本发明提供了一种氧化铟铜靶材及其制备方法与应用，所述制备方法包括如下步骤：(1)混合氧化铟粉末与铜粉，得到混合粉；(2)对步骤(1)所得混合粉进行热压烧结，得到所述氧化铟铜靶材。本发明制备得到的氧化铟铜靶材相对密度较高，致密性良好且具有...

本发明提供了一种铜镍钛合金靶材及其制备方法与应用，所述制备方法包括如下步骤：(1)混合铜粉、镍粉与钛粉，然后将所得混合粉进行悬浮熔炼，得到合金锭；(2)精炼所得金属锭至少3次，将最后一次精炼所得熔体进行浇铸，得到铸锭；(3)对所得铸锭进...

本实用新型涉及铝钪靶材领域，具体是一种用于矩形铝钪靶材的整平装置，包括支撑台、可活动的垫块和可伸缩的整平机构；整平机构设置在支撑台上，其中，整平机构的伸缩方向垂直与支撑台的台面；支撑台上设置有矩形槽，其中，多个垫块分别可活动的设置在矩形...

本实用新型涉及铝钪靶材领域，具体是一种用于圆盘状铝钪靶材的整平装置，包括支撑台、多个可活动的垫块、可伸缩的整平机构；整平机构设置在支撑台上，整平机构的伸缩方向垂直于支撑台的台面；支撑台上设置有圆环槽，多个垫块分别可活动的设置在圆环槽内，...

本实用新型公开了一种插入式靶材旋转检测装置，包括工作台，所述工作台上设置有两条对应设置的轨道，所述轨道两侧均设置有第一驱动机构，所述第一驱动机构通过连接杆连接有固定装置，所述固定装置包括移动轴，所述移动轴上设置有多块移动板，所述工作台中...

本实用新型公开了一种可循环砂粒的多功能靶材喷砂装置，包括本体，所述本体四周设置有多个喷砂管，所述喷砂管通过软管连接有储砂罐，所述软管上设置有送风机构，所述本体底部设置有收集槽，所述收集槽底部通过回收管连接至储砂罐，所述回收管上设置有回收...

本实用新型公开了一种靶材平整度测试工装，包括工作台，工作台上设置有固定机构和检测机构，固定机构包括第一驱动电机和第一移动装置，第一驱动电机一端通过联轴器连接有双向丝杆，双向丝杆两端均设置有固定板，工作台上设置有与固定板相对应的轨道；工作...

本实用新型公开了一种新型磁控溅射靶材组件，包括背板和靶材，所述背板组设置在升降台上，所述升降台通过升降柱固定在工作台上，所述工作台上设置有电机，所述电机上设置有螺杆，所述螺杆一端活动连接在所述升降台上，所述升降台上与所述螺杆对应的位置设...

本发明涉及靶材领域，具体是一种用于提高芯片制造良品率的AlSc靶材的制造方法，利用超声波探伤仪获得铝钪靶材的内部图像，可以明确的得知铝钪靶材的内部是否具有缺陷，并采用获得缺陷处的尺寸信息和预设尺寸信息对比，可以明确的获得铝钪靶材是合格品...

本实用新型公开了一种多功能靶材检测工装，包括工作台和载物支架，工作台上设置有结构检测机构和平整度检测机构，结构检测机构包括设置在载物支架两端的第一气缸，第一气缸上均设置有仿形器，仿形器包括第一紧固装置、仿形装置和第二紧固装置，仿形装置设...

本实用新型公开了一种靶材解绑装置，包括解绑容器，所述解绑容器内设置有支撑底板，所述支撑底板中心设置有双向丝杆，所述双向丝杆一侧在所述解绑容器外侧设置有把手，所述双向丝杆上对称设置有夹板，所述解绑容器相对的两侧边缘顶端均设置有滑道，所述滑...

本实用新型公开了一种靶材组件，包括背板和靶材组，背板设有位于中部的凸起部和两侧的平整部，靶材组包括设于凸起部的第一子靶材和设于平整部上的第二子靶材；第一子靶材和第二子靶材的上表面保持平齐；背板的焊合表面设有低熔点的第一焊料层，靶材组的焊...

本实用新型公开了一种可调节靶材组件，包括靶材组和背板组，靶材组设置在背板组上，靶材组包括第一子靶材和围绕在第一子靶材外侧的第二子靶材，背板组包括第一背板和第二背板，第一子靶材对应第一背板，第二子靶材对应第二背板，工作台上设置有电机，电机...

本实用新型公开了一种管靶内外层粘接夹持工装，包括移动装置，移动装置包括底座，底座的顶部设有滑轨，滑轨内转动连接有双头丝杆，双头丝杆的一端与安装在底座外壁的伺服电机转动端固定连接，且双头丝杆位于滑轨内的两端外壁螺纹套接有导向块，导向块的顶...

本实用新型公开了一种管靶内壁的胶层涂布结构，包括涂布液箱体，移动装置包括固定在涂布液箱体两端顶部的第一立板和第二立板，第一立板的侧壁安装有伺服电机，伺服电机的转动端贯穿第一立板的侧壁设有丝杆，丝杆的外壁螺纹套接有导向块，导向块的两端侧壁...

本实用新型公开了一种靶材贴合装置，包括底座，底座上安装加热板，加热板上放置靶拖，靶拖上放置靶材，靶材和靶拖相接处的一面均涂有易熔金属涂层，靶材和靶拖的侧壁间卡接定位框，加热板的一侧的底座上安装固定架，固定架顶部通过螺纹结构套接压紧螺柱，...

本发明公开了一种靶材垂直度检测装置，包括底座和透光台，底座和透光台的两侧间安装升降机构，底座上安装多个照明灯，透光台顶部两个邻边间安装固定定位块，透光台顶部另两个邻边处均安装固定板，固定板两端开有导向孔，导向孔内套接导向杆，导向杆一端连...

本实用新型公开了一种可调节高度且使用便捷的测试槽，包括水槽和安装架，其特征在于：所述水槽安装在安装架上，所述横向滑动轨道右端设置有探测器，所述探测器下端设置有探测托台，本实用新型增加了的升降底座，升降底座由旋转螺钉、扭力表、液压装置、活...

本实用新型涉及管靶贴合技术领域，且公开了一种管靶的吊装工装，其包括：底座，所述底座顶部的两侧均焊接有支撑块，两个所述支撑块之间穿插有丝杆，所述丝杆外侧的右侧螺纹连接有螺纹块，所述螺纹块的正面与背面均焊接有传动块，所述传动块远离螺纹块的一...

本实用新型公开了一种平面靶材溢铟保护工装，包括：平面工作台、框架、压板、第一锡纸层、第二锡纸层；第一锡纸层可以将溢出的金属铟接住，进而可以重复利用；框架可拆卸方式连接，可以方便将框架内的平面靶材取出；料槽可以将残余的金属铟废料收集起来，...