本实用新型公开了一种晶圆取放设备，具体涉及晶圆加工处理设备技术领域，包括底座，所述底座上设有浸泡设备，所述浸泡设备一侧设有取放设备，本实用新型通过取放设备和浸泡设备及卡固机构，能够通过浸泡设备对晶圆进行浸泡处理，再利用取放设备驱动真空丫...

本实用新型公开了一种晶圆周转装置，包括圆晶盒载置台、圆晶盘载置台、晶圆寻边器中转台、晶圆盘寻边器中转台、第一搬运机构、第二搬运机构和第三搬运机构，所述圆晶盒载置台的外侧设置有所述晶圆寻边器中转台；本装置在使用时，在传送环主体上直接设计带...

一种化学气相沉积装置，包括一基板座、一主加热系统及一辅助加热系统。该主加热系统是用以将该基板座以及在该基板座上的基板的温度加热至一预设值。该辅助加热系统是用以将该基板的各个部位的温度从该预设值加热至各自的温度目标值。该辅助加热系统可以局...

本实用新型为一种磁吸式探针卡装置，包括一探针卡及一测试座。探针卡包括复数探针设置在基板上，且探针向下延伸至基板下表面，每一基板上表面镀有一磁性层。测试座则对应探针卡设置，测试座包括一晶圆测试平台及一电磁铁，电磁铁设置于晶圆测试平台下方，...

本申请为一种具串联式冷却室的多流道气体喷射器，包括喷射壳体内部环设有多层冷却室，每一冷却室的侧壁顶部设有至少一溢流开口，以连通相邻的冷却室，每一冷却室内还分别设有多条排气管，且排气管的开口外露于喷射壳体外。本申请可令每一排气管浸泡于冷却...

本实用新型为一种气体反应装置，其应用于面下型(Face Down)的化学气相沉积反应技术。气体反应装置包括一反应腔以及一基板承载装置，基板承载装置设置在反应腔内的上部。气体反应装置特征在于，基板承载装置与反应腔之间形成一快速气流通道，且...

本实用新型为一种预热气体反应装置，其应用于面下型(Face Down)或面上型的化学气相沉积反应技术。预热气体反应装置包括反应腔内设有基板承载装置，其与反应腔之间形成快速气流通道。反应腔及基板承载装置上设有喷头连通管路总成的复数管路，其...

本公开为一种薄膜沉积旋转盘系统，包括机台，机台上设有至少一晶圆凹座，其内设有一碟盘，且碟盘上设有晶圆容置槽。碟盘中央还穿设有晶圆升降装置，其包括一顶柱穿设在一套管内。机台上还设有一第一输气通道，以输送气体至套管的输气穿孔中，令套管内的顶...

本实用新型提供一种气相沉积晶圆撑托结构，包含碟盘以及大盘模块，碟盘中央设有一晶圆定位通孔，晶圆定位通孔供一晶圆置入，晶圆定位通孔内设有复数承载指以撑托晶圆的边缘，大盘模块具有至少一碟盘槽以供至少一碟盘定位；实施时，每一承载指具有一倾斜承...

本实用新型为一种利用废气热能增温操作气体的反应炉，适用于气相沉积反应的技术，反应炉包括一反应腔内设有一晶圆承载装置，及一废气汇集环提供环设于反应腔的侧壁。一气体输送管沿着废气汇集环设置，气体输送管连通操作气体供给单元及晶圆承载装置，以输...

本实用新型为一种可增温操作气体的反应炉，适用于高温气相沉积反应的技术。反应炉包括在反应腔内设置晶圆承载装置，以及热交换器设置在反应腔的废热区上，提供交换反应腔的热能至气体输送管。其中气体输送管曲绕设置在热交换器中，令气体输送管内的操作气...

本实用新型为一种水冷顶板，其应用于化学气相沉积反应技术，水冷顶板包括一基板，基板内穿设有多个多边形水路流道，且多个多边形水路流道之间互相串接，以形成一水路通道。本实用新型通过在水冷顶板上采用多边形水路流道的设置，形成蜂巢状的设计，可确保...

本实用新型为一种具有双套管的气体喷射器，包括一机台及一气体喷射头，机台上设有气流凹槽，其周围环设有复数晶圆承载凹槽。气体喷射头位于气流凹槽上，气体喷射头中央设置有突出于气体喷射头底部的吹扫气流通道，且吹扫气流通道内更设有至少一内套管，内...

本实用新型为一种磁吸式探针卡装置，包括一探针卡及一测试座。探针卡包括复数探针设置在基板上，且探针向下延伸至基板下表面，每一探针上表面镀有一磁性层。测试座则对应探针卡设置，测试座包括一晶圆测试平台及一电磁铁，电磁铁设置于晶圆测试平台下方，...

本实用新型所提供的气相沉积晶圆温度控制结构，是于晶圆受热过程中，利用温控气体通过晶圆的边缘或非反应面，以调控晶圆的受热分布情形。例如当温控气体中包含带热功能较差的氮气时，会得到晶圆边缘温度较高的温度分布结果，又当温控气体中包含带热能力较...

本实用新型提供一种气相沉积晶圆气动控制结构，包含：碟盘、大盘模块以及第一供气管；碟盘供一晶圆放置，并于边缘设有一呈环状的衔接部，大盘模块具有至少一个碟盘槽以供至少一碟盘定位，且至少一碟盘槽设有一环槽沟以供衔接部置入，环槽沟衔接一入气引道...

本实用新型提供一种气相沉积晶圆受热结构，包含：碟盘以及大盘模块，其中碟盘中央设有一晶圆定位通孔以供承载一晶圆，晶圆具有一反应面以及一位于反应面背面的受热面；大盘模块具有至少一个碟盘槽以供至少一碟盘定位，且大盘模块具有一热源面，热源面设置...

本实用新型为一种废气过滤装置，提供连通气相沉积反应腔体，以接收其排出的废气。废气过滤装置包括至少一第一沉积腔体，其上穿设有第一排气管，包括一第一管体两端分别设置第一排入口以及一第一排出口。第一排入口连通反应腔体，第一排出口则穿设于第一沉...

本实用新型为一种具有双串联冷却槽的气体喷射器，包括一第一冷却模块包括复数第一冷却槽之间以同心圆层叠环绕设置，且相邻的第一冷却槽之间设有一第一导流口，第一冷却模块外环设有一阻隔层，其外更环设有一第二冷却模块，其包括复数第二冷却槽之间以同心...

本实用新型为一种切换式转盘装置，其提供安装在气相沉积的反应腔室底部。切换式转盘装置包括一转盘以及一动力切换模块，衔接并驱动转盘。动力切换模块包括一转向驱动器、一持续运转驱动器，以及至少一切换传动器，切换传动器切换衔接转向驱动器与持续运转...