中国科学院半导体研究所专利技术

中国科学院半导体研究所共有5962项专利

  • 一种基于纳米压印光栅的两步干法刻蚀方法及外延片和激光器,该方法包括:通过紫外纳米压印技术在GaInP材料上压印出光栅图形;将压印好的样品送入ICP设备中,进行一次刻蚀,反应气体为CH4/H2/Ar;对样品进行二次刻蚀,反应气体为H2/A...
  • 一种电致单光子源器件及其制备方法,该电致单光子源器件包括衬底;微柱结构,设置于衬底一侧;微柱填充物形成在所述微柱结构的侧壁外围,其高度不高于微柱结构高度;欧姆接触层,覆盖微柱结构和微柱填充物,并与微柱结构形成欧姆接触;上电极,设置在欧姆...
  • 一种N×1反向合束耦合装置及耦合系统,该N×1反向合束耦合装置包括:N支低数值孔径光纤、高数值孔径光纤和曲面反射镜;所述N支低数值孔径光纤和高数值孔径光纤(4)位于所述曲面反射镜的同一侧,所述曲面反射镜将所述N支数值孔径光纤输出的光反射...
  • 本发明公开了一种抽油机示功图的学习估计方法,包括如下步骤:S1、对原始的数据记录进行预处理,使之完整可用;步骤S2:对预处理过的数据记录过行规整化,使每条数据记录映射到统一的位移序列上,所述位移是抽油机的位移;步骤S3、利用规整后的数据...
  • 一种基于放大反馈激光器的啁啾微波产生装置,包括:任意波形发生器,用于提供随时间变化的电信号;放大反馈激光器,与所述任意波形发生器电性连接,用于依据所述随时间变化的电信号输出模式间距变化的双波长激光;以及光电探测器,接收所述的模式间距变化...
  • 一种基于分布布拉格反射激光器的啁啾微波产生装置包括任意波形发生器,用于提供随时间变化的电信号;分布布拉格反射激光器,与所述波形发生器电性连接,用于依据所述随时间变化的电信号产生啁啾激光;可调谐单模激光器,用于产生可调谐单模激光;耦合器,...
  • 一种稳定、定向输出微腔激光器,包括:一衬底;一圆形谐振腔,其制作在衬底的上面,该圆形谐振腔的圆周上具有一凹口或具有一凸口;一输出波导,该输出波导为条形,其制作在衬底的上面,位于圆形谐振腔的一侧或下面。本发明能够保持很高的品质因子,并且实...
  • 本发明公开了一种利用石墨烯插入层在玻璃衬底上外延AlN薄膜的方法及该方法制成的AlN薄膜外延结构。所述方法包括:S1、在一临时衬底上生长单层石墨烯;S2、将所述临时衬底上的生长的单层石墨烯转移到所述玻璃衬底上;S3、在表面具有单层石墨烯...
  • 本发明提供了一种用于输出飞秒脉冲的锁模激光器,包括在两解理面之间通过无源脊波导依次连接的半导体饱和吸收体、半导体光放大器、多通道阵列波导光栅和相位延迟波导阵列。本发明提供的锁模激光器无需利用外部脉冲压缩技术即可获得飞秒脉冲输出,具有制作...
  • 本发明公开了一种基于全量子阱选择区域外延的半导体锁模激光器制作方法。所述方法包括:1.选区外延掩模设计;2.选取外延掩模图形制作;3.选区外延;4.激光器腔体结构制作;5.电隔离制作;6.电极制作;7.解理得到管芯激光器。本发明通过一次...
  • 一种数字化核酸扩增仪,包括机箱,其中,所述机箱的内部设有温度控制器和风机模块,所述风机模块包括热电冷却器;所述热电冷却器设于所述机箱的一侧,所述温度控制器紧邻所述热电冷却器设于所述机箱的另一侧,所述温度控制器与所述热电冷却器电气连接,用...
  • 本发明涉及一种表贴式的无自激偏置网络及其制作方法,偏置电路中薄膜电阻镀于陶瓷基板上表面,锥形电感紧贴于薄膜电阻,且锥形电感与薄膜电阻并联焊接。陶瓷基板开有一个或多个通孔。陶瓷基板上表面的薄膜电阻的两端通过导线连接于陶瓷基板下表面的电极上...
  • 一种基于法珀标准具后向探测的稳频半导体激光器,包括:一半导体激光器管芯;一第一聚焦透镜,其位于半导体激光器管芯一端的输出光路上;一光隔离器,其位于第一聚焦透镜的输出光路上;一第二聚焦透镜,其位于光隔离器的输出光路上;一光纤耦合输出端,其...
  • 本发明公开了一种投弃式湍流测量系统,所述投弃式湍流测量系统包括:甲板单元,所述甲板单元用于在测量过程中进行光学信号处理;探头单元,所述探头单元包括多种光纤传感器,用于在下沉过程中采集信号;以及连接所述甲板单元和所述探头单元的传输光纤。本...
  • 一种基于纳米压印光栅的二次干法刻蚀方法及外延片和激光器,该方法包括:通过紫外纳米压印工艺,在外延片表面涂覆的光刻胶上压印出光栅图形;将压印好的外延片送入电感耦合等离子体(ICP)设备的反应腔室中进行一次刻蚀,反应气体为CH4/H2/Ar...
  • 本发明公开了一种二维光子准晶宽区半导体激光器结构,包括:一衬底;一下波导;一下限制层;一有源区;一上限制层;一上波导;一接触层;一钝化层;一正面电极;一背面电极;一制作于上限制层的二维光子准晶阵列,从接触层到下波导刻蚀出条形宽区台面,钝...
  • 本发明提出一种接触式的光控开关装置,包括光钥匙发射端和光开关接收端两部分,其中光钥匙发射端包括第一接触电极,第二接触电极、发光器件、钥匙体、钥匙端控制模块;光开关接收端包括第三接触电极、第四接触电极、光接收器件、光开关接收端锁体、光开关...
  • 多路径相差光跳频保密通信系统
    本发明提供了一种多路径相差光跳频保密通信系统,在通信光纤的两端各插入一个光跳频机进行加密与解密,光跳频机包括5个SFP光收发模块,1块FPGA芯片,8段光纤延时线,1个双向阵列波导光栅AWG。两个光跳频机之间的传输光纤中包含4个不同波长...
  • 本发明公开了一种远程测量路基沉降高度的方法,其包括:选取两处固定的参考位置A和C;在待测路基的上方第一高度D处放置第一反射镜;在参考位置C处放置第二反射镜;在待测路基发生沉降前,激光测距仪在A处出射一束与水平面夹角为θ1的第一激光束,激...
  • 芯片式高通量生物检测冷冻均匀进样方法
    一种芯片式高通量生物检测冷冻均匀进样方法,包括如下步骤:步骤1:将待测溶液充分搅拌均匀;步骤2:将搅拌混匀的待测液体置于与芯片匹配的容器中;步骤3:冷冻待测液体,获得固态冰片;步骤4:将固态冰片置于芯片上方,融化后实现液体均匀进入到芯片...