一种铬旋转靶材的机加工方法技术

本发明专利技术涉及靶材制备技术领域，提供了一种铬旋转靶材的机加工方法，包括以下步骤：(1)采用三爪中空卡盘固定在铬旋转靶材的外表面，将中空卡盘固定在车床上，使中空卡盘带动旋转靶材绕其轴线旋转，采用镗孔刀对铬旋转靶材的不锈钢内孔进行加工；(2)使用夹具和顶尖固定铬旋转靶材的内孔，将夹具固定在车床上，使夹具带动旋转靶材绕其轴线旋转，对铬旋转靶材的外表面进行加工，加工时使用激光光源照射切削处；(3)气密性检测，得到机加工后的铬旋转靶材。本发明专利技术采用车床对铬旋转靶材进行机加工，能够在保证精度的前提下，提高加工效率，节省加工时间。加工时间。加工时间。

【技术实现步骤摘要】
一种铬旋转靶材的机加工方法


[0001]本专利技术涉及靶材制备
，具体为一种铬旋转靶材的机加工方法。

技术介绍

[0002]旋转靶材的靶材表面粗糙度影响着磁控溅射的成膜速度和均匀性，传统对旋转靶材的抛光技术通常通过工人手工抛光，存在着劳动强度大，抛光不均匀，抛光精度低；而且抛光时产生的粉末容易到处飘散，长期被人体吸入会损害加工人员的身体健康。
[0003]为了解决上述问题，CN202210211199.7公开了一种旋转靶材表面研磨方法，旨在采用纵向研磨的方式粗加工旋转靶材的表面，再配合横向走刀来精加工旋转靶材的表面，提高研磨效率，其技术方案：一种旋转靶材表面研磨方法，包括以下步骤：步骤1：固定旋转靶材，使旋转靶材绕其轴线旋转；步骤2：调整砂轮，使砂轮的轴线与旋转靶材的轴线相平行且砂轮的母线与旋转靶材的轴线之间的间距大于旋转靶材的最大半径；使砂轮位于旋转靶材的一端且不与旋转靶材重合；步骤3：沿旋转靶材的轴向移动砂轮，使砂轮逐渐靠近旋转靶材的另一端，所述砂轮的移动距离小于砂轮的宽度；步骤4：沿旋转靶材的径向移动砂轮，使砂轮逐渐靠近旋转靶材去磨削旋转靶材的表面；属于靶材加工

[0004]但是，采用磨床来对旋转靶材的表面进行加工虽然精度高，但是效率偏低，完成一根旋转靶材需要的时间长，所以需要一种能够在保证加工精度的前提下，提高加工效率的加工方法。

技术实现思路

[0005]本专利技术提供了一种铬旋转靶材的机加工方法，该方法主要通过机床来进行加工，在加工内孔时，使用了中空卡盘来对铬旋转靶材进行固定，将中空卡盘固定在机床上，由中空卡盘带动铬旋转靶材绕轴线旋转来进行内孔加工；在加工外径时，使用了夹具和顶尖对铬旋转靶材两端的内孔进行固定，由中空卡盘带动铬旋转靶材绕轴线旋转来进行外表面加工，在加工时使用激光光源照射切削处，使得铬旋转靶材局部软化来进行切削，能够在保证精度的前提下，提高加工效率，节省加工时间。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
[0007]一种铬旋转靶材的机加工方法，包括以下步骤：
[0008](1)采用三爪中空卡盘固定在铬旋转靶材的外表面，将中空卡盘固定在车床上，使中空卡盘带动铬旋转靶材绕其轴线旋转，采用镗孔刀对铬旋转靶材的不锈钢内孔进行加工；
[0009](2)使用夹具和顶尖固定铬旋转靶材的内孔，将夹具固定在车床上，使夹具带动旋转靶材绕其轴线旋转，对铬旋转靶材的外表面进行加工，加工时使用激光光源照射切削处；
[0010](3)气密性检测，得到机加工后的铬旋转靶材。
[0011]在上述的一种铬旋转靶材的机加工方法中，所述步骤(1)中，加工内孔时，包括内孔粗加工，所述内孔粗加工进刀量为0.2
‑
0.3mm，包括但不限于0.2mm、0.25mm、0.3mm，走刀
速度为40
‑
70mm/min，包括但不限于40mm/min、50mm/min、60mm/min、70mm/min，卡盘的转速为200
‑
300rpm，包括但不限于200rpm、210rpm、220rpm、230rpm、240rpm、250rpm、260rpm、270rpm、280rpm、290rpm、300rpm。
[0012]在上述的一种铬旋转靶材的机加工方法中，述步骤(1)中，还包括内孔精加工，所述内孔精加工进刀量为0.04
‑
0.06mm，包括但不限于0.04mm、0.05mm、0.06mm，走刀速度为40
‑
70mm/min，包括但不限于40mm/min、50mm/min、60mm/min、70mm/min，卡盘的转速为300
‑
400rpm，包括但不限于300rpm、310rpm、320rpm、330rpm、340rpm、350rpm、360rpm、370rpm、380rpm、390rpm、400rpm。
[0013]在上述的一种铬旋转靶材的机加工方法中，所述步骤(1)中所采用的刀具为抗震镗孔刀，所述抗震镗孔刀的刀片表面镀有氮化铝钛薄膜。
[0014]在上述的一种铬旋转靶材的机加工方法中，所述步骤(2)中，加工外表面时，包括外表面粗加工，所述外表面粗加工进刀量为0.2
‑
0.3mm，包括但不限于0.2mm、0.25mm、0.3mm，走刀速度为70
‑
100mm/min，包括但不限于70mm/min、80mm/min、90mm/min、100mm/min，卡盘的转速为150
‑
250rpm，包括但不限于150rpm、160rpm、170rpm、180rpm、190rpm、200rpm、210rpm、220rpm、230rpm、240rpm、250rpm。
[0015]在上述的一种铬旋转靶材的机加工方法中，所述步骤(2)中，还包括外表面精加工，所述外表面精加工进刀量为0.05
‑
0.15mm，包括但不限于0.05mm、0.1mm、0.15mm，走刀速度为70
‑
100mm/min，包括但不限于70mm/min、80mm/min、90mm/min、100mm/min，卡盘转速为450
‑
550rpm，包括但不限于450rpm、460rpm、470rpm、480rpm、490rpm、500rpm、510rpm、520rpm、530rpm、540rpm、550rpm。
[0016]在上述的一种铬旋转靶材的机加工方法中，所述步骤(2)中，激光光源为200
‑
500W，包括但不限于200W、300W、400W、500W。
[0017]在上述的一种铬旋转靶材的机加工方法中，所述步骤(2)中所采用的刀具为陶瓷刀片。
[0018]在上述的一种铬旋转靶材的机加工方法中，所述步骤(2)中，夹具为铝合金夹头。
[0019]一种如上述的一种铬旋转靶材的机加工方法中步骤(1)的铬旋转靶材的制备方法，包括以下步骤：
[0020](1)在背管的外径面加工螺旋纹路和喷砂处理；
[0021](2)将背管与包套的底面进行焊接，使背管和包套之间设有空腔，把铬粉加入至空腔内，对背管与包套的上表面进行焊接后，依次进行脱气脱水和抽真空；
[0022](3)放入热等静压设备中，设置气压20
‑
25MPa，温度635
‑
650℃，处理6
‑
8h进行预成型；
[0023](4)在热等静压设备中，保持步骤(3)中的气压，设置温度1100
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1300℃，处理6
‑
8h继续进行热等静压；
[0024](5)退火。
[0025]在上述的铬旋转靶材的制备方法中，所述步骤(3)中设置的气压20
‑
25MPa包括但不限于20MPa、21MPa、22MPa、23MPa、24MPa、25MPa；本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种铬旋转靶材的机加工方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)采用三爪中空卡盘固定在铬旋转靶材的外表面，将中空卡盘固定在车床上，使中空卡盘带动铬旋转靶材绕其轴线旋转，采用镗孔刀对铬旋转靶材的不锈钢内孔进行加工；(2)使用夹具和顶尖固定铬旋转靶材的内孔，将夹具固定在车床上，使夹具带动旋转靶材绕其轴线旋转，对铬旋转靶材的外表面进行加工，加工时使用激光光源照射切削处；(3)气密性检测，得到机加工后的铬旋转靶材。2.根据权利要求1所述的一种铬旋转靶材的机加工方法，其特征在于，所述步骤(1)中，加工内孔时，包括内孔粗加工，所述内孔粗加工进刀量为0.2
‑
0.3mm，走刀速度为40
‑
70mm/min，卡盘的转速为200
‑
300rpm。3.根据权利要求2所述的一种铬旋转靶材的机加工方法，其特征在于，所述步骤(1)中，还包括内孔精加工，所述内孔精加工进刀量为0.04
‑
0.06mm，走刀速度为40
‑
70mm/min，卡盘的转速为300
‑
400rpm。4.根据权利要求1所述的一种铬旋转靶材的机加工方法，其特征在于，所述步骤(1)中所采用的刀具为抗震镗孔刀，所述抗震镗孔刀的刀片表面镀有氮化铝钛薄膜。5.根据权利要求1所述的一种铬旋转靶材的机加工方法，其特征在于，所述步骤(2)中，加工外表面时，包括外表面粗加工，所述外表面粗加工进刀量为0.2
‑
0.3mm，走刀速度为70
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10...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄宇彬，童培云，
申请(专利权)人：先导薄膜材料有限公司，
类型：发明
国别省市：