一种利用激光束的加工方法，它能够十分简单和迅速的在工件（３４）的表面以下的预定深度（Ｄ）的位置定位激光束（８２）的聚焦点。当激光束聚焦在工件的表面上时，聚焦光学系统（７８）和工件表面之间的间距采用参考间距（ＢＬ），并且聚焦光学系统和工件...

通过沿着工件上形成的划分线施加脉冲激光光束来沿着该划分线形成激光凹槽的激光加工方法，该方法包括步骤：以椭圆形状形成该脉冲激光光束的聚焦光斑；沿着每条该划分线对该椭圆形聚焦光斑的长轴进行定位；和沿着该划分线彼此相对地移动该聚焦光斑和该工件。

一种激光束加工机，包括用于固定工件的卡盘台、用于向固定在卡盘台上的该工件施加能够穿过该工件的激光束的激光束施加装置、和用于相对彼此移动卡盘台和激光束施加装置的加工进给装置，该激光束施加装置包括激光束振荡装置、用于传输由激光束振荡装置振荡...

一种激光束加工设备，包括用于保持工件的夹盘台和用于将能够穿过工件的脉冲激光束施加于保持在该夹盘台的工件的激光束施加装置，该激光束施加装置包括脉冲激光束振荡装置和透射／会聚装置，该透射／会聚装置包括用于透射由该脉冲激光束振荡装置振荡的脉冲...

本发明着眼于由聚光物镜聚光的激光光束的焦点深度越长、加工 效果越大的情况，提供一种生产性高的激光加工装置。这种激光加工 装置具备保持被加工物的卡盘台和对保持在卡盘台上的被加工物照射 脉冲激光光束的激光光束照射机构，激光光束照射机构具备激...