中科芯微智能装备沈阳有限公司专利技术

中科芯微智能装备沈阳有限公司共有50项专利

  • 本技术提供了一种半导体的设备前端模块,包括壳体;壳体包括第一侧和第二侧,第二侧包括两块隔板,两块隔板相邻的侧边固定连接,两块隔板的相互远离的侧边分别与第一侧固定连接;两块隔板的连接处形成夹角,以使两块隔板之间形成三角区域;壳体围成的腔体...
  • 本技术提供了一种立式炉弱电箱,包括:箱体、位于箱体中的交换机、M块输入输出板,M为正整数;所述交换机以及M块输入输出板与弱电箱的接口板相连接;所述M块输入输出板呈立式横向排布,弱电箱内部的不同功能的电路的线缆分别分布在所述输入输出板上下...
  • 本技术提供了一种前开式晶圆盒装载设备,包括装载台主体和至少两个折叠支腿组件;两个折叠支腿组件位于装载台主体两侧且与装载台主体连接;每个折叠支腿组件包括与装载台主体活动连接的第一连接杆、设置在第一连接杆上的活动板、第一旋转柱塞、与第一连接...
  • 本技术提供了一种传片机械手关节组件,包括第一活动部和第二活动部,第一活动部和第二活动部转动连接,回转限位结构包括长行程弧形滑道、短行程弧形滑道和滚珠;长行程弧形滑道设置在第一活动部上,短行程弧形滑道设置在第二活动部上,长行程弧形滑道和短...
  • 本发明提供一种直流电压转换电路及电压转换装置,包括:电压稳压模块,用于对输入的9V直流电压进行稳压;电压转换模块,用于将稳压后的9V直流电压转换为3.3V电压;电压滤波模块,用于对所述电压转换模块输出的3.3V电压进行滤波,以得到稳定的...
  • 本发明提供了一种半导体设备的测试报告辅助生成系统、方法、介质和设备,该系统包括用户权限管理模块,用于接收软件管理员的指令,根据所述软件管理员的指令为已录入数据库的操作人员分配对应的操作权限;测试模板生成模块,用于接收测试人员和质检人员的...
  • 本发明提供一种高低电平自动判断电路及电路系统,包括公共端正极、公共端负极和指示灯模块;所述指示灯模块用于根据电路板的器件连接处的电平高低进行亮灯指示;所述指示灯模块通过所述公共端正极获取电源,并通过所述公共端负极接地。通过指示灯模块能够...
  • 本发明提供一种测试电路及测试系统,用于对自动控制模块进行测试,其包括供电模块、测控模块和插接模块;供电模块用于对测控模块和插接模块进行直流供电;测控模块用于提供测试信号;插接模块用于与自动控制模块对接,以根据测试信号对自动控制模块进行测...
  • 本技术涉及供电控制领域,提供一种强电箱和电控制系统,该强电箱应用于半导体设备的电控制系统,包括:电源连接器组件、开关组件、上电组件和下电组件;所述电源连接器组件包括不间断电源和输入电源;所述不间断电源电连接有监控单元、主控单元和显示单元...
  • 本发明提供一种传感器接线板及其制造方法、测量系统,包括:根据测量需求,确认传感器的型号及数量;根据传感器的型号及数量,设计印制电路板的通道和焊点,以形成布图设计;利用布图设计加工印制电路板;将与传感器所匹配的接插件焊接在印制电路板的对应...
  • 本发明涉及电路设计技术领域,具体提供一种直流电压转换电路及电压转换装置,包括:电压滤波模块,用于将输入的24V直流电压进行滤波稳压;电压转换模块,用于将滤波稳压后的24V直流电压转换为+9V直流电压和‑9V直流电压;电压输出模块,用于对...
  • 本发明提供一种带屏蔽功能的紧急按钮控制模块和设备,包括控制面板、紧急按钮、屏蔽插头和安全继电器;紧急按钮与屏蔽插头可切换的与控制面板电路连接,安全继电器与控制面板电路连接;当紧急按钮与控制面板电路连接时,若紧急按钮被按下,则安全继电器断...
  • 本发明提供一种基于印制电路板的转接板模块,包括基板、接口和功能元器件;基板布设有内层走线,通过内层走线实现接口和功能元器件之间的电性连接;接口固定于基板的预设位置处,且与部分内层走线电性连接,用于与外部电路电性连接;功能元器件集成于基板...
  • 本发明涉及半导体生产领域,提供一种用于洁净机器人设备的示教方法、示教器、系统和介质,该方法包括:S1,获取初始配置文件,初始化示教器的配置信息;S2,根据示教器当前的配置信息,获取可连接的洁净机器人设备信息;所述洁净机器人设备信息对应N...
  • 本发明提供一种应用于晶圆预对准的数据采集方法、装置、设备和介质,该方法包括:S1,获取晶圆触发的第一脉冲信号;S2,当获取到上位机输出的开始采集指令时,开始对所述第一脉冲信号做分频处理,以获得第二脉冲信号;S3,以所述第二脉冲信号作为触...
  • 本发明提供了一种或门信号翻转电路,或门信号翻转电路包括控制模块、第一信号模块、N个第二信号模块、以及与第二信号模块电连接的N个NPN型传感器,N个第二信号模块之间串联,第二信号模块与第一信号模块电连接,第一信号模块与控制模块电连接,当N...
  • 本发明提供了一种稳压滤波电路,包括供电模块、第一滤波模块、第二滤波模块、连接模块和伺服电机,所述供电模块、所述第一滤波模块、所述第二滤波模块、所述连接模块和所述伺服电机依次电连接,所述供电模块提供的电流经过所述第一滤波模块和所述第二滤波...
  • 本发明提供一种晶圆偏心检测方法、装置、电子设备和介质,该方法包括:控制机械手带动晶圆以低速经过N个传感器;根据晶圆以低速和高速触发传感器时对应的机械手的手指中心位置信息计算第一坐标和第二坐标;根据第一坐标和第二坐标计算延迟位置误差;根据...
  • 本发明提供一种动态晶圆纠偏方法、装置、设备和介质。该方法包括:S1,初始化机械手的运动参数;S2,驱动器控制机械手沿运动方向平移,以使晶圆触发N个传感器;每个传感器对应晶圆边缘上的至少一组触发信号;根据配置指令,在机械手沿同一运动方向平...
  • 本发明提供一种晶圆状态检测方法、装置、设备和介质,该方法包括:根据传感器经过晶圆过程中的触发信号,确定传感器的触发阈值;采集传感器慢速和快速经过放置有晶圆的不同晶圆槽时触发数据,计算速度影响因子;驱动传感器移动并扫描不同晶圆槽,记录晶圆...