为了提供成品率高的半导体制造方法，向处理室内供给将所述过渡金属络合物化的气体，从而对配置在容器内部的处理室内的半导体晶片的上表面的包含过渡金属的处理对象的膜进行蚀刻，该半导体制造方法进行如下工序，从而对所述处理对象的膜进行蚀刻：第1工序...

为了提供提高了成品率的等离子处理装置或者等离子处理方法，具备：配置在真空容器内部且在内侧配置处理对象的晶片的处理室；与所述真空容器连结且与所述处理室连通、并向该处理室内供给具有附着性的处理用气体的处理气体供给管线；以及将与排气泵连接并与...

本发明的课题在于，迅速确定检查对象即晶片的光学条件，特别在于，在获得客户晶片后，将光学条件设定迅速化。本发明所涉及的检查装置自动调整系统具有：输入解析条件的解析条件设定IF(102)；进行解析的解析执行部(103)；解析中所用的检查装置...

为了对图像内的对象物进行定量分析，准确地识别对象物是重要的，但在多个物体相互接触的情况下，有时无法准确地识别对象部。在图像中，将拍摄有作为定量信息的计算对象的物体的区域作为前景区域，将其他区域作为背景区域来分割图像，针对图像内的相互接触...

本发明提供一种使处理效率提高的真空处理装置。所述真空处理装置具备：推杆臂，其配置于所述锁定室内，并在与所述真空搬运机器人之间接受所述晶片并将所述晶片支承在梁部上或者传递在所述梁部上支承的所述晶片；以及冷却板，其配置在所述锁定室内的底部，...

关于带电粒子束装置，提供一种能够实现防止与拍摄图像相关的画质劣化的技术。带电粒子束装置具备向试样照射带电粒子束并将试样的信息图像化的拍摄装置和计算机。计算机存储通过多次扫描相同区域而得到的各图像(扫描图像)，将各图像分类为包含劣化图像的...

本发明提供一种自动分析装置，其能够通过紧凑的机构来实现不同的分析过程的测定。在能够实施多个不同的分析过程的检查的自动分析装置中，具有：保温箱(1)，其将多个反应容器(2)保持在圆周状的工位上；以及第一分注机构(8)和第二分注机构(9)，...

本发明的自动分析装置即使在简单的清洗结构中，也能可靠性较高地清洗喷嘴。本发明的自动分析装置包括：流动池检测器(202)、通过流路连接到流动池检测器并吸引或吐出液体的喷嘴(201)、具有台部(231)和使台部进行旋转动作或上下动作的台部驱...

本发明的目的在于提供对向磁分离部供给的试剂的温度高精度地进行控制的自动分析装置。因此，本发明是一种自动分析装置，其具备：磁分离部，其从使检体与第一试剂反应而成的液体中分离磁性成分与非磁性成分；贮存部，其收容第二试剂；以及配管，其向所述磁...

当从上表面侧观察自动分析装置(100)时，反应盘(1)的第一旋转轴(301)、试剂盘(9)的第二旋转轴(302)以及测定部配置在同一直线(311)上，反应盘(1)的第一旋转轴(301)配置在试剂盘(9)的第二旋转轴(302)与测定部之间...

本发明的目的在于提供保持保管试剂容器的试剂保冷箱中清洁的自动分析装置。该自动分析装置分析样品，其特征在于，具备：试剂保冷箱，其以预定的温度保管容纳与上述样品反应的试剂的试剂容器；试剂容器更换部，其具有用于使上述试剂容器出入上述试剂保冷箱...

本公开的生物体聚合物分析设备具备：绝缘性的薄膜，包含无机材质；第1液槽以及第2液槽，由所述薄膜隔开；多个第1电极，配置在所述第1液槽；以及第2电极，配置在所述第2液槽，在所述第1液槽导入疏水液以及多个液滴，所述多个第1电极构成为能够通过...

控制部(114)使显示部(116)显示维护引导画面(201)，该维护引导画面(201)在同一画面内排列有独立于分析模块(107、207)以及采样模块(200)的维护的引导(采样模块用显示区域(231)、第二分析模块用显示区域(230)、...

本发明提供一种准确地判定对通过了质量分析部的离子进行检测的检测器单体的性能的技术。本公开的质量分析系统具备：第1转换器，其基于从质量分析装置中的、检测通过了质量分析部的离子的检测器输出的电信号中的脉冲的强度、面积来计算第1测定值；第2转...

兼顾离子选择性电极的稳定性以及感应膜与框体之间的粘接性。本公开的离子选择性电极具有含有离子选择性物质、基体及增塑剂的感应膜和容纳所述感应膜的框体，所述框体的材料含有溶解度参数(SP值)为19.5～21.5的物质。有溶解度参数(SP值)为...

本发明提供一种自动分析装置，其即使在收纳试剂或检样的容器存在盖的关闭障碍的情况下，也能够以避免盖的上表面发生磨损的方式关闭盖，该自动分析装置具备：容器收纳部，其收纳具有能够利用旋转支点进行开闭的盖并且容纳试剂或检样的容器；以及闭盖引导部...

本发明的目的在于提供一种燃料电池系统，其通过在燃料电极气体或空气电极气体泄漏时对其高精度地检测，从而提高了可靠性。参照图3，本发明的燃料电池单元在支承基板上层叠了第一电极、电解质膜、第二电极，并且通过绝缘部件将所述第一电极、所述电解质膜...

自动分析装置具备联锁单元，该联锁单元具有：作用部件，其被支撑为能够在锁定位置与解除位置之间移动，与设于覆盖箱体的上表面的罩的前方侧的端部的突起部在锁定位置卡合，来阻碍罩向敞开位置的转动；电磁驱动构件，其用于驱动作用部件；以及驱动连结构件...

提供具有能修正色像差的绕组像差修正器的带电粒子线装置。多极透镜具有：磁性体芯(150)；多个电流线(101)～(112)；丝状的多个电极(301)～(312)；用于将多个电极固定于真空容器内的结构物的绝缘性的电极固定部(331)～(34...

为了提供能够根据由一个照相机取得的图像来判定容器或采集对象的状态的图像处理装置、自动分析系统以及图像处理方法，而具备：图像取得部，其取得上方图像，所述上方图像是从上方拍摄收纳采集对象的容器而得到的图像，所述采集对象包括试样、试剂、反应溶...