本发明涉及制备光掩模坯料的方法、光掩模坯料，制备光掩模的方法、光掩模和金属铬靶。具体涉及一种用于制备包含透明衬底和与其邻接的含铬膜的光掩模坯料的方法，包括通过溅射具有至多1ppm的Ag含量的金属铬靶来沉积含铬膜的步骤。当从光掩模坯料制备...

本发明的目的在于提供一种钻石基板的制造方法以及用于所述方法的衬底基板，其对于减低包含位错缺陷等的各种缺陷是有效的。上述衬底基板是用于利用化学气相沉积法来成膜钻石膜的衬底基板，其特征在于：前述衬底基板的表面，相对于规定的晶面方位附有偏离角。

本发明为感光性树脂组合物、感光性干膜、感光性树脂涂层和图案形成方法。将包括(A)有机硅改性的聚苯并噁唑树脂和(B)在曝光至波长190至500nm的辐射时分解产生酸的光致产酸剂的感光性树脂组合物涂布至基材上，以形成厚涂层，将该涂层曝光至辐...

本发明为有机硅改性的聚苯并噁唑树脂和制备方法。通过加成聚合制备包括式(1a)和(1b)的重复单元的有机硅改性的聚苯并噁唑树脂。R1至R4为C1‑C8一价烃基，m和n为0‑300的整数，R5为C1‑C8亚烷基或亚苯基，a和b为小于1的正数...

本发明为层合体和图案形成方法。提供了即使在使用化学放大负型抗蚀剂材料的情况下也能够形成具有优异的开口形状的图案的层合体以及使用所述层合体的图案形成方法。所述层合体包括化学放大负型抗蚀剂层和在其上的含有0.001至10重量％的具有至多10...

本发明涉及光掩模坯的缺陷检查方法、分选方法及其制造方法。通过以下方式来检查具有在透明基板上的薄膜的光掩模坯的缺陷：将检查光线照射到光掩模坯的表面区域，经由检查光学系统收集来自照射区域的反射光以形成该区域的放大图像，提取出来自放大图像的光...

涂布剂组合物，其包含：式(1)的单末端水解性聚合物和式(2)(Rf基为‑(CF2)d‑(OY)e‑O(CF2)d‑的基团，d为0～5，OY为选自OCF2CF2CF2CF2、OCF2CF2CF2、OCF(CF3)CF2、OCF2CF2、O...

加成固化型硅橡胶组合物，其含有：(A)由下述平均组成式(1)R1aSiO(4‑a)/2(1)(式中，R1为彼此相同或不同的1价烃基，a为1.5～2.8的正数。)表示、在一分子中含有至少2个与硅原子结合的烯基的有机聚硅氧烷：100质量份；...

本发明提供能够形成滑动性优异的防水防油层的含有氟聚醚基的聚合物改性硅烷、和包含该硅烷的表面处理剂以及用该表面处理剂表面处理过的表面处理物(即，在表面具有该表面处理剂的固化被膜)的物品。由下式(1)(Rf为1价或2价的含有氟代氧亚烷基的聚...

本发明提供一种表面不易刮伤且破损时不易飞散的蓝宝石复合基材及其制造方法。具体来说，是一种包括无机玻璃基板、无机玻璃基板上的聚乙烯醇缩丁醛或二氧化硅的中间膜、以及中间膜上的单晶蓝宝石膜的蓝宝石复合基材。而且，是一种蓝宝石复合基材的制造方法...

层叠体，其具有：基材、在其至少一个表面上形成的底漆涂层、和在该底漆涂层上形成的面涂层，底漆涂层由含有酸改性聚烯烃的底漆组合物形成，面涂层由含有缩合固化型有机硅组合物的面涂层组合物的固化物形成，底漆组合物和面涂层组合物中的任一者或两者含有...

一种加成固化型硅酮树脂组合物，其含有以下成分并且通过加热来固化，所述成分是：(a)有机聚硅氧烷，其具有键结在硅原子上的烯基；(b)由(R1R22SiO1/2)m(R1R2SiO2/2)n(R22SiO2/2)p(R1SiO3/2)q(R...

本发明提供在温和的条件下、用短时间也能够形成耐磨损性优异的防水防油层的含有氟聚醚基的聚合物改性有机硅化合物和包含该化合物的表面处理剂以及用该处理剂进行了表面处理的物品。用下述通式(1)

本发明提供用表面处理剂表面处理过的树脂制品，该表面处理剂包含特别是在树脂表面在室温固化等温和的固化条件下、用短时间也能够形成耐磨损性优异的防水防油层的含有氟聚醚基的聚合物改性硅烷和/或其部分水解缩合物。使用表面处理剂，其包含由下式(1)

本发明是一种负极活性物质，其包含负极活性物质颗粒，所述负极活性物质的特征在于，前述负极活性物质颗粒含有硅化合物颗粒，所述硅化合物颗粒包含硅化合物SiOx，其中，0.5≤x≤1.6；前述硅化合物颗粒含有Li2SiO3和Li4SiO4中的至...

本发明提供一种负极活性物质，其包含负极活性物质颗粒，所述负极活性物质的特征在于：前述负极活性物质颗粒含有由SiOx表示的硅化合物，其中，0.5≤x≤1.6，并且，当利用原子探针法测定前述负极活性物质颗粒并将利用所述原子探针法获得的硅75...

本发明的目的在于提供气泡混入少的粘合剂的成型方法和使用该成型方法的表膜构件的制造方法。氦气与现有的在大气开放下混入的空气、氮气相比，氦气分子的大小较小，氦气的脱泡性良好，因此，本发明的特征在于，使用在氦气气氛下调制的粘合剂来进行成型。并...

本发明为水硬性组合物。提供了包含AE剂、水溶性纤维素醚、消泡剂、水泥、水和集料的水硬性组合物。所述AE剂含有由脂肪酸，其碱金属盐、低级烷基胺盐或低级烷醇胺盐组成的基于脂肪酸的表面活性剂和由聚氧亚乙基苯基醚组成的非离子型表面活性剂。所述水...

一种负极活性物质，其包含负极活性物质颗粒，所述负极活性物质的特征在于，前述负极活性物质颗粒含有硅化合物颗粒，所述硅化合物颗粒包含硅化合物SiOx，其中，0.5≤x≤1.6；前述负极活性物质颗粒的至少一部分含有晶质的Li2SiO3，并且，...

本发明是一种负极活性物质，其包含负极活性物质颗粒，所述负极活性物质的特征在于，前述负极活性物质颗粒含有硅化合物颗粒，所述硅化合物颗粒包含硅化合物SiOx，其中，0.5≤x≤1.6；前述硅化合物颗粒由29Si‑MAS‑NMR波谱所获得的在...