本发明公开了一种钨钛合金靶坯的制备方法，包括以下步骤：备粉；制模：使用金属钛焊接成型包套模具；装模：用陶瓷纤维纸将包套模具内部铺满，然后依次放入镍基高温合金支撑板、陶瓷纤维纸、钨钛合金粉末、陶瓷纤维纸、镍基高温合金支撑板，镍基高温合金支...

本发明涉及靶材制备技术领域，提供了一种铬旋转靶材的机加工方法，包括以下步骤：(1)采用三爪中空卡盘固定在铬旋转靶材的外表面，将中空卡盘固定在车床上，使中空卡盘带动旋转靶材绕其轴线旋转，采用镗孔刀对铬旋转靶材的不锈钢内孔进行加工；(2)使...

本发明涉及溅射靶材技术领域，提供了一种铬旋转靶材的制备方法，包括以下步骤：(1)在背管的外径面加工螺旋纹路和喷砂处理；(2)将背管与包套的底面进行焊接，使背管和包套之间设有空腔，把铬粉加入至空腔内，对背管与包套的上表面进行焊接后，依次进...

本实用新型涉及热等静压设备技术领域，公开了一种吊篮。所述吊篮包括多个料盘，相邻的料盘通过承重柱连接实现堆垛；所述承重柱的上端用于支撑上方的料盘，所述承重柱的下端与下方的料盘固定连接。本实用新型通过设置可相互配合的料盘和承重柱，形成能够堆...

本实用新型属于靶材制造技术领域，公开了一种焊接工装。焊接工装包括靶坯夹具和背板夹具，所述靶坯夹具的装夹端设有用于装夹靶坯的靶坯凹槽，所述背板夹具的装夹端设有用于装夹背板的背板凹槽；所述靶坯凹槽、背板凹槽均为台阶结构、且均至少设置两层台阶...

本实用新型属于气密性检测技术领域，公开了一种检测旋转靶材背管气密性装置，所述装置包括检漏盖和检漏环；所述检漏盖的端面设有环形凹槽；所述背管卡接于所述环形凹槽并与之密封；所述检漏环套设于所述背管的外周面，并与所述检漏盖的端面固定连接；所述...

本实用新型属于ITO靶材生产技术领域，公开了一种冷等静压承载装置。所述冷等静压承载装置包括护栏、隔板、承载物料的底座和支撑底座的支撑轴；所述护栏环绕支撑轴设置；所述隔板设置在支撑轴和护栏之间，将支撑轴、底座、护栏构成的空间纵向分隔成多个...

本实用新型公开了一种磨床气动回弹轴，包括固定座，所述固定座的内腔转动连接有通过齿轮组驱动的转动座，本实用新型涉及磨床夹具技术领域。该一种磨床气动回弹轴，通过脚踏式开关控制回弹轴对工件进行固定到位后，此时旋转油缸对连接杆进行限位，对工件夹...

本实用新型公开了一种粉料筛分装置，包括筛料筒和固定底座，所述筛料筒活动安装在固定底座的上部，筛料筒的整体为圆柱体三段式结构，三段筛料筒之间分别设置有第一套环和第二套环，所述筛料筒的内侧位于第二套环的上部固定安装有用来筛除粗料的筛网，所述...

本发明公开了靶材加工定位装置，涉及靶材加工技术领域，包括工作台，所述工作台的中部设置有用于推动靶材悬浮的悬浮单元，所述悬浮单元的四周设置有若干个用于对靶材夹持定位的定位单元，所述悬浮单元包括承托板，所述承托板的中部设置有送气台，所述送气...

本发明属于及金属材料的连接技术领域，公开了一种铍铜和工具钢的扩散焊接方法。包括以下步骤：（1）将铍铜和工具钢焊接面打磨抛光平整，然后洗净；（2）将铍铜和工具钢装入包套中进行装配；（3）将装配好的包套送入真空脱气炉，温度设置为300~35...

本发明涉及一种便于调节的车床夹具，包括底座，所述底座的顶部一侧固定安装有安装架，所述安装架的顶部活动插设有主动轴，所述主动轴横向设置，所述主动轴的一端与外部驱动电机的输出端固定连接，且主动轴的另一端设置有夹持机构，所述底座的顶部另一侧滑...

本实用新型属于喷雾干燥领域，公开了一种喷雾干燥塔。包括塔体、风机、真空泵、收集箱和控制单元；所述塔体包括与风机连接的进风口、与真空泵连接的真空口、出风口、进料管、与收集箱连接的出料管、设置在塔体内的压力传感器、设置在塔体内的雾化装置；所...

本发明属于靶材制造技术领域，涉及一种高纯铝硅与铝合金背板的焊接方法。包括以下步骤：（1）打磨、清洁焊片、高纯铝硅靶坯和铝合金背板的焊接结合处，装入焊接工装中，然后将焊片放入高纯铝硅靶坯和铝合金背板的焊接结合处缝隙；（2）在真空氛围下，对...

本实用新型属于靶材加工技术领域。公开了一种靶材定位装置。包括设置在背板上表面的横向定位条、纵向定位条、横向挡铟条和纵向挡铟条；横向定位条可拆卸固定在背板的横向一侧、且横向定位条与背板的横向边平行设置；纵向定位条可拆卸固定在背板纵向的一侧...

本发明属于薄膜太阳能溅射靶材领域，公开了一种硒化铟靶材的装模方法和制备方法。包括以下步骤：准备圆柱状结构的包套；装模；将装模完成的包套放入炉内，边加热边通过除气管对包套进行抽真空除气，当包套内真空度达到要求后，停止加热、除气，封闭除气管...

本发明属于电子器件溅射靶材领域，公开了一种大尺寸、高密度镍铬靶材的装模方法、制备方法。包括以下步骤：准备矩形结构的包套；然后装模；将装模完成的包套放入炉内，边加热边通过除气管对包套进行抽真空除气，当包套内真空度达到要求后，停止加热、除气...

本发明公开了旋转靶材自动包装设备，具体涉及靶材包装技术领域，本发明靶材由导送辊移动至两个托架板之间，初始状态下，转动杆的末端未进入到靶材背管的内腔中，由托架板在移送台上滑动，使得转动杆进入到靶材背管中部，之后三个电动推杆二推动对应的支撑...

本发明公开了一种均匀布粉的投粉机构，包括第一滑轨、第二滑轨和移动架，所述第一滑轨设置在第二滑轨的一侧，第一滑轨和第二滑轨并排设置，所述移动架活动安装在第一滑轨和第二滑轨的上端外表面，所述移动架的内部固定安装有用来排放粉料的布粉管，且布粉...

本实用新型涉及一种氢氧化铟的干燥装置，包括V形罐体，V形罐体的两端分别设置有与之连通的第一轴管和第二轴管；第二轴管转动连接有与外部冷风设备连接内管；V形罐体内靠近进料口部位设置有筛网；V形罐体一端设置有带搅拌桨的第一电机，V形罐体内靠近...