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信越化学工业株式会社专利技术
信越化学工业株式会社共有3967项专利
热固性树脂组合物、热固性树脂膜以及半导体装置制造方法及图纸
本发明提供一种热固性树脂组合物,其在成膜时的处理性和操作性优异,且对基材具有高密合性,并且其固化物具有低弹性。该热固性树脂组合物包含下述成分(A)~成分(C),(A)硅酮改性环氧树脂:90~10质量份;(B)重均分子量(Mw)为2500...
具有高热导率的器件基板及其制造方法技术
提供一种具有高热导率、高散热性并且在高频损耗小的器件基板,以及该器件基板的制造方法。本发明的器件基板1可以通过以下方法制造:使用临时贴合粘合剂31将SOI器件基板10的Si器件层侧临时贴合到支撑基板20,该SOI器件基板包括Si基础基板...
含功能剂纤维及其制造方法技术
在本发明的一个实施方式的含功能剂纤维中,上述功能剂担载于粘固在纤维上的有机硅上,上述有机硅包含在一分子中具有2个以上丙烯酸系基团的丙烯酸改性有机聚硅氧烷,在上述含功能剂纤维中,洗涤10次后的功能剂的减少率低于40%。在本发明中,可以通过...
加成固化型有机硅组合物和硅橡胶固化物制造技术
本发明是鉴于上述情况而进行的发明,其目的在于:提供保存稳定性优异的加成固化型有机硅组合物,该有机硅组合物可以给予具有优异的阻燃性的硅橡胶,并且,不会随时间而发生由脱氢反应引起的增稠。加成固化型有机硅组合物,含有下述的(A)~(E)成分:...
加成固化型硅橡胶组合物及安全气囊制造技术
本发明提供加成固化型硅橡胶组合物及安全气囊。加成固化型硅橡胶组合物,其特征在于,包含:(A)含有烯基的有机聚硅氧烷:100质量份;(B)有机氢聚硅氧烷:其量使得相对于(A)成分中的烯基1摩尔,(B)成分中的硅原子键合氢原子的摩尔数成为5...
碘鎓盐、抗蚀剂组合物和图案形成方法技术
本发明为碘鎓盐、抗蚀剂组合物和图案形成方法。提供了新的羧酸碘鎓盐和包含其作为猝灭剂的抗蚀剂组合物。当将所述抗蚀剂组合物通过使用KrF或ArF准分子激光、EB或EUV的光刻法进行加工时,形成在矩形性、MEF、LWR和CDU方面得以改进的抗...
锍化合物、正型抗蚀剂组合物和抗蚀剂图案形成方法技术
本发明涉及锍化合物、正型抗蚀剂组合物和抗蚀剂图案形成方法。本发明中新的锍化合物具有式(A),包含聚合物和含有锍化合物的猝灭剂的正型抗蚀剂组合物在图案形成期间的分辨率和LER方面得以改进并且具有储存稳定性。在式(A)中,R
用于生产薄晶片的方法技术
用于生产薄晶片的方法包括:通过用光从晶片层合体的支持体侧照射晶片层合体而将支持体从晶片层合体分离,所述晶片层合体包括支持体、在支持体上形成的粘合剂层和以其表面层合的包括朝向粘合剂层的电路平面的晶片;和在分离之后通过剥离将晶片上残留的树脂...
抗蚀剂组合物和图案化方法技术
本发明涉及抗蚀剂组合物和图案化方法,包含基础聚合物和由具有经由二价烃基键合至氮原子的碘取代的芳环的铵阳离子以及羧酸根、不含氟的磺酰亚胺、磺酰胺或卤素阴离子组成的铵盐形式的猝灭剂的抗蚀剂组合物提供高感光度和最小的LWR或改进的CDU,而不...
橡胶被膜形成用有机硅乳液组合物及其制造方法技术
下述的橡胶被膜形成用有机硅乳液组合物不存在保存稳定性和副产物的问题,并且即使不使用有机锡化合物也可用短时间形成橡胶被膜,所述橡胶被膜形成用有机硅乳液组合物包含(A)在1分子中具有至少2个与分子末端的硅原子键合的羟基的有机聚硅氧烷、(B)...
加成固化型有机硅组合物及半导体装置制造方法及图纸
本发明为一种加成固化型有机硅组合物,其特征在于,其含有:(A)下述平均单元式(1)所示的有机聚硅氧烷;(B)下述平均单元式(2)所示的有机聚硅氧烷;(C)下述平均组成式(3)所示的、1分子中具有至少2个Si‑H键的有机氢聚硅氧烷;及(D...
制备(E2)-顺-6,7-环氧-2-壬烯醛的方法技术
本发明的目的是提供一种制备下式(3)的(E2)‑顺‑6,7‑环氧‑2‑壬烯醛的工业化并经济的方法:
制备(E2,Z6)-2,6-壬二烯醛的方法技术
本发明的目的是提供一种制备下式(4)的(E2,Z6)‑2,6‑壬二烯醛的工业化并经济的方法:
喷涂涂层、制造喷涂涂层的方法、喷涂的部件及喷涂材料技术
本发明涉及一种喷涂涂层、制造喷涂涂层的方法、喷涂的部件及喷涂材料。具体涉及一种具有多层结构的喷涂涂层,其包含下层和表层,所述下层由含有稀土氧化物的喷涂涂层制成,所述表层由含有稀土氟化物和/或稀土氟氧化物的另外喷涂涂层制成,该多层的喷涂涂...
固化性组合物、该组合物的固化物及使用了该固化物的半导体装置制造方法及图纸
本发明的目的在于提供一种给予硬度、机械强度及抗裂性高,短波长区域的透光性、气体阻隔性优异的固化物的固化性组合物。所述固化性组合物含有下述(A)、(B)及(C):(A)式(1)表示的有机硅化合物与式(2)表示的有机硅化合物的加成反应产物,...
在稀土磁铁表面的被膜的形成方法和稀土磁铁技术
本发明提供稀土磁铁,是通过用紫外线固化树脂组合物被覆稀土磁铁的表面,对紫外线固化树脂组合物照射紫外线以使其固化,从而在稀土磁铁表面形成了紫外线固化树脂的被膜的稀土磁铁,其中,采用包含以下工序的方法形成了被膜:采用从喷头将液滴射出的喷墨方...
化学增幅抗蚀剂组合物和图案化方法技术
本发明提供化学增幅抗蚀剂组合物和图案化方法。化学增幅抗蚀剂组合物包括:猝灭剂,其含有带有碘代或溴代芳环的羧酸的铵盐;和产酸剂,该化学增幅抗蚀剂组合物显示出增感效果和酸扩散抑制效果并且形成具有改善的分辨率、LWR和CDU的图案。
抗蚀剂组合物和图案化方法技术
本发明涉及抗蚀剂组合物和图案化方法,其中,包含具有碘化的或溴化的芳环的羰氧基酰亚胺化合物的抗蚀剂组合物具有高的感光度并且形成具有改进的LWR或CDU的图案。
抗蚀剂组合物和图案化方法技术
本发明涉及抗蚀剂组合物和图案化方法,其中,包含基础聚合物和具有经由二价烃基键合至氮原子的碘取代的芳环的胺化合物形式的猝灭剂的抗蚀剂组合物提供高感光度和最小的LWR或改进的CDU,而不管其具有正色调还是负色调。
用于悬浮液等离子喷涂的浆料和用于形成喷涂涂层的方法技术
本发明涉及用于悬浮液等离子喷涂的浆料和用于形成喷涂涂层的方法。本发明提供用于悬浮液等离子喷涂中的浆料,其包括分散介质和稀土氧化物颗粒,稀土氧化物颗粒具有1.5至5μm的粒度D50和小于1m
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