【技术实现步骤摘要】
一种靶材平整度测试工装
本技术涉及靶材检测领域，具体涉及一种靶材平整度测试工装。
技术介绍
镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。靶材在使用过程中上下两个平面容易发生向上的弯曲，有的甚至弯曲弧度达0.5mm，会影响使用效果，因此使用前对靶材进行平整度的测试是使用靶材前的必要步骤，现有的检测一般采用人工测量，效率低并且检测数据准确性差。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种靶材平整度测试工装，结构简单，可以通过移动第一移动装置与第二移动装置的配合实现靶材任意位置的平整度检测，无需人工目测即可实现测量，准确性高，方便快捷。为了解决上述技术问题，本技术提供了一种靶材平整度测试工装，包括工作台，所述工作台上设置有固定机构和检测机构，所述固定机构包括第一驱动电机和第一...
【技术保护点】
1.一种靶材平整度测试工装，其特征在于，包括工作台，所述工作台上设置有固定机构和检测机构，所述固定机构包括第一驱动电机和第一移动装置，所述第一驱动电机一端通过联轴器连接有双向丝杆，所述双向丝杆两端均设置有固定板，所述工作台上设置有与所述固定板相对应的轨道，所述第一移动装置设置在所述工作台的中心并且设置有通孔方便所述双向丝杆通过；/n所述工作台上设置有支架，所述检测机构设置在所述支架上，所述检测机构包括第二驱动电机和第二移动装置，所述第二驱动电机通过联轴器连接有单向丝杆，所述第二移动装置设置在所述单向丝杆上并且可以沿着所述单向丝杆移动，所述第二移动装置底端设置有检测仪。/n
【技术特征摘要】
1.一种靶材平整度测试工装，其特征在于，包括工作台，所述工作台上设置有固定机构和检测机构，所述固定机构包括第一驱动电机和第一移动装置，所述第一驱动电机一端通过联轴器连接有双向丝杆，所述双向丝杆两端均设置有固定板，所述工作台上设置有与所述固定板相对应的轨道，所述第一移动装置设置在所述工作台的中心并且设置有通孔方便所述双向丝杆通过；
所述工作台上设置有支架，所述检测机构设置在所述支架上，所述检测机构包括第二驱动电机和第二移动装置，所述第二驱动电机通过联轴器连接有单向丝杆，所述第二移动装置设置在所述单向丝杆上并且可以沿着所述单向丝杆移动，所述第二移动装置底端设置有检测仪。
2.如权利要求1所述的靶材平整度测试工装，其特征在于，所述第一移动装置的通孔远大于所述双向丝杆的直径，因此所述双向丝杆...
【专利技术属性】
技术研发人员：何建进，陈江伟，何凌男，
申请(专利权)人：苏州精美科光电材料有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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