中国科学院上海微系统与信息技术研究所专利技术

中国科学院上海微系统与信息技术研究所共有5030项专利

  • 一种小型化高增益超材料喇叭天线
    本发明提供一种小型化高增益超材料喇叭天线,包括喇叭天线本体,所述喇叭天线本体上设有自输出端口面向内延伸的一台阶孔,该台阶孔内固定有一用于使所述输出端口面的电磁波相位分布均匀化的相位分布调整模块;所述相位分布调整模块包括至少两块重叠设置的...
  • 一种Si基三维Ge量子点晶体光伏型近中红外双色探测器
    本发明涉及一种Si基三维Ge量子点晶体光伏型近中红外双色探测器,所述探测器结构为PIN或NIP结构的光伏型光电二极管结构,其中以三维Ge量子点晶体作为光吸收区。本发明利用三维Ge量子点晶体内的高效基态微带带间跃迁和价带微带子带间跃迁形成...
  • 一种磁屏蔽室的设计方法及系统
    本发明提供一种磁屏蔽室的设计方法及系统,包括以下步骤:基于确定的屏蔽空间,构建具有多层屏蔽层的磁屏蔽室的机械模型;基于所述机械模型,根据不同的相邻屏蔽层的间隔,计算对应的磁屏蔽室内部中心处的屏蔽效能,获取相邻屏蔽层的最佳间隔;基于所述机...
  • 一种基于硅纳米线的气味识别生物传感器
    本发明涉及生物传感技术领域,特别是涉及一种基于硅纳米线的气味识别生物传感器。本发明采用硅纳米线作为换能器,其比表面积高,对表面电荷密度改变极为敏感,可实现气相条件下气味分子的高灵敏检测,检测灵敏度达到ppb量级;工艺过程简单,可控性强,...
  • 硅基电容式声发射传感器及其制备方法
    本发明提供一种硅基电容式声发射传感器及其制备方法,包括:声发射敏感膜;停靠环,位于声发射敏感膜的下表面;边框,位于声发射敏感膜外围,且与声发射敏感膜相隔一定的间距;边框的上表面设有上电极,下表面设有第一绝缘层;支撑膜,位于声发射敏感膜与...
  • 一种提高石墨烯膜表面亲水性的方法
    本发明提供一种提高石墨烯膜表面亲水性的方法,包括以下步骤:1)配置表面活性剂溶液;以及2)将石墨烯薄膜与衬底的结合体在所述表面活性剂溶液中放置一定时间。根据本发明提供的方法,利用表面活性剂的亲水疏水基团实现对石墨烯膜表面的亲疏水性的调节...
  • 氮化铌SQUID器件、制备方法及参数后处理方法
    本发明提供一种氮化铌SQUID器件、制备方法及参数后处理方法,包括:首先在衬底上沉积氮化铌‑绝缘层‑氮化铌三层薄膜结构,然后制备SQUID器件超导环和底电极结构;接着制备多个并联的约瑟夫森结;再在器件表面沉积绝缘薄膜,并在每个约瑟夫森结...
  • 相变存储器的整体擦除装置
    本发明提供一种相变存储器的整体擦除装置,主要是在现有相变存储器的基础上单独增加了包含擦除使能开关、字线电压产生电路、擦除电压产生电路、位线擦除开关电路以及字线擦除开关等的整体擦除装置,以避免受二进制独热码译码器的限制,而应用本发明可以在...
  • 一种补偿瞬变电磁信号负值的方法
    本发明提供一种补偿瞬变电磁信号负值的方法,其中,所述补偿瞬变电磁信号负值的方法至少包括如下步骤:根据瞬变电磁信号的测量数据曲线,选取负值段作为拟合段;对所述拟合段进行e指数拟合,以得到拟合数据;将所述测量数据与所述拟合数据作差,以补偿所...
  • 基于SQUID一阶梯度计的工频噪声抑制装置
    本发明提供一种基于SQUID一阶梯度计的工频噪声抑制装置,应用于极低场核磁共振系统中,包括杜瓦、SQUID一阶梯度计、SQUID二阶梯度计和读出电路;所述SQUID一阶梯度计和所述SQUID二阶梯度计均设置在所述杜瓦内;所述杜瓦用于存储...
  • 一种数字PCR芯片及其制备方法
    本发明提供了一种数字PCR芯片,包括盖片与玻璃基片贴合而成的液滴产生模块和与液滴产生模块一面紧贴的液滴收集模块,其中盖片上具有液相进样口和油相进样口这两个通孔,与玻璃基片贴合的盖片的一面上刻蚀有与液相进样口或油相进样口连通的微流沟道,两...
  • 一种基于无线低功耗自组网水压信息监测系统
    本发明提供一种基于无线低功耗自组网水压信息监测系统,所述水压信息监测系统包括:安装于水管道上,用于采集所述水管道压力信息的无线压力表;通过底层无线网络与所述无线压力表连接,用于接收并转发所述无线压力表采集的压力信息的网关设备;通过底层无...
  • 极板结构、采用该极板结构的静电驱动结构及其制作方法
    本发明一种极板结构、采用该极板结构的静电驱动结构及其制作方法,所述极板结构的一侧面设有至少一个上下贯穿所述极板结构的阻尼孔,其中,所述阻尼孔的上开口面积或下开口面积大于侧开口的面积。本发明的阻尼孔可运用现有技术水平轻易制备,同时,采用这...
  • 微蒸发器、振荡器集成微蒸发器结构及其频率修正方法
    本发明提供一种微蒸发器、振荡器集成微蒸发器结构及其频率修正方法,包括:微蒸发台、锚点、支撑梁及金属电极;微蒸发台的一面为蒸发面;锚点位于微蒸发台的两侧,且与微蒸发台相隔一定的间距;支撑梁位于微蒸发台与锚点之间,一端与微蒸发台相连接,另一...
  • 一种光刻胶及其应用方法
    本发明提供一种光刻胶及其应用方法,所述光刻胶为基因重组蜘蛛丝蛋白。与传统的光刻胶相比,基因重组蜘蛛丝蛋白光刻胶具有生物相容性好、力学性能优异、抗刻蚀选择性好、易功能化、可控降解等一系列突出的优势。本发明的光刻胶在使用过程中,仅以水作为溶...
  • 基于MEMS波长可调谐FP光纤滤波器及其制备方法
    本发明提供一种基于MEMS波长可调谐FP光纤滤波器及其制备方法,包括:1)提供半导体基底,在半导体基底的第一表面形成第一凹槽及第二凹槽;2)提供键合基底,在键合基底的第一表面形成第三凹槽;3)将半导体基底与键合基底键合;4)在键合基底内...
  • 基于SQUID磁强计的工频噪声抑制装置
    本发明提供一种基于SQUID磁强计的工频噪声抑制装置,包括屏蔽室、杜瓦、SQUID梯度计、SQUID磁强计和读出电路;所述SQUID梯度计和所述SQUID磁强计均设置在所述杜瓦内,所述杜瓦和所述读出电路均设置在所述屏蔽室内;所述SQUI...
  • 基于ERSFQ电路的低温超导读出电路及读出系统
    本发明提供一种基于ERSFQ电路的低温超导读出电路及读出系统,所述低温超导读出电路包括:m个超导量子干涉器,与低温超导传感器阵列连接,用于将低温超导传感器阵列的多路输出信号转换为多路SFQ脉冲信号;ERSFQ电路,与m个超导量子干涉器连...
  • 一种面向无线自组织网的节点分层路由调度方法及系统
    本发明公开了一种面向无线自组织网的节点分层路由调度方法,其用于规划任一发送节点到任一接收节点的路由,所述调度方法包括以下步骤:(1)基于节点邻居关系获取节点分层关系;(2)基于所述节点邻居关系和所述节点分层关系规划所述发送节点到所述接收...
  • 一种过渡金属硫族化合物二维材料—石墨烯异质结构及其原位生长方法
    本发明提供一种过渡金属硫族化合物二维材料—石墨烯异质结构及其原位生长方法。方法包括:步骤A:分别提供衬底、源物质Ⅰ、源物质Ⅱ、以及碳源,将衬底升温,在保护气氛下使碳源溶解到衬底的表面,源物质Ⅰ与源物质Ⅱ分别受热挥发,进一步在溶解有碳的衬...