本发明涉及半导体功率器件封装技术领域，具体提供一种半导体功率器件的封装方法及封装结构，解决了现有封装散热效果差且在大电流在导通中的损耗大的问题，该方法包括：采用光刻刻蚀法在芯片硅衬底的下表面上刻蚀凹槽；在凹槽中淀积金属散热层；对芯片下表...

本申请提供的多孔布拉格反射镜及其制备方法，在衬底上外延生长AlN缓冲层；在所述AlN缓冲层上采用物理气相沉积法与AlN材料外延生长的方法依次交替周期性生长AlN；对周期性生长AlN后的材料进行高温退火处理，形成折射率差为1的布拉格反射镜...

本发明涉及航天技术领域，尤其涉及一种航天器封闭腔体工艺孔封堵措施的验证方法；其中，本发明摒弃常规抽真空以及直接加压的方法，以密封罐作为过渡容器，缓慢为封堵的试验件提供一个高压环境，使试验件的压力缓慢变为高压环境，再根据试验要求设定时间进...

本发明涉及微纳制造技术领域，尤其涉及一种基于双远心镜头的高精度图像位置对准系统的设计方法，首先通过合理设计模拟的被标记物及其标记点与光源排布，并根据相关参数引入双远心镜头设计可以获取像元级位置精度的高清成像的高精度图像位置对准系统。再配...

本发明涉及半导体生产领域，公开了一种具有上料功能的半导体机台，包括机台主体，所述机台主体的一端安装有上料组件，所述机台主体外侧设置有监控机构，所述机台主体的内部一侧设置有定位组件，所述机台主体的一侧开设有通槽。本发明通过通槽开设于机台主...

本发明涉及半导体制造技术领域，具体提供一种沟槽栅MOS半导体器件及其制造方法，解决了现有沟槽栅两侧一致性差的问题，器件包括：第一个导电类型掺杂的第一外延层，位于所述衬底上；第二导电类型掺杂的体区，位于所述第一外延层上；第一导电类型重掺杂...

本发明涉及半导体检测领域，公开一种硅通孔芯片的缺陷检测方法，包括步骤：S10：以包含两组及两组以上的硅通孔的芯片作为检测对象；S20：基于红外图像采集对所述检测对象进行特征提取，得到温度场数据；S30：建立缺陷标签，对温度场数据进行标签...

本发明公开了一种多元信息遥感图像的特征点快速匹配方法，包括以下步骤：通过遥感卫星的镜头焦距、轨道高度、翻滚角、俯仰角、偏航角等姿轨数据，利用像元位置数学模型计算两帧遥感图像之间的像移量，实现匹配特征点预期坐标的估计，基于设定的搜索区域阈...

本发明涉及半导体模拟器件制备技术领域，具体公开一种MIM电容器中绝缘体薄膜及其制备方法，包括以下步骤：（1）提供沉积有底层金属电极的衬底；（2）在步骤（1）所述衬底上溅射绝缘体薄膜，所述绝缘体薄膜包括复合陶瓷薄膜，所述复合陶瓷薄膜采用射...

本发明涉及空间光学技术领域，具体提供一种反射镜柔性支撑结构，包括：柔性支撑架和柔性臂，柔性支撑架包含外刚性环、内刚性环，反射镜与内刚性环相连，外刚性环用于安装反射镜组件；柔性支撑架采用与反射镜材料的热膨胀系数相同的殷钢材料，沿柔性支撑架...

本发明属于半导体晶圆加工工艺技术领域，具体公开一种半导体晶圆基底清洗方法，所述清洗方法具体是将蚀刻去光阻后的图案化晶圆浸泡在洗液中，取出再以去离子水洗涤，其中，按重量份数计，所述洗液具有如下的组分组成：去离子水34‑46份，30wt%的...

本发明涉及光限幅材料技术领域，尤其涉及一种二氧化钒‑酞菁‑石墨烯复合材料及其制备方法。包括：S1、将五氧化二钒和还原剂混合，补充去离子水，制备水热反应液；S2、将所述水热反应液进行预反应；S3、将酞菁和石墨烯加入至有机溶剂中，混合，加入...

本技术涉及光学元件技术领域，特别涉及一种具有夹层结构的反射镜。上述具有夹层结构的反射镜包括玻璃、银反射层、保护层、胶层、碳纤维板、泡沫材料层、支撑板、第一密封保护层以及第二密封保护层。上述的反射镜通过在玻璃、银反射层以及保护层的基础上粘...

本发明涉及反射镜组件装调领域，尤其涉及一种反射镜组件螺栓预紧装置，包括主镜柔节工装、一级均力机构和二级均力机构，主镜柔节工装搭接在反射镜组件的主镜柔节上；一级均力机构包括主拉杆、均力法兰、压力传感器和一级均力盘，主拉杆安装在主镜柔节工装...

本发明涉及反射镜主镜装调领域，尤其涉及一种反射镜主镜装配间隔面的检测装置及反射镜主镜装调方法，其中的检测装置包括：主镜筒工装，用于安装固定主镜筒；主镜柔节工装，用于安装固定主镜柔节，反射镜主镜安装在主镜柔节上；位移传感器，安装固定在主镜...

本申请提供的自动对焦系统及方法，激光器出射的激光光束依次经第一透镜、第二透镜后形成平行的环形光束，环形光束中的一半光束被孔径光阑遮挡，另一半经第一反光板折叠后由第三透镜聚聚于像面上并经像面反射后再依次经第三透镜、第二反光板及第四透镜后成...

本发明涉及一种改进的TransMVSnet深度学习算法的太空目标图像三维重建方法，属于计算机人工智能领域，可以解决低纹理太空目标图像的三维重建难题。步骤包括：选择一组太空目标低纹理图像的数据集，确定其相机姿态；将带有相机姿态的图像输入进...

本技术涉及光机结构技术领域，具体提供一种光学反射单元的单点支撑装置。装置包括螺杆、平面轴承、锁紧螺母、调心轴承、橡胶套、底座；底座为底部镂空的凹槽结构，调心轴承安装在底座的凹槽底部；底座的上缘用于与被支撑面粘接；调心轴承上下表面分别设置...

本发明涉及一种基于深度网络的高精度飞行器自动识别与跟踪系统，该系统采用至少一个布站在跑道安全降落区间一侧的成像系统对飞行器目标进行摄录，搭载高清可见光成像模块和连续变焦距长焦镜头，完成覆盖区域的可见光成像、采集功能；当飞行器目标在视场中...

本发明涉及半导体技术领域，具体涉及一种硅通孔的形成方法，具体步骤包括：(1)在硅片表面进行第一次掩膜；(2)通过激光加工在硅片上形成粗通孔；(3)去除第一次掩膜的残留物；(4)再次掩膜，确定精准的通孔位置和尺寸；(5)使用高能离子束对非...