温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供一种用于静电过滤器的电极。在一些实施例中，系统可包含接收离子束的静电过滤器，静电过滤器包含安置在离子束线的相对侧的第一电极和第二电极，第一电极和第二电极中的每一个具有位于第一端与第二端之间的中心区域，其中第一电极的第一外表面与...
该专利属于应用材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。