在包括基板、多层反射膜、保护膜、吸收体膜和硬掩模膜的反射掩模坯中，保护膜由含有钌(Ru)的材料组成，吸收体膜由第一层和第二层或第一层、第二层和第三层组成，第一层具有含有钽(Ta)且不含氮(N)的组成，第二层具有含有钽(Ta)和氮(N)的...

提供由下述通式(1)表示的含有羟基的有机硅化合物。(R13SiO1/2)k(R12SiO2/2)p(R1SiO3/2)q(SiO4/2)r (1)[式(1)中，R1为选自一价烃基和由下述式(2)表示的基团中的基团，其中，全部R1基团中的...

提供硅氧烷改性聚氨酯组合物，其包含：(A)由式(1)表示的含羟基的有机硅化合物(R13SiO1/2)k(R12SiO2/2)p(R1SiO3/2)q(SiO4/2)r  (1)[R1为一价烃基等，不过，全部R1基团中的至少一个为由式(2...

本发明涉及能够形成拒水拒油性、耐磨损性优异、具有高摩擦系数的固化被膜的含有氟聚醚基的聚合物组合物，其含有：(I)在分子内具有氟聚醚基和反应性官能团、该氟聚醚基与反应性官能团经由不具有极性基团的连接基键合的特定结构的聚合物；(II)在分子...

一种化学增幅正型抗蚀剂组合物和抗蚀图案形成方法。提供能够获得提高了形成图案时的分辨率且改善了LER、分辨率、图案忠实性和剂量裕度的抗蚀图案的化学增幅正型抗蚀剂组合物和抗蚀图案形成方法。一种化学增幅正型抗蚀剂组合物，其包含(A)淬灭剂和(...

本发明涉及化学增幅负型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法。本发明的课题为提供能够改善图案形成时的分辨性，且得到LER及图案忠实性良好的抗蚀剂图案的化学增幅负型抗蚀剂组成物、及抗蚀剂图案形成方法。本发明为一种化学增幅负型抗蚀剂组成物，含有：...

具有高热导率，作业性、耐偏移性优异的导热性有机硅组合物，其含有：(A)有机硅凝胶交联物；(B)既不含脂肪族不饱和键又不含SiH基的硅油；(C)平均粒径0.01～100μm的导热性填充剂：相对于(A)、(B)成分的合计100质量份为10～...

提供化学增幅负型抗蚀剂组合物和抗蚀图案形成方法。提供能够获得提高了形成图案时的分辨率且改善了LER、分辨率、图案忠实性和剂量裕度的抗蚀图案的化学增幅负型抗蚀剂组合物和抗蚀图案形成方法。一种化学增幅负型抗蚀剂组合物，其包含(A)淬灭剂和(...

本发明涉及鎓盐、化学增幅正型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法。本发明的课题是提供可产生具有适当的酸强度且扩散小的酸的鎓盐、含有其的化学增幅正型抗蚀剂组成物、及使用该抗蚀剂组成物的抗蚀剂图案形成方法。该课题的解决手段是一种鎓盐，以下式(A...

本发明提供一种制造解聚纤维素醚的方法，所述方法节省空间且生产率高，能够减少纤维素醚的粉体对反应器的附着，并且能够得到抑制了黄度和异物的产生量的解聚纤维素醚。一种连续地制造解聚纤维素醚的方法，至少包含以下工序：a)调湿工序，使从原料罐(1...

本发明为一种负极活性物质，其为包含负极活性物质颗粒的负极活性物质，其特征在于，所述负极活性物质颗粒含有由碳层包覆的硅氧化物颗粒，并且，所述碳层在由其至少一部分的拉曼光谱分析得到的拉曼光谱中，源自G带的峰位置在大于1590cm<su...

本发明为一种负极活性物质，其包含负极活性物质颗粒，其特征在于：所述负极活性物质颗粒含有SiO<subgt;x</subgt;所表示的硅化合物，其中，0.5≤x≤1.6，在由所述负极活性物质颗粒的XANES测定得到的XANES...

本发明提供一种固化性全氟聚醚凝胶组合物，其含有：10～90质量份的(A)在一分子中具有2个以上的烯基且在主链中不具有支链结构的直链状全氟聚醚化合物；10～90质量份的(B)在一分子中不具有反应性官能团的直链状全氟聚醚化合物(其中，(A)...

本发明涉及鎓盐型单体、聚合物、化学增幅抗蚀剂组成物及图案形成方法。本发明的课题为提供在使用高能射线的光学光刻中，良好的感度、对比度，且曝光裕度、边缘粗糙度、尺寸均匀性、焦点深度等光刻性能优异，同时即便在微细图案形成中抗图案崩塌仍强且蚀刻...

一种生物体电极组合物、生物体电极和生物体电极的制造方法。[课题]提供一种生物体电极组合物、利用该生物体电极组合物形成有生物体接触层的生物体电极及其制造方法，所述生物体电极组合物能够形成导电性和生物体相容性优异、质量轻且能够以低成本进行制...

本发明涉及缩醛修饰剂、聚合物、化学增幅正型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法。本发明课题：提供具有极高孤立间距分辨性，LER小，矩形性优异，抑制显影负载及残渣缺陷的影响，同时蚀刻耐性、图案崩塌受抑制的化学增幅正型抗蚀剂组成物；用以制造用于...

本发明涉及水硬性组合物和制造3D物品的方法。包含(A)可溶于水的羟烷基烷基纤维素、(B)聚丙烯酰胺、(C)水泥、(D)水和(E)短纤维的水硬性组合物适合于材料挤出工艺的3D打印。组合物具有满意的喷嘴可挤出性、在层压之后的自支承和保水性。...

本发明涉及抗蚀剂下层膜形成方法、及图案形成方法。本发明课题为提供高程度地兼顾填埋性与干蚀刻耐性的含有金属的抗蚀剂下层膜形成方法及图案形成方法。该课题解决手段为一种抗蚀剂下层膜形成方法，其包括：(i)涂布步骤，将含有具有金属‑氧共价键的金...

具有由下述式(1)表示的结构单元比的有机聚硅氧烷可形成即使在不使用溶剂的情况下固化性和稳定性也优异、可制作具有高硬度和高透明性的固化物的室温固化性组合物。(R1、R2表示碳原子数1～12的烷基或碳原子数6～10的芳基，k表示1～3的整数...

本发明提供一种导热性片，其在高分子基质(A)中含有导热性填料(B)，该导热性填料(B)包含碳和氮化硼中的任意一种以上，所述导热性片的厚度方向的导热率为15W/m·K以上，并且所述导热性填料的长轴方向沿所述导热性片的厚度方向取向的取向度为...