本实用新型公开了一种晶圆载具，包括载具本体，所述载具本体上靠近其内壁的顶部通过销轴转动连接有夹套，所述载具本体的底部开设有通槽，所述通槽的内壁滑动连接有推动斜板，所述载具本体内壁的底部开设有导向槽，所述导向槽的内壁滑动连接有从斜板，所述...

本实用新型公开了一种晶圆切片装置，包括基板，所述基板的底部四角处固定连接有支撑腿，所述基板的上方设有顶板，所述基板与所述顶板之间设有侧板，所述侧板的一端与所述基板的顶壁固定连接，另一端与所述顶板的底壁固定连接，所述基板的顶部对称且固定连...

本实用新型涉及晶圆检测技术领域，特别涉及一种晶圆检测用料盘，包括底座，所述底座的内部开设有滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有滑杆，所述滑杆的顶部固定连接有料框，所述料框的内部固定连接有托盘，所述料框的内壁上固定连接有压缩弹簧，所述压缩弹簧远...

本实用新型涉及电子产品检测技术领域，尤其为一种晶圆检测固定机构，包括支撑框、固定柱和电机，所述支撑框的内侧后端固定连接有固定柱，所述固定柱的外侧转动连接有转动圆盘，所述支撑框的前端内侧滑动连接有滑动底板，所述滑动底板的后端面和转动圆盘的...

本实用新型公开了一种晶圆厚度测量装置，包括测厚架，所述测厚架滑动连接有清洁箱，所述清洁箱内转动连接有料辊，所述料辊缠绕连接有清洁布，所述清洁布缠绕连接有收卷辊，所述测厚架固定连接有底架，所述底架两侧安装有螺杆b，所述螺杆b螺纹连接有滑块...

本实用新型涉及电子产品加工技术领域，尤其为一种晶圆精准切割装置，包括底座、支撑框和电机，所述底座的上端固定连接有限位框，所述限位框的内侧滑动连接有限位滑杆，所述限位滑杆的内端固定连接有定位夹板，所述底座的上端后侧固定连接有支撑框，所述支...

本实用新型公开了一种晶圆清洗装置用喷淋机构，包括送料架，所述送料架安装有螺杆a，所述螺杆a螺纹连接有滑块a，所述滑块a转动连接有清洗台，所述清洗台内安装有真空泵，所述真空泵与真空管互通，所述真空管位于海绵的下方，所述送料架固定连接有清洗...

本实用新型涉及一种晶圆加工快速覆膜机，包括底座，所述底座顶部固定连接有工作台，所述工作台顶部固定连接有覆膜柜体，所述覆膜柜体内部固定连接有滑杆，所述滑杆外围滑动连接有第一滑套与第二滑套，所述第一滑套底部通过连接杆固定连接有安装板，所述第...

本实用新型公开了晶圆贴膜后用放置架，包括多个外箱体，所述外箱体前侧面顶端均铰接有盖板，所述盖板一侧均固定设有拉手，所述外箱体顶部均固定设有凸块，且所述外箱体底部均固定设有凹槽，所述凸块均与凹槽卡合连接，该种晶圆贴膜后用放置架，通过设置凸...

本实用新型公开了一种多功能晶圆清洗花篮，包括外花篮，所述外花篮的后壁上固定连接有连接杆，所述外花篮的内腔设有内花篮，所述外花篮及所述内花篮的侧壁及底壁均设有清洗通孔，所述外花篮与所述内花篮之间对称设有升降组件，所述外花篮的一侧壁开设有活...

本实用新型涉及一种晶圆胶膜裁切用载具，包括裁切载具，所述裁切载具的内侧开设有载具槽，所述载具槽的内侧设有安装铁环，所述安装铁环的内侧开设有限位安装孔，所述安装铁环的内侧设有晶圆本体；能通过安装铁环内的限位安装孔配合限位安装杆，实现快速安...

本发明公开了一种晶圆片开槽方法及黄胶膜边缘切割设备，包括以下步骤，将大片晶圆片进行倒片，并进行切割，切割成方片，对切割后的方片晶圆片进行覆膜，覆膜后对方片晶圆片进行原片切割，切割成原片的晶圆片，对其进行静电膜切割，然后进行裂片，裂片完成...

本实用新型涉及一种晶圆加工用大片切割装置，包括底座，所述底座顶部对称安装有支撑座，左侧所述支撑座内侧设置有升降槽，所述升降槽上通过滑动件安装有横向支撑柱，所述横向支撑柱底部活动安装有滑动块，所述滑动块与横向支撑柱之间设置有直线电机，所述...