磁吸式探针卡装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术为一种磁吸式探针卡装置，包括一探针卡及一测试座。探针卡包括复数探针设置在基板上，且探针向下延伸至基板下表面，每一基板上表面镀有一磁性层。测试座则对应探针卡设置，测试座包括一晶圆测试平台及一电磁铁，电磁铁设置于晶圆测试平台下方，电磁铁能产生磁力，以吸引基板接近晶圆测试平台，令复数探针接触到晶圆测试平台上的晶圆，以进行晶圆检测。本实用新型专利技术可利用磁力吸附探针卡接触到晶圆，能有效确保复数探针都接触晶圆探测点，且避免探针被过度施力，减少探针结构的疲劳或断裂，同时减少晶圆测试接点上针痕的产生程度。同时减少晶圆测试接点上针痕的产生程度。同时减少晶圆测试接点上针痕的产生程度。

【技术实现步骤摘要】
磁吸式探针卡装置


[0001]本技术涉及一种测量装置的技术，特别是指一种磁吸式探针卡装置。

技术介绍

[0002]探针卡测试装置为一种连接待测晶圆与电子测试系统，以对晶圆上的多个待测试点进行测试的装置。探针卡测试装置在进行检测时，探针卡测试装置的探针须与待测晶圆形成良好的电接触，令电子测试系统能发出的信号，能确实的传递至待测晶圆，以进行待测晶圆的晶粒检测。
[0003]由于半导体技术逐渐发展，使待测晶圆上的测试晶粒被做得越来越小，相对的待测试点的密集程度相对提高。以微发光二极管显示器(micro
‑
LED)来说，其尺寸已可降到0.1毫米(mm)以下。当然作为测试待测晶圆上待测试点的探针卡测试装置上的探针，也相对地被制作的越来越精细，分布也必须越来越密集。且为了实现量产的需要，探针数量也被调整到最大值，在微发光二极管显示器(micro
‑
LED)的应用上，探针的数量至少要大于500针，才能符合实际检测的实用性。
[0004]以目前常见的探针卡测试装置来说，如垂直式探针卡(MEMS)测试装置或悬臂式(Cantilever)探针卡测试装置，在进行晶粒检测时，都采用机械力将探针卡下压，令探针接触到待测晶圆上的测试接点，但由于待测晶圆待测表面水平度的差异，探针卡测试装置在施予一定的压力时，部分探针可能不会接触到待测晶圆的测试接点，又可能部分探针被施压的程度过大，以致于在待测晶圆的测试接点产生过大针痕。且探针被施压的程度过大，也会导致探针变形或磨损，长期下来探针结构易疲劳断裂，此时就需对探针卡进行维修或更换，提升检测的成本。除此之外，探针的机械变形不一，也会导致接触电阻的差异，进而影响测量电性结果的准确性。
[0005]有鉴于此，本技术遂针对上述现有技术的缺失，提出一种磁吸式探针卡装置，其可利用磁力吸附探针，来确保所有的探针，都能够均匀施力接触到待测物件的测试点上，以有效克服上述的该复数问题。

技术实现思路

[0006]本技术的主要目的在提供一种磁吸式探针卡装置，其可利用磁力吸附探针卡，能确保所有探针卡上的探针都能接触到待测晶圆，以进行晶圆检测。
[0007]本技术的另一目的在提供一种磁吸式探针卡装置，其利用磁力吸附探针卡能避免压力过大，使探针被过度施力，能减少探针的变形，进而减少探针结构的疲劳或断裂，可提升探针的耐用度，同时减少晶圆测试接点上针痕的产生。
[0008]为达上述的目的，本技术提供一种磁吸式探针卡装置，包括一探针卡及一测试座对应探针卡设置。探针卡包括一基板以及复数探针设置在基板上，复数探针并向下延伸至基板下表面，基板上更铺设有一磁性层。测试座包括一晶圆测试平台及一电磁铁，电磁铁设置于晶圆测试平台下方，电磁铁能产生磁力吸附基板，令复数探针接触晶圆测试平台。
[0009]在本实施例中，磁吸式探针卡装置更包括一控制器连接探针卡以及测试座，控制器控制测试座的电磁铁产生磁力，以吸附探针卡的基板，令复数探针接触晶圆测试平台，控制器并控制探针卡接收及传递测试信号。
[0010]在本实施例中，探针卡的基板上更设有一测试开口，复数探针以环设或阵列的方式设置在测试开口内。
[0011]在本实施例中，探针卡的基板上设有复数导线，复数导线分别连接复数探针以及控制器。
[0012]在本实施例中，磁吸式探针卡装置更包括一机台，探针卡及测试座设置于机台上，且机台上设有一移动装置连接测试座，以控制测试座移动。
[0013]综上所述，本技术利用磁力吸附探针卡，能确保所有探针都能接触到晶圆，且能避免探针被过度施力，减少探针的变形，进而减少探针结构的疲劳或断裂，能提升探针的耐用度，同时可减少晶圆的测试接点上针痕的轨迹。
[0014]兹为对本技术的结构特征及所达成的功效更有进一步的了解与认识，谨佐以较佳的实施例图及配合详细的说明，说明如后。
附图说明
[0015]图1是本技术的装置架构侧视图。
[0016]图2是本技术的探针卡剖面示意图。
[0017]图3是本技术的使用状态示意图。
[0018]附图标记说明：1
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磁吸式探针卡装置；10
‑
探针卡；12
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基板；120
‑
磁性层；122
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测试开口；124
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导线；14
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探针；140
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连接部；142
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测试部；20
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测试座；22
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晶圆测试平台；24
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电磁铁；30
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机台；32
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移动装置；40
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控制器；50
‑
晶圆。
具体实施方式
[0019]本技术为一种磁吸式探针卡装置，可提供利用磁力吸附探针卡的技术，可确保所有探针都能接触到晶圆，且利用磁力吸附探针卡能避免探针被过度施力，减少探针的变形，进而减少探针结构产生疲劳或断裂，提升探针的耐用度，同时能减少测试接点上针痕产生轨迹。
[0020]为说明本技术如何达到上述的功效，接下来将进一步说明本技术的技术。首先请参照图1，本技术磁吸式探针卡装置1的结构包括一探针卡10、一测试座20、一机台30以及一控制器40，探针卡10及测试座20安装在机台30上，且探针卡10位于测试座20的上方，机台30连接控制器40，控制器40可为带有显示器的计算机，以提供使用者通过控制器40操作探针卡10、测试座20及机台30的作动，控制器40更可通过操作机台30，令测试座20对应探针卡10移动。
[0021]请参照图1与图2，接着说明探针卡10的结构，在本实施例中，探针卡10包括一基板12及复数探针14，在本实施例中，基板12为可挠性绝缘基板，基板12的上表面铺设有一磁性层120，磁性层120为导磁材料，如镍层、钴层或铑层等具有磁性的金属层，但不限于此等材料或其合金。基板12上设有一测试开口122，探针14可供设置在基板12上，且以环设或阵列的方式设置在测试开口122内，探针14并向下延伸至基板12下表面。基板12上更设有复数导
线124，复数导线124分别连接复数探针14以及控制器40，通过导线124可将控制器40产生的信号传递给探针14，也可将探针14接收到的信号传递回控制器40。
[0022]请持续参照图2，以详细说明探针的结构，在本实施例中，每一探针14包括一连接部140以及一测试部142连接设置，且测试部142垂直于连接部140，并向下延伸至基板12的下表面。探针14的测试部142提供接触晶圆上的测试点，以对晶圆进行检测。
[0023]接着请回复参照图1，以说明测试座20的结构，测试座20包括一晶圆测试平台22及一电磁铁24。晶圆测试平台22可提供乘载测试晶圆，令探针卡10的探针14接触晶圆的测试点，以进行晶圆检测。电磁铁本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种磁吸式探针卡装置，其特征在于，包括：一探针卡，包括：一基板；复数探针，该复数探针设置在该基板上，且向下延伸至该基板下表面；及一磁性层，铺设于该基板上表面；以及一测试座，对应该探针卡设置，该测试座包括一晶圆测试平台及一电磁铁，该电磁铁设置于该晶圆测试平台下方，该电磁铁能产生磁力，以吸附该基板，令该复数探针接触该晶圆测试平台。2.如权利要求1所述的磁吸式探针卡装置，其特征在于，该磁性层为镍层、钴层或铑层。3.如权利要求1所述的磁吸式探针卡装置，其特征在于，还包括一控制器，该控制器连接该探针卡以及该测试座，该控制器控制该测试座的该电磁铁产生磁力，以吸附该探针卡的该基板，令该复数探针接触该晶圆测试平台，该控制器还能够控制该探针卡接收及...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴铭钦，刘峰，黄宏义，
申请(专利权)人：苏州雨竹机电有限公司，
类型：新型
国别省市：