提供光学格栅组件及形成方法。在一些实施例中，一种方法包括提供光学格栅层以及在光学格栅层中形成光学格栅，其中光学格栅包括相对于光学格栅层的平面的垂直线以非零倾斜角设置的多个斜角沟槽。所述方法可还包括将来自光源的光传送至光学格栅层中以及测量...

一种设备可包括：主腔室；入口隧道，具有延伸到所述主腔室中的入口轴线；以及出口隧道，连接到所述主腔室且界定出口轴线，其中所述入口隧道及所述出口隧道在所述入口隧道与所述出口隧道之间界定小于25度的束弯曲。所述设备可包括：电极装配件，设置在所...

本发明公开一种用于改善产生某些离子束(且具体而言，锗及氩)的束流的方法。已证实使用氩作为第二气体会改善锗烷的离子化，允许在不使用卤素的情况下形成具有足够束流的锗离子束。另外，已证实使用锗烷作为第二气体会改善氩离子束的束流。

一种形成光栅元件的方法。所述方法可包括：提供基板，所述基板包括下伏层及设置于所述下伏层上的硬遮罩层。所述方法可包括：将所述硬遮罩层图案化以界定光栅场；以及在所述光栅场内蚀刻所述下伏层，以沿第一方向界定所述下伏层的可变高度，所述第一方向平...

本发明提供一种旋转组合，所述旋转组合包括内轴，其中内轴是能够旋转的且包括内部通道，内部通道能够操作以将低温流体递送至台板。旋转组合可更包括：旋转组合轴，环绕内轴；以及密封组件，耦合至旋转组合轴。密封组件可包括：支撑件；金属波纹管，围绕支...

一种在基板中形成斜角结构的方法。所述方法可包括通过在设置于所述基板的基板基底上的掩模层中蚀刻斜角掩模特征而形成掩模的操作，所述斜角掩模特征具有相对于所述基板的主表面的垂直线以非零倾斜角定向的侧壁。所述方法可包括在所述掩模就位的情况下蚀刻...

本实用新型提供一种用于静电过滤器的电极。在一些实施例中，系统可包含接收离子束的静电过滤器，静电过滤器包含安置在离子束线的相对侧的第一电极和第二电极，第一电极和第二电极中的每一个具有位于第一端与第二端之间的中心区域，其中第一电极的第一外表...

本发明公开一种具有坩埚的离子源。在一些实施例中，坩埚设置在离子源的各端中与阴极相对的一端上。在其他实施例中，坩埚设置在各侧壁中的一者中。可呈固态形式的馈入材料设置在坩埚中。在某些实施例中，馈入材料通过等离子中的离子及电子而被溅射。在其他...

本发明公开一种用于检测容器中剩余的材料量的装置。此种装置在与半导体处理器件一起使用时、尤其在材料呈固相时可为有益的。所述装置在设置于容器中的电极与容器的外侧之间测量阻抗，以关于容器可具有何种填充程度进行确定。在某些实施例中，仅使用阻抗的...

一种装置处理方法。所述方法可包括：在层中提供空腔；将高能通量引导到所述空腔的底表面；执行将所述空腔暴露到含水分的环境；以及利用原子层沉积(ALD)工艺将填充材料引入所述空腔中，其中所述填充材料相对于所述空腔的侧壁选择性地沉积在所述空腔的...

一种研磨系统，所述研磨系统包含具有固态光传输窗口的研磨垫、具有端部的光纤以及具有贯穿的垂直穿孔的间隔件。该间隔件的底表面接触该光纤的端部，该间隔件的顶表面接触该窗口的下侧，而该垂直穿孔对准该光纤。

本发明提供一种用于溅射设备的可旋转靶材座装置，其中该靶材座装置适于在该靶材座装置上接收实体靶材圆柱，该可旋转靶材座装置包含：靶材座圆柱（４），该靶材座圆柱（４）具有侧面（３）、中间部（１２）、第一末端区（７）及与该第一末端区相对的第二末...

本发明提供一种控制钨膜的电阻率与形态的方法，该方法包含：在第一沉积阶段期间，通过下列步骤在基板上沉积块材钨层的第一膜：（ｉ）将连续流动的还原气体与脉冲式流动的含钨化合物导入工艺腔室，以在该基板的表面上沉积钨；（ｉｉ）使该还原气体而不使该...

本发明是关于一种远程等离子体工艺，所述工艺用以在处理过安置于基板处理腔室内的基板之后，自该基板处理腔室的一个或多个内部表面移除不良沉积堵塞。在一实施例中，将基板转移出基板处理腔室，且将含氟蚀刻气体流引入远程等离子体源，在远程等离子体源中...

将氧化硅层沉积于基板上的方法涉及使一含硅前体、一氧化气体、水及一添加前体流入一处理腔室中以使得在整个该基板表面上达成一均匀的氧化硅生长速度。根据实施例生长的氧化硅层的表面在与该添加前体一起生长时可具有一降低的粗糙度。在本发明的其它方面中...

本发明提供一种形成太阳能电池的方法和设备。使用含碳、氧和氮的掺杂结晶半导体合金作为薄膜太阳能电池的光捕捉加强层和电荷收集层。半导体合金层的形成是通过提供半导体源化合物和共同组成源化合物至处理腔室、以及离子化气体以沉积层至基板上。合金层能...

使用组合照明以检测工件（１０４、４５４、５１２、６０４、１５０６、１５２０）的不同层中诸如划线的特征结构的位置。因为不同材料的层的组合可以不同方式散射、反射、散射及／或透射光，所以组合及调整此照明可允许同时检测出多个特征结构的位置，以使...

本发明描述光伏电池及光伏电池的制造方法。该光伏电池的操作层沉积在具有多个间隔斜坡的覆板上以让个别电池可串联，且因为这些电池之间的无效空间而有最小的效率损失。

一种用于一基板涂布系统的插入设备，该插入设备包括：一插入组件１００，其在一涂布系统内操作，该插入组件包括一处理台，该处理台被适配成接收一涂布工具，用以将一涂层涂覆至一基板；一载体１１０，其用于载运该插入组件１００；第一定位器１３０，其与...

本发明的具体实施例通常也提供太阳能电池形成工艺，其包含形成金属接触覆盖于重度掺杂区域上，该重度掺杂区域以期望的图案形成于基板的表面上。本发明的具体实施例也提供检验系统以及支撑硬件，其被使用以可靠地将类似形状或图案化的金属接触结构安置于图...