本发明提供一种光掩模基板，其包括：设置在透明衬底上，耐氟干法蚀刻并且可通过氯干法蚀刻去除的蚀刻截止膜、设置在蚀刻截止膜上，并且至少包括一层由过渡金属／硅材料构成的层的光屏蔽膜，和设置在光屏蔽膜上的减反射膜。当对光屏蔽膜进行干法蚀刻以形成...

本发明公开了防护薄膜组件的制造方法及防护薄膜组件。本发明的防护薄膜组件的制造方法，是以氟树脂构成防护薄膜，并将防护薄膜从形成该薄膜的基板剥离后再加热。加热温度宜未达防护薄膜的玻璃转变点温度为佳。此外，本发明的防护薄膜组件，其防护薄膜抗拉...

本发明的目的在于提供一种防护薄膜，即使将该防护薄膜贴附在掩模上，也不会损害到掩模的平坦度。本发明的防护薄膜的特征是，该防护薄膜的框架的掩模贴附侧的平坦度在３０μｍ以下，且该防护薄膜的框架的防护薄膜侧的平坦度在１５μｍ以下。

本发明的目的在于提供一种干净且成本低廉的防护薄膜组件收纳容器，其在真空成形后以适当的加工方法对外周围进行加工，使端面没有毛边等瑕疵。为达到上述目的，先将树脂片材真空成形，再切削除去片材周围的剩余部分，制得防护薄膜组件收纳容器构件，接着，...

本发明提供一种抗蚀剂组合物的制备方法，所述抗蚀剂组合物能使从所制备的抗蚀剂组合物得到的抗蚀剂膜的溶解性能得以稳定；还提供了一种通过所述制备方法得到的、显示随时间退化的批间偏差小的抗蚀剂组合物。本发明的方法用于制备含有粘合剂、酸产生剂、含...

本发明的目的在于提供一种轻量化且低成本的防护薄膜组件收纳容器，其是以片材成形，且未使用其它补强体，便具有能承受保管、输送中的外力冲击，防止异物附着于内部收纳的防护薄膜组件的足够刚性。为达成上述目的，本发明的容器本体以及盖体，是由树脂片材...

本发明为用于纳米压印模具的掺杂二氧化钛的石英玻璃。在纳米压印光刻法中，在波长３６５ｎｍ具有最高为１０％的内部透射率分布的掺杂二氧化钛的石英玻璃适合作为纳米压印模具使用。

本发明涉及用于纳米压印模具的掺杂二氧化钛的石英玻璃。在所述纳米压印光刻法中，该石英玻璃在０℃和２５０℃之间具有－３００～３００ｐｐｂ／℃的ＣＴＥ和２５℃下最高为１００ｐｐｂ／℃的ＣＴＥ分布，适合用作纳米压印模具。

本发明提供一种光刻用防护薄膜组件，其目的在于达到即使在掩模上粘贴防护薄膜组件，掩模也不会产生应变的效果。在本发明的光刻用防护薄膜组件中，用来将防护薄膜组件粘贴于掩模上的掩模黏着剂具有平坦面，且该面的平坦度在１５μｍ以下。

本发明的目的在于提供一种优异的防护薄膜框架，其可藉由提高防护薄膜框架的平坦度，以减少框架变形，从而减少防护薄膜组件黏贴时光罩的变形。为达成上述目的，在半导体光刻使用的防护薄膜组件中，本发明的防护薄膜框架的剖面积在６ｍｍ↑［２］以下，又，...

本发明的目的在于提供一种防护薄膜框架，其可使光罩在完成后即使黏贴防护薄膜组件，光罩的平面度也不易恶化。为达成上述目的，在半导体光刻使用的防护薄膜组件中，本发明的防护薄膜框架使用杨氏模量１００ＧＰａ以上的材料。又，在半导体光刻使用的防护薄...

一种光学纤维母材的预塑形坯的制造方法，其特征在于：具有以下几个步骤： 成形工序：通过将玻璃微粒子堆积，形成多孔玻璃母材； 脱水工序：将上述多孔玻璃母材，在含有氯气的气体的气氛中加热、脱水； 加热工序：将经上述脱水工序被...

一种芯层和包覆层之比为期望值的光纤用基体材料制造方法，其特征在于，该方法包括： 通过沉积玻璃颗粒以制造一多孔基体材料； 该多孔基体材料经脱水和玻璃化处理以制造一芯部构件； 添加一包覆层到该芯部构件上； 在一电炉内...

一种用于拉制光导纤维的光导纤维预制品，在上述光导纤维预制品拉制的光导纤维中，波长为１３８５ｎｍ的光在一个等于模场直径两倍的外部和内部区域中传播，其特征在于温度Ｔ↓［ｓ］为光导纤维的某一内部区域的径向粘度分布的最大值Ｖ↓［ｏ］［ｌｏｇ（ｐ...

本发明是关于一种掺氟石英玻璃制品及其制造方法，其揭露了一种通过在氟气气氛中烧结正在一加热区内移动的多孔玻璃预制体来制造一种掺氟石英玻璃制品的方法，其中进行的氟气处理是将多孔玻璃预制体在温度为１０００℃或以上的加热区内的移动速度设定为Ｌ／...

一种能够缩短处理容器内的环境的利用惰性气体的置换及重氢的填充所需要的时间，且能够抑制高价的重氢的使用量的光纤处理装置以及处理方法。其特征在于：多数个光纤处理容器以配管建立空间连结，且各处理容器的处理室由能够收纳个以上的卷绕有被处理纤维的...

本发明涉及通过有机硅化合物燃烧所形成的氧化硅膜而粘接硅橡胶和基底材料，并使之一体化而形成的硅橡胶和基底材料的一体成型复合体。本发明的硅橡胶和基底材料的一体化复合体可以有效地在各种垫圈等汽车用部件、厨房灶用的窗框密封装置、罐密封垫等家电类...

一种光纤处理装置、处理方法以及光纤，其可以监控以至少包含重氢的气体来进行的光纤处理，并可同时侦测出处理的结束。对光纤进行气体处理的装置的处理容器除了光纤进出的门以外，还包括气体导入口、气体排出口以及抽样光纤取出口。此装置更包括与从抽样光...

制造光学纤维母材的预塑形坯的方法，该方法具有：形成工序：通过将玻璃微粒子堆积，形成多孔玻璃母材；脱水工序：将多孔玻璃母材在含有氯气的气体的气氛中加热、脱水；加热工序：将由脱水工序被脱水的多孔玻璃母材，在第１惰性气体气氛中，在第１加热温度...

本发明提供一种光纤母材的制造方法及装置，其中燃烧器与烟灰沉积体的相对位置一直固定，并可制造出折射率分布稳定的光纤母材。在利用火焰水解反应使烟灰沉积而制造光纤母材的方法中，将包括光纤母材合成用燃烧器（４、５）的燃烧器固持器（６）及其固定夹...