本实用新型专利技术公开了一种晶圆周转装置，包括圆晶盒载置台、圆晶盘载置台、晶圆寻边器中转台、晶圆盘寻边器中转台、第一搬运机构、第二搬运机构和第三搬运机构，所述圆晶盒载置台的外侧设置有所述晶圆寻边器中转台；本装置在使用时，在传送环主体上直接设计带平边或凹口的金属框,以遮蔽MOCVD的载盘,避免长晶时载盘上有长晶沉积，晶圆寻边器中转台和晶圆盘寻边器中转台可保证晶圆放置在晶圆盘中的一致性，同时在对传送环主体固定时，可方便地完成定位柱和对应传送环主体位置的固定；本实用新型专利技术设置有传送环稳定机构，增大了传送环主体的支撑面积，从而提升了传送环主体使用过程中的稳定性，确保进行晶圆周转时的稳定性。确保进行晶圆周转时的稳定性。确保进行晶圆周转时的稳定性。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆周转装置
[0001]本技术涉及半导体晶圆制造
，具体为一种晶圆周转装置。
技术介绍
[0002]半导体行业生产中，晶圆在制程中采用不同的生产工艺，而不同生产工艺的生产设备所使用的晶圆载盘不同，因此在整个制程中需要频繁地把晶圆在不同载盘之间周转，现今MOCVD的自动传送承载晶圆的金属传送环是圆形的,但晶圆通常是带有平边或凹口的,其导致MOCVD内的载盘会有一小部份是会被长晶沉积。
[0003]但是，为避免自动传送后,因晶圆位置角度偏移,晶背部份或全部会横跨于长晶沉积上,导致传热不均,长晶不良,故传统作法是操作员需把晶圆的平边,再重新手动摆至避开长晶沉积的位置,但如此亦失去自动传送的意义，需要操作者进行手动操作，因此，本领域技术人员提供了晶圆周转装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种晶圆周转装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：一种晶圆周转装置，包括圆晶盒载置台、圆晶盘载置台、晶圆寻边器中转台、晶圆盘寻边器中转台、第一搬运机构、第二搬运机构和第三搬运机构，所述圆晶盒载置台的外侧设置有所述晶圆寻边器中转台，所述晶圆寻边器中转台的外侧连接有所述圆晶盘载置台，所述圆晶盒载置台的外侧安装有所述第一搬运机构，所述第一搬运机构的外侧连接有所述第二搬运机构，所述第二搬运机构的外侧连接有所述晶圆盘寻边器中转台，所述晶圆盘寻边器中转台的一侧连接有所述第三搬运机构，所述圆晶盘载置台的内部设置有多个晶圆盘，且该晶圆盘上设置有多个传送环主体，所述圆晶盘载置台的内部设置有传送环定位机构，所述传送环主体的底部设置有传送环稳定机构，所述圆晶盒载置台的内底壁设置有金属框。
[0006]作为本技术再进一步的方案：所述传送环定位机构包括固定壳，所述固定壳的底部固定有固定块，所述固定壳的一侧内壁设置有连接弹簧，所述连接弹簧的一端连接有活动垫，所述活动垫的一侧设置有贯穿其另一侧的活动柱，所述活动柱的一端安装有定位柱，所述活动柱的外侧设置有连接柱，所述固定壳的外侧安装有安装架，所述安装架的外侧转动连接有转动板，所述固定壳的内部转动连接有延伸至外侧的转动柱，所述转动柱的外侧转动连接有转动套。
[0007]作为本技术再进一步的方案：所述传送环主体的内部开设有卡槽，且该卡槽的尺寸与所述定位柱的尺寸适配，可使定位柱卡入对应的卡槽内。
[0008]作为本技术再进一步的方案：所述固定壳的内部开设有容纳所述活动柱活动的通孔，起到了对活动柱导向的作用。
[0009]作为本技术再进一步的方案：所述传送环稳定机构包括固定垫，所述固定垫
的一侧内壁连接有挤压弹簧，所述挤压弹簧的一端连接有移动垫，所述移动垫的外侧固定有移动柱，所述移动柱的一端安装有定位卡块，所述固定垫的内部开设有限位槽，所述移动垫的外侧安装有滑块。
[0010]作为本技术再进一步的方案：所述限位槽的尺寸与所述定位卡块的尺寸适配。
[0011]与现有技术相比，本技术所达到的有益效果是：
[0012]1、本装置在使用时，圆晶盘载置台用于装载多个晶圆盘，同时圆晶盘载置台的晶圆盘上设置有多个共面的、用于承载晶圆的传送环主体，在传送环主体上直接设计带平边或凹口的金属框,以遮蔽MOCVD的载盘,避免长晶时载盘上有长晶沉积，晶圆寻边器中转台位于圆晶盒载置台的外侧，晶圆寻边器中转台和晶圆盘寻边器中转台可保证晶圆放置在晶圆盘中的一致性，同时根据实际使用要求需要对传送环主体固定时，可方便地完成定位柱和对应传送环主体位置的固定，并能够根据实际使用需求对不用的传送环主体进行固定，且传送环主体设置后可避免MOCVD长晶时造成载盘有长晶沉积,导致传热不均,造成长晶结果不佳的问题；
[0013]2、本技术设置有传送环稳定机构，增大了传送环主体的支撑面积，从而提升了传送环主体使用过程中的稳定性，确保进行晶圆周转时的稳定性。
附图说明
[0014]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0015]图1是本技术的整体结构示意图；
[0016]图2是本技术的传送环主体结构示意图；
[0017]图3是本技术的传送环定位机构结构示意图；
[0018]图4是本技术的传送环稳定机构结构示意图；
[0019]图中：1、圆晶盒载置台；2、圆晶盘载置台；3、晶圆寻边器中转台；4、晶圆盘寻边器中转台；5、第一搬运机构；6、第二搬运机构；7、第三搬运机构；8、传送环主体；9、传送环定位机构；91、固定壳；92、固定块；93、连接弹簧；94、活动垫；95、活动柱；96、定位柱；97、连接柱；98、安装架；99、转动板；910、转动柱；911、转动套；10、传送环稳定机构；101、固定垫；102、挤压弹簧；103、移动垫；104、移动柱；105、定位卡块；106、限位槽；107、滑块；11、金属框。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]请参阅图1
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图3，本技术提供一种晶圆周转装置，包括圆晶盒载置台1、圆晶盘载置台2、晶圆寻边器中转台3、晶圆盘寻边器中转台4、第一搬运机构5、第二搬运机构6和第三搬运机构7，圆晶盒载置台1的外侧设置有晶圆寻边器中转台3，晶圆寻边器中转台3的外侧连接有圆晶盘载置台2，圆晶盒载置台1的外侧安装有第一搬运机构5，第一搬运机构5的
外侧连接有第二搬运机构6，第二搬运机构6的外侧连接有晶圆盘寻边器中转台4，晶圆盘寻边器中转台4的一侧连接有第三搬运机构7，圆晶盘载置台2的内部设置有多个晶圆盘，且该晶圆盘上设置有多个传送环主体8，圆晶盘载置台2的内部设置有传送环定位机构9，传送环主体8的底部设置有传送环稳定机构10，圆晶盒载置台1的内底壁设置有金属框11；
[0022]传送环定位机构9包括固定壳91，固定壳91的底部固定有固定块92，固定壳91的一侧内壁设置有连接弹簧93，连接弹簧93的一端连接有活动垫94，活动垫94的一侧设置有贯穿其另一侧的活动柱95，活动柱95的一端安装有定位柱96，传送环主体8的内部开设有卡槽，且该卡槽的尺寸与定位柱96的尺寸适配，可使定位柱96卡入对应的卡槽内，活动柱95的外侧设置有连接柱97，固定壳91的内部开设有容纳活动柱95活动的通孔，起到了对活动柱95导向的作用，固定壳91的外侧安装有安装架98，安装架98的外侧转动连接有转动板99，固定壳91的内部转动连接有延伸至外侧的本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆周转装置，包括圆晶盒载置台(1)、圆晶盘载置台(2)、晶圆寻边器中转台(3)、晶圆盘寻边器中转台(4)、第一搬运机构(5)、第二搬运机构(6)和第三搬运机构(7)，其特征在于，所述圆晶盒载置台(1)的外侧设置有所述晶圆寻边器中转台(3)，所述晶圆寻边器中转台(3)的外侧连接有所述圆晶盘载置台(2)，所述圆晶盒载置台(1)的外侧安装有所述第一搬运机构(5)，所述第一搬运机构(5)的外侧连接有所述第二搬运机构(6)，所述第二搬运机构(6)的外侧连接有所述晶圆盘寻边器中转台(4)，所述晶圆盘寻边器中转台(4)的一侧连接有所述第三搬运机构(7)，所述圆晶盘载置台(2)的内部设置有多个晶圆盘，且该晶圆盘上设置有多个传送环主体(8)，所述圆晶盘载置台(2)的内部设置有传送环定位机构(9)，所述传送环主体(8)的底部设置有传送环稳定机构(10)，所述圆晶盒载置台(1)的内底壁设置有金属框(11)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆周转装置，其特征在于：所述传送环定位机构(9)包括固定壳(91)，所述固定壳(91)的底部固定有固定块(92)，所述固定壳(91)的一侧内壁设置有连接弹簧(93)，所述连接弹簧(93)的一端连接有活动垫(94)，所述活动垫(94)的一侧设置有贯穿其另一侧的活动柱(95...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘峰，吴铭钦，
申请(专利权)人：苏州雨竹机电有限公司，
类型：新型
国别省市：
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