本实用新型公开了一种方硅芯铸锭炉真空系统，主要以解决现有铸锭炉中炉腔压力的控制不稳定的问题。包括：上腔体，所述上腔体具有炉体左出气口与炉体右出气口，所述炉体左出气口位于所述上腔体的左侧；所述炉体右出气口位于所述上腔体的右侧；炉体抽气管，...

本实用新型公开了一种方硅芯铸锭炉的加热器结构，主要以解决电阻分配和功率分配对称性较差，使得现有方硅芯炉热场温度分布不均的问题。包括：侧加热器、顶加热器与石墨电极，所述侧加热器由侧加热板组成，所述侧加热板分为四个，分别设置为前后对称与左右...

本实用新型公开了一种方硅芯铸锭炉腔体结构，主要以解决现有方硅芯铸锭炉在硅芯铸锭过程中内部抗压形变能力差的问题。包括：上炉体、下炉体、顶部内侧板、顶部外侧板、侧部内侧板与侧部外侧板，下炉体设置在上炉体的下部；顶部内侧板设置在上炉体内部上；...

本实用新型公开了一种方硅芯铸锭炉热场结构，主要以解决热场温度分布不均匀，生长出的晶体易开裂的问题。包括：炉体，所述炉体分为上炉体与下炉体；隔热层，所述隔热层设置在所述炉体中；立柱，所述立柱固定在所述下炉体上；热交换台，所述热交换台固定在...

本发明公开了一种方硅芯铸锭炉装置，涉及硅片加工技术领域。在本申请中，硅芯生产装置，包括：机体设置在平面上，机体包括：前侧机架呈竖直设置在平面上；后侧机架位于前侧机架的一侧；左侧顶梁位于前侧机架的上方一侧；侧部下梁位于前侧机架的下方一侧；...

本发明公开了一种方硅芯铸锭炉热场结构及制备方法，主要以解决热场温度分布不均匀，生长出的晶体易开裂的问题。包括：炉体，所述炉体分为上炉体与下炉体；隔热层，所述隔热层设置在所述炉体中；立柱，所述立柱固定在所述下炉体上；热交换台，所述热交换台...