用于静电过滤器的电极制造技术

本实用新型专利技术提供一种用于静电过滤器的电极。在一些实施例中，系统可包含接收离子束的静电过滤器，静电过滤器包含安置在离子束线的相对侧的第一电极和第二电极，第一电极和第二电极中的每一个具有位于第一端与第二端之间的中心区域，其中第一电极的第一外表面与第二电极的第二外表面之间的距离沿着在第一端与第二端之间延伸的电极纵轴变化。系统可进一步包含与静电过滤器连通的电源，电源可操作以向第一电极和第二电极供应电压和电流，其中第一外表面与第二外表面之间的可变距离引起离子束会聚或发散。

【技术实现步骤摘要】
用于静电过滤器的电极
本技术大体上涉及用于制造电子装置的技术，尤其涉及用于使用具有成形电极的静电过滤器来控制离子束的技术。
技术介绍
离子植入为经由轰击将掺杂剂或杂质引入到衬底内的工艺。在半导体制造中，引入掺杂剂以更改电学、光学或机械特性。举例来说，可将掺杂剂引入到本征半导体衬底中以更改衬底的传导率的类型和等级。在制造集成电路(integratedcircuit，IC)过程中，精确的掺杂分布提供改善的IC性能。为了达成所需的掺杂分布，可以离子的形式按各种剂量和各种能级植入一种或多种掺杂剂。离子植入系统可包括离子源和一系列束线组件。离子源可包括产生所需离子的腔室。离子源也可包括安置在腔室附近的电源和提取电极组合件。束线组件可包含例如质量分析器、一个或多个分析磁体、第一加速或减速级、准直器以及第二加速或减速级。分析磁体选择所需离子物质，滤出污染物质和具有非所需能量的离子，并且在目标晶片处调节离子束质量。适当成形的电极可修改离子束的能量和形状。与用于操控光束的一系列光学透镜十分相似，束线组件能够过滤、聚焦、加速、减速以及操控离子或离子束以具有本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于静电过滤器的电极，其特征在于，所述电极包括：/n第一端及第二端，所述第一端与所述第二端相对；以及/n中心区域，位于所述第一端与所述第二端之间，其中所述中心区域的中心直径与所述第一端的第一端直径和所述第二端的第二端直径不同。/n

【技术特征摘要】
20190919 US 16/575,9691.一种用于静电过滤器的电极，其特征在于，所述电极包括：
第一端及第二端，所述第一端与所述第二端相对；以及
中心区域，位于所述第一端与所述第二端之间，其中所述中心区域的中心直径与所述第一端的第一端直径和所述第二端的第二端直径不同。


2.根据权利要求1所述的用于静电过滤器的电极，其特征在于，所述中心区域中的所述中心直径大于或小于所述第一端的所述第一端直径以及所述第二端直径。


3.根据权利要求1所述的用于静电过滤器的电极，其特征在于，所述第一端的所述第一端直径与所述第二端的所述第二端...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗伯特·C·林德柏格，亚历山大·利坎斯奇，惠妮·拉伯斯，法兰克·辛克莱，史费特那·瑞都凡诺，
申请(专利权)人：应用材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：美国;US