半导体制程的空中轨道系统技术方案

本实用新型专利技术的半导体制程的空中轨道系统用以供一运输车移动，包括一第一横向轨道、一第二横向轨道、一第一纵向轨道、一第二纵向轨道、一第三纵向轨道、一驱动装置及一第四纵向轨道。第二横向轨道与第一横向轨道平行且间隔排列。第一纵向轨道连接第一横向轨道及第二横向轨道。第二纵向轨道连接第一横向轨道，且与第一纵向轨道平行且间隔排列。第三纵向轨道连接第二横向轨道，且与第一纵向轨道平行且间隔排列。第四纵向轨道连接驱动装置，且位在第一横向轨道及第二横向轨道之间。驱动装置用以驱动第四纵向轨道横向移动。动第四纵向轨道横向移动。动第四纵向轨道横向移动。

【技术实现步骤摘要】
半导体制程的空中轨道系统


[0001]本技术与轨道传输系统有关，特别是指半导体制程的空中轨道系统。

技术介绍

[0002]空中运行无人搬运车(OHT,Overhead Hoist Transfer)已广泛应用于半导体厂，其可善用环境的立体空间，来优化环境使用率，进而达到较佳的输送效果。
[0003]如图1及图2所示，OHT通过车轮运行在空中轨道系统，并在预定位置拾取半导体传送盒或其他物品，一般来说，预定位置是个制程的半导体传送盒进出端口，通常位在对称的二轨道之间的正下方，以让行走到预定位置上方的OHT能降下夹爪来拾取半导体传送盒。
[0004]但在部分情况中，半导体传送盒没有确实放在预定位置或有错位，例如，位在轨道下方，导致OHT的夹爪与轨道相互干涉，而不能拾取半导体传送盒。

技术实现思路

[0005]有鉴于上述缺失，本技术的半导体制程的空中轨道系统可以解决夹爪与轨道相互干涉问题，以有效地拾取半导体传送盒。
[0006]为了达成上述目的，本技术的半导体制程的空中轨道系统用以供一运输车移动，包括一第一横向轨道、一第二横向轨道、一第一纵向轨道、一第二纵向轨道、一第三纵向轨道、一驱动装置及一第四纵向轨道。第二横向轨道与第一横向轨道平行且间隔排列。第一纵向轨道连接第一横向轨道及第二横向轨道。第二纵向轨道连接第一横向轨道，且与第一纵向轨道平行且间隔排列。第三纵向轨道连接第二横向轨道，且与第一纵向轨道平行且间隔排列。驱动装置连接第一横向轨道。第四纵向轨道连接驱动装置，且位在第一横向轨道及第二横向轨道之间。驱动装置用以驱动第四纵向轨道横向移动。
[0007]上述的空中半导体制程的轨道系统，其中，第一横向轨道包括一第一路面及一第一护栏，第一路面位在第一横向轨道的顶部，且自第一纵向轨道延伸至第一横向轨道的一远端，第一护栏连接第一路面，且自第二纵向轨道的外侧边延伸至第一横向轨道的远端，第二横向轨道包括一第二路面及一第二护栏，第二路面位在第二横向轨道的顶部，且自第一纵向轨道延伸至第二横向轨道的一远端，第二护栏连接第二路面，且自第三纵向轨道的外侧边延伸至第一横向轨道的远端。
[0008]上述的半导体制程的空中轨道系统，包括一止挡部，连接第一横向轨道的远端及第二横向轨道的远端。
[0009]上述的半导体制程的空中轨道系统，其中，驱动装置包括一第一线性滑轨、一第一滑块及一第一气压缸，第一线性滑轨连接第一横向轨道，第一滑块连接第一线性滑轨及第四纵向轨道，第一气压缸连接第四纵向轨道，以推动第四纵向轨道沿第一线性滑轨移动。
[0010]上述的半导体制程的空中轨道系统，其中，驱动装置包括一第二线性滑轨、一第二滑块及一第二气压缸，第二线性滑轨连接第二横向轨道，第二滑块连接第二线性滑轨及第四纵向轨道，第二气压缸连接第四纵向轨道，以推动第四纵向轨道沿第二线性滑轨移动。
[0011]上述的半导体制程的空中轨道系统，其中，第四纵向轨道包括一第四路面、一底面及一侧面，第四路面与第一横向轨道及第二横向轨道的顶面齐平，第一滑块位在底面，第二滑块位在底面，第一气压缸及第二气压缸位在侧面。
[0012]如此，本技术的半导体制程的空中轨道系统是允许运输车在纵向轨道上纵向移动，第一横向轨道、第二横向轨道、驱动装置及第四纵向轨道是设置在预定位置。当要拾取的物件(例如半导体传送盒)被纵向轨道干涉时，本技术可通过驱动装置驱动第四纵向轨道横向移动，来允许运输车在横向轨道上横向移动，而拾取被轨道干涉的物件，以解决预定位置上被轨道干涉的物件取放问题。
[0013]以下结合附图和具体实施例对本技术进行详细描述，但不作为对本技术的限定。
附图说明
[0014]图1是传输环境包括空中运行无人搬运车及空中轨道系统的示意图。
[0015]图2是图1中空中轨道系统的示意图。
[0016]图3是延续图1，且空中运行无人搬运车移动至横向轨道的示意图。
[0017]图4是图1的俯视图。
[0018]图5是图4中沿着剖线5
‑
5的剖视图。
[0019]其中，附图标记：
[0020]10:半导体制程的传输环境
[0021]30:空中运行无人搬运车
[0022]31:纵向车轮
[0023]33:横向车轮
[0024]50:空中轨道系统
[0025]51:第一横向轨道
[0026]511:第一路面
[0027]513:第一护栏
[0028]52:第二横向轨道
[0029]521:第二路面
[0030]523:第二护栏
[0031]53:第一纵向轨道
[0032]54:第二纵向轨道
[0033]55:第三纵向轨道
[0034]56:驱动装置
[0035]561:第一线性滑轨
[0036]562:第一滑块
[0037]563:第一气压缸
[0038]564:第二线性滑轨
[0039]565:第二滑块
[0040]566:第二气压缸
[0041]57:第四纵向轨道
[0042]571:第四路面
[0043]573:底面
[0044]575:侧面
[0045]577:护栏
[0046]59:止挡部
[0047]70:预定位置
具体实施方式
[0048]下面结合附图对本技术的结构原理和工作原理作具体的描述：
[0049]为使图面简洁，各图式中只示意性地表示出了与技术相关的部分，它们并不代表其作为产品的实际结构。另外，为使图面简洁便于理解，在有些图中具有相同结构或功能的部件，仅示意性地绘示了其中的一个，或仅标出了其中的一个。在本文中，“一个”不仅表示“仅此一个”，也可以表示“多于一个”的情形。例如亮点瑕疵可以是一个或一个以上。
[0050]如图1所示，半导体制程的传输环境10包括运输车及空中轨道系统50。运输车例如空中运行无人搬运车(OHT)30。其中，空中是指高于地面，而非对高度限制。
[0051]空中运行无人搬运车30用以在空中轨道系统50上运行，并包括四纵向车轮31及四横向车轮33，图中受限于角度仅分别显示二纵向车轮31及二横向车轮33的配置，另外二纵向车轮与二纵向车轮31是在空中运行无人搬运车30的相对称位置。另外二横向车轮与二横向车轮33是在空中运行无人搬运车30的相对称位置。
[0052]本技术的空中轨道系统50包括一第一横向轨道51、一第二横向轨道52、一第一纵向轨道53、一第二纵向轨道54、一第三纵向轨道55、一驱动装置56及一第四纵向轨道57。其中，第一横向轨道51、第二横向轨道52、驱动装置56及第四纵向轨道57的设置位置是预定位置，预定位置是用以放置物件，例如半导体传送盒，来供空中运行无人搬运车30拾取或放置。
[0053]第一横向轨道51及第二横向本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体制程的空中轨道系统，用以供一运输车移动，其特征在于，包括：一第一横向轨道；一第二横向轨道，与该第一横向轨道平行且间隔排列；一第一纵向轨道，连接该第一横向轨道及该第二横向轨道；一第二纵向轨道，连接该第一横向轨道，且与该第一纵向轨道平行且间隔排列；一第三纵向轨道，连接该第二横向轨道，且与该第一纵向轨道平行且间隔排列；一驱动装置，连接该第一横向轨道；及一第四纵向轨道，连接该驱动装置，且位在该第一横向轨道及该第二横向轨道之间，该驱动装置用以驱动该第四纵向轨道横向移动。2.如权利要求1所述的半导体制程的空中轨道系统，其特征在于，其中，该第一横向轨道包括一第一路面及一第一护栏，该第一路面位在该第一横向轨道的顶部，且自该第一纵向轨道延伸至该第一横向轨道的一远端，该第一护栏连接该第一路面，且自该第二纵向轨道的外侧边延伸至该第一横向轨道的远端，该第二横向轨道包括一第二路面及一第二护栏，该第二路面位在该第二横向轨道的顶部，且自该第一纵向轨道延伸至该第二横向轨道的一远端，该第二护栏连接该第二路面，且自该第三纵向轨道的外侧边延伸至该第一横向轨道...

【专利技术属性】
技术研发人员：张志逢，李俊億，方秀博，
申请(专利权)人：东捷科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：