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中国科学院上海微系统与信息技术研究所专利技术
中国科学院上海微系统与信息技术研究所共有5030项专利
一种具有垂直栅结构的SOI CMOS器件的制作方法技术
本发明公开了一种具有垂直栅结构的SOI?CMOS器件的制作方法,该方法为:由下至上依次生长硅衬底层,埋层氧化层,单晶硅顶层;采用STI工艺在单晶硅顶层位置处形成的有源区进行氧化物隔离;有源区包括NMOS区和PMOS区;在NMOS区和PM...
一种具有垂直栅结构的SOI CMOS器件制造技术
本发明公开了一种具有垂直栅结构的SOI?CMOS器件,包括SOI衬底,以及生长在SOI衬底上的NMOS区和PMOS区,所述NMOS区和PMOS区共用一个垂直栅区,所述垂直栅区与NMOS区和PMOS区位于同一平面上,垂直栅区位于NMOS区...
一种可调节垂直栅SOI CMOS器件沟道电流的叉指型结构制造技术
本发明公开了一种可调节垂直栅SOI?CMOS器件沟道电流的叉指型结构,其由多个垂直栅SOI?CMOS器件并列排布而成,其中相邻的垂直栅SOI?CMOS器件的PMOS区与PMOS区相邻,NMOS区与NMOS区相邻;所有垂直栅SOICMOS...
一种基于垂直栅SOI CMOS器件的超结结构及其制作方法技术
本发明公开了一种基于垂直栅SOI?CMOS器件的超结结构及其制作方法,该结构包括SOI衬底,以及生长在SOI衬底上的栅区、源区、沟道区、漂移区、漏区,所述栅区与埋氧层垂直并直接接触,沟道区和漏区之间设有pn柱区上下排列的漂移区,且漂移区...
一种用于半导体激光器腔面镀膜的装置和方法制造方法及图纸
本发明涉及一种用于半导体激光器腔面镀膜的装置和方法,所述的装置由三个以倾斜角固定在蒸镀平台上的承片台构成,使用时首先将解理出腔面的激光器置于承片台上,腔面贴近承片台边缘;然后利用弹簧片固定激光器,激光器的上表面被弹簧片保护;最后将承片台...
使半导体激光器在宽温区可靠工作的低应力封装装置及方法制造方法及图纸
本发明涉及一种使半导体激光器在宽温区可靠工作的低应力封装装置和方法,其利用超高真空镀膜仪和本发明的夹具进行热沉上铟焊料的蒸镀,蒸镀工艺中铟焊料的形状及厚度均可控;然后利用本发明的封装夹具将激光器和热沉放入具有还原气氛的烧结炉中进行封装焊...
相变存储单元器件的复合电极结构制造技术
本发明涉及一种相变存储单元器件结构。其特点在于:1.相变存储单元下方有一个面积较小的加热电极和一个或多个面积较大的引流电极;2.可逆相变区域被严格控制在较小的电极周围;3.可逆相变区域外的相变材料处于结晶与稳定状态,呈现稳定和较高的电导...
高量程加速度传感器横向响应波的自跟踪识别方法及系统技术方案
本发明提供一种高量程加速度传感器的横向响应波的跟踪识别方法和使用的系统。其特征在于利用摩擦和碰撞等过程产生的电信号作为跟踪触发信号,同时利用声波在一定结构材料中传播时间是一固定常数进行时域上的尺度分析,可以对加速度传感器横向响应波信号进...
一种基板倒装焊工艺制造技术
本发明涉及一种大变形预压的基板倒装焊工艺。其特征在于首先在基板上印刷助焊剂,待助焊剂涂覆、芯片与基板对准之后,在芯片端的吸头一侧加上一定的预压力,使得凸点在预压力下发生大变形,更有效地与PCB上的Cu焊盘紧密互连,在随后的回流过程中焊点...
一种通过氧离子注入退火制备绝缘体上应变硅材料的方法技术
本发明涉及一种通过氧离子注入退火制备绝缘体上应变硅材料的方法。该方法首先在硅衬底上外延SiGe合金层;然后在SiGe合金层上外延一Si层;以1017cm-2量级的剂量进行第一次氧离子注入,然后以1015cm-2量级的剂量进行第二次氧离子...
一种通过氧离子注入退火制备绝缘体上锗材料的方法技术
本发明涉及一种通过氧离子注入退火制备绝缘体上锗材料的方法。该方法首先在硅衬底上外延SiGe合金层;然后在SiGe合金层上外延Si薄层;通过两次不同剂量的氧离子注入,使注入的氧离子集中在硅衬底的上部,于硅衬底与SiGe合金层交界处形成氧离...
一种三维光子晶体制备方法技术
一种三维光子晶体制备方法,利用二氧化硅或氮化硅作为掩模层,通过氧离子注入方法将掩模层上的所需图形转移到硅衬底材料内,在硅衬底内形成第一层二氧化硅结构,接着再外延单晶硅并平坦化外延层表面,沉积掩模层、光刻刻蚀、氧离子注入并退火等形成第二层...
宽度偏移量的确定方法技术
本发明提供一种确定MOSFET器件BSIM模型参数宽度偏移量Wint的方法。首先利用半导体参数测试仪测量至少3个拥有相同沟道长度、不同沟道宽度的MOSFET器件的Ids-Vds输出特性;然后求出漏极电流Ids对漏极电压Vds的二阶导数I...
混合晶向积累型全包围栅CMOS场效应晶体管制造技术
本发明公开了一种混合晶向积累型全包围栅CMOS场效应晶体管,其包括:具有第一沟道的PMOS区域、具有第二沟道的NMOS区域及栅区域,其特征在于:所述的第一沟道及第二沟道的横截面均为腰形(跑道形),且所述第一沟道采用p型(110)Si材料...
混合晶向反型模式全包围栅CMOS场效应晶体管制造技术
本发明公开了一种混合晶向反型模式全包围栅CMOS场效应晶体管,其包括:具有第一沟道的PMOS区域、具有第二沟道的NMOS区域及栅区域,其特征在于:所述的第一沟道及第二沟道的横截面均为腰形(跑道形),且所述第一沟道采用n型(110)Si材...
混合材料积累型全包围栅CMOS场效应晶体管制造技术
本发明公开了一种混合材料积累型全包围栅CMOS场效应晶体管,其包括:具有第一沟道的PMOS区域、具有第二沟道的NMOS区域及栅区域,其特征在于:所述的第一沟道及第二沟道的横截面均为腰形(跑道形),且具有不同的半导体材料,所述的第一沟道为...
混合材料反型模式全包围栅CMOS场效应晶体管制造技术
本发明公开了一种混合材料反型模式全包围栅CMOS场效应晶体管,其包括:具有第一沟道的PMOS区域、具有第二沟道的NMOS区域及栅区域,其特征在于:所述的第一沟道及第二沟道的横截面均为腰形(跑道形),且具有不同的半导体材料,所述的第一沟道...
混合材料积累型圆柱体全包围栅CMOS场效应晶体管制造技术
本发明公开了一种混合材料积累型圆柱体全包围栅CMOS场效应晶体管,其包括:具有p沟道的PMOS区域、具有n沟道的NMOS区域及栅区,其特征在于:所述的p沟道及n沟道均为圆柱体,且具有不同的半导体材料,所述的p沟道为Ge材料,所述的n沟道...
混合材料反型模式圆柱体全包围栅CMOS场效应晶体管制造技术
本发明公开了一种混合材料反型模式圆柱体全包围栅CMOS场效应晶体管,其包括:具有第一沟道的PMOS区域、具有第二沟道的NMOS区域及栅区,其特征在于:所述的第一沟道及第二沟道均为圆柱体,且具有不同的半导体材料,所述的第一沟道为n型的Ge...
一种相变存储器的擦写方法技术
本发明公开了一种相变存储器的擦写方法,进行擦操作时,首先对器件中的相变材料施加一个脉高较低的脉冲,所述脉冲使相变材料恰好达到熔融温度,并在相变材料局部形成非晶区域;然后继续施加多个脉高较低的脉冲,在相变材料中累积非晶区域,直至器件从低阻...
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