的角度偏差。为了更加完善中束流离子注入机的功能，以满足当前中束流离子注入工艺要求，增加垂直方向角度测量的功能是必然的。
技术实现思路
本专利技术是针对上述现有技术中存在的问题而增加的一种功能部件，此部件结构简单、精度高，能可靠实现离子注入机某些角度敏感的工艺垂直方向角度的测量。 本专利技术专利通过以下技术方案来实现： 一种垂直方向角度测量的装置，该装置包括：挡束杯(1)、电机及传动机构(2)、驱动轴支撑(3)、编码器(4)、驱动轴(5)、差分抽气系统(6)、水冷系统(7)。 电机(2)收到指令后开始运行，通过传动机构同步带，带动驱动轴(5)旋转，挡束杯(1)在驱动轴(5)的驱动下可以根据需求在±11°范围内转动；此时，根据挡束杯(1)旋转的角度不同，其遮挡束线的多少不同，未被遮挡的束线穿过挡束杯(1)之后，经过后方束流采集器的采集，根据这些束线产 生的电流作为原始数据进行计算来确定束线垂直方向的角度，进而确定离子注...
【技术保护点】
一种垂直方向角度测量的装置，该装置包括：挡束杯(1)、电机及传动机构(2)、驱动轴支撑(3)、编码器(4)、驱动轴(5)、差分抽气系统(6)、水冷系统(7)。
【技术特征摘要】
1.一种垂直方向角度测量的装置，该装置包括：挡束杯(1)、电机及传动
机构(2)、驱动轴支撑(3)、编码器(4)、驱动轴(5)、差分抽气系统(6)、
水冷系统(7)。
2.如权利要求1所述的一种垂直方向角度测量装置，其特征在于：为了保
证挡束杯(1)与束流的物理方向垂直关系，确保测量精度，驱动轴(5)上钻
有定位销孔。
3.如权利要求1所述的一种垂直方向角度测量装置，其特征在于：在差分
抽气系统(6)中，弹簧密封圈的安装方式与常规的安装方式相反，驱动轴(5)
台阶处做了特殊处理，在保证动密封功能的同时，不...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘瑞强，庞云玲，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11
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