起始通过波长5700nm的测温滤光片制造技术

技术编号:10005450 阅读:105 留言:0更新日期:2014-05-03 23:28
本实用新型专利技术所设计的一种测试精度高、能极大提高信噪比的起始通过波长5700nm的测温滤光片,包括以Si为原材料的基板,以Ge、ZnS为第一镀膜层和以Ge、ZnS为第二镀膜层,且所述基板位于第一镀膜层和第二镀膜层之间,该起始通过波长5700nm的测温滤光片,其在温度测量过程中,可大大的提高信噪比,提高测试精准度。该滤光片6574nm?T≥90%;6574~24000nm?Tavg≥78%;24000nm?T≥20%;1300~5700nm?T<3%Tavg<0.5%。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术所设计的一种测试精度高、能极大提高信噪比的起始通过波长5700nm的测温滤光片,包括以Si为原材料的基板,以Ge、ZnS为第一镀膜层和以Ge、ZnS为第二镀膜层,且所述基板位于第一镀膜层和第二镀膜层之间,该起始通过波长5700nm的测温滤光片,其在温度测量过程中,可大大的提高信噪比,提高测试精准度。该滤光片6574nm?T≥90%;6574~24000nm?Tavg≥78%;24000nm?T≥20%;1300~5700nm?T<3%Tavg<0.5%。【专利说明】起始通过波长5700nm的测温滤光片
本技术涉及红外滤光片领域,尤其是一种起始通过波长5700nm的测温滤光片。
技术介绍
红外测温仪由光学系统、探测器、信号放大器及信号处理、显示输出等部分组成。光学系统汇聚其视场内的目标红外能量(热量),视场的大小由测温仪的光学零件及其位置确定。红外能量聚焦在探测器上并转变为相应的电信号。该信号经过放大器和信号处理电路,并按照仪器内的算法和目标发射率校正后转变为被测目标的温度值。红外测温仪的探测器是实现红外能量(热能)转换电信号的关键,由于各种生物所发出来的红外能量(热量)是不同的,所以在日常使用中为了观察某种特定生物的温度值,人们往往会在探测器中添加红外滤光片,通过红外滤光片可以使探测器只接受特定波段的红外能量,保证红外测温仪的测温结果,用于测温和成像。但是,目前的滤光片,其信噪比低,精度差,不能满足市场发展的需要。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决上述技术的不足而提供一种测试精度高、能极大提高信噪比的起始通过波长5700nm的测温滤光片。为了达到上述目的,本技术所设计的起始通过波长5700nm的测温滤光片,包括以Si为原材料的基板,以Ge、ZnS为第一镀膜层和以Ge、ZnS为第二镀膜层,且所述基板位于第一镀膜层和第二镀膜层之间,所述第一镀膜层由内向外依次排列包含有:109nm厚度的Ge层、95nm厚度的ZnS层、234nm厚度的Ge层、161nm厚度的ZnS层、117nm厚度的Ge层、137nm厚度的ZnS层、140nm厚度的Ge层、137nm厚度的ZnS层、118nm厚度的Ge层、197nm厚度的ZnS层、79nm厚度的Ge层、238nm厚度的ZnS层、72nm厚度的Ge层、197nm厚度的ZnS层、167nm厚度的Ge层、598nm厚度的ZnS层、248nm厚度的Ge层、545nm厚度的ZnS层、342nm厚度的Ge层、419nm厚度的ZnS层、394nm厚度的Ge层、434nm厚度的ZnS层、303nm厚度的Ge层、686nm厚度的ZnS层、117nm厚度的Ge层、470nm厚度的ZnS层、600nm厚度的Ge层和387nm厚度的ZnS层;所述第二镀膜层由内向外依次排列包含有:169nm厚度的Ge层、197nm厚度的ZnS层、218nm厚度的Ge层、210nm厚度的ZnS层、161nm厚度的Ge层、214nm厚度的ZnS层、158nm厚度的Ge层、316nm厚度的ZnS层、165nm厚度的Ge层、290nm厚度的ZnS层、87nm厚度的Ge层、306nm厚度的ZnS层、151nm厚度的Ge层、467nm厚度的ZnS层、183nm厚度的Ge层、416nm厚度的ZnS层、217nm厚度的Ge层、344nm厚度的ZnS层、239nm厚度的Ge层、30 Inm厚度的ZnS层、273nm厚度的Ge层、378nm厚度的ZnS层、220nm厚度的Ge层、605nm厚度的ZnS层、71nm厚度的Ge层、68 Inm厚度的ZnS层、600nm厚度的Ge层和298nm厚度的ZnS层。上述各材料对应的厚度,其允许在公差范围内变化,其变化的范围属于本专利保护的范围,为等同关系。通常厚度的公差在IOnm左右。本技术所得到的起始通过波长5700nm的测温滤光片,其在温度测量过程中,可大大的提高信噪比,提高测试精准度。该滤光片6574nm T ≥0% ;6574~24000nmTavg ≥ 78% ;24000nm T ≥20% ; 1300 ~5700nm T < 3%Tavg < 0.5%。【专利附图】【附图说明】图1是实施例整体结构示意图;图2是实施例提供的红外光谱透过率实测曲线图。【具体实施方式】下面通过实施例结合附图对本技术作进一步的描述。实施例1:如图1、图2所示,本实施例描述的起始通过波长5700nm的测温滤光片,包括以Si为原材料的基板2,以Ge、ZnS为第一镀膜层I和以Ge、ZnS为第二镀膜层3,且所述基板2位于第一镀膜层I和第二镀膜层3之间,所述第一镀膜层I由内向外依次排列包含有:109nm厚度的Ge层、95nm厚度的ZnS层、234nm厚度的Ge层、161nm厚度的ZnS层、117nm厚度的Ge层、137nm厚度的ZnS层、140nm厚度的Ge层、137nm厚度的ZnS层、118nm厚度的Ge层、197nm厚度的ZnS层、79nm厚度的Ge层、238nm厚度的ZnS层、72nm厚度的Ge层、197nm厚度的ZnS层、167nm厚度的Ge层、598nm厚度的ZnS层、248nm厚度的Ge层、545nm厚度的ZnS层、342nm厚度的Ge层、419nm厚度的ZnS层、394nm厚度的Ge层、434nm厚度的ZnS层、303nm厚度的Ge层、686nm厚度的ZnS层、117nm厚度的Ge层、470nm厚度的ZnS层、600nm厚度的Ge层和387nm厚度的ZnS层;所述第二镀膜层3由内向外依次排列包含有:169nm厚度的Ge层、197nm厚度的ZnS层、218nm厚度的Ge层、210nm厚度的ZnS层、16Inm厚度的Ge层、214nm厚度的ZnS层、158nm厚度的Ge层、316nm厚度的ZnS层、165nm厚度的Ge层、290nm厚度的ZnS层、87nm厚度的Ge层、306nm厚度的ZnS层、151nm厚度的Ge层、467nm厚度的ZnS层、183nm厚度的Ge层、416nm厚度的ZnS层、217nm厚度的Ge层、344nm厚度的ZnS层、239nm厚度的Ge层、30 Inm厚度的ZnS层、273nm厚度的Ge层、378nm厚度的ZnS层、220nm厚度的Ge层、605nm厚度的ZnS层、7 Inm厚度的Ge层、68 Inm厚度的ZnS层、600nm厚度的Ge层和298nm厚度的ZnS层。【权利要求】1.一种起始通过波长5700nm的测温滤光片,包括以Si为原材料的基板,以Ge、ZnS为第一镀膜层和以Ge、ZnS为第二镀膜层,且所述基板位于第一镀膜层和第二镀膜层之间,其特征是:所述第一镀膜层由内向外依次排列包含有:109nm厚度的Ge层、95nm厚度的ZnS层、234nm厚度的Ge层、16Inm厚度的ZnS层、117nm厚度的Ge层、137nm厚度的ZnS层、140nm厚度的Ge层、137nm厚度的ZnS层、118nm厚度的Ge层、197nm厚度的ZnS层、79nm厚度的Ge层、238nm厚度的ZnS层、72nm厚度的Ge层、197nm厚度的ZnS层、167nm厚度的Ge层、598nm厚度的ZnS层、248nm厚度的Ge层、5本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:吕晶王继平刘晶
申请(专利权)人:杭州麦乐克电子科技有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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