一种晶圆清洗装置用喷淋机构制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种晶圆清洗装置用喷淋机构，包括送料架，所述送料架安装有螺杆a，所述螺杆a螺纹连接有滑块a，所述滑块a转动连接有清洗台，所述清洗台内安装有真空泵，所述真空泵与真空管互通，所述真空管位于海绵的下方，所述送料架固定连接有清洗箱，所述清洗箱滑动连接有竖架，所述竖架转动连接有调节架，所述调节架内安装有电动推杆b，所述电动推杆b固定连接有刷板，所述刷板表面固定连接有刷毛，所述刷板安装有喷淋管，所述喷淋管与喷淋泵互通，电动推杆b伸缩带动刷架上下移动从而调整刷取直径，可对不同直径的晶圆进行清洗；送料架和可旋转的清洗台配合可自动对晶圆进行送料清洗。行送料清洗。行送料清洗。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆清洗装置用喷淋机构


[0001]本技术涉及一种晶圆清洗装置用喷淋机构，具体为一种晶圆清洗装置用喷淋机构，属于晶圆加工


技术介绍

[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。
[0003]现有技术的晶圆加工有以下缺点：1、现有晶圆清洗装置仅可对同一直径的晶圆进行清洗，不能根据晶圆直径进行调节清洗范围，使用不便；2、晶圆清洗时需人们手动固定晶圆后进行清洗，自动化程度低，因此，针对上述问题进行改进。

技术实现思路

[0004]本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种晶圆清洗装置用喷淋机构，电动推杆b伸缩带动刷架上下移动从而调整刷取直径，可对不同直径的晶圆进行清洗；送料架和可旋转的清洗台配合可自动对晶圆进行送料清洗。
[0005]本技术通过以下技术方案来实现上述目的，一种晶圆清洗装置用喷淋机构，包括送料架，所述送料架安装有螺杆a，所述螺杆a螺纹连接有滑块a，所述滑块a转动连接有清洗台，所述清洗台内安装有真空泵，所述真空泵与真空管互通，所述真空管位于海绵的下方，所述送料架固定连接有清洗箱，所述清洗箱滑动连接有竖架，所述竖架转动连接有调节架，所述调节架内安装有电动推杆b，所述电动推杆b固定连接有刷板，所述刷板表面固定连接有刷毛，所述刷板安装有喷淋管，所述喷淋管与喷淋泵互通。
[0006]优选的，所述滑块a内安装有电机c，所述电机c的输出端固定连接有转杆。
>[0007]优选的，所述转杆贯穿连接有清洗台，所述转杆插接有滑块b。
[0008]优选的，所述滑块b螺纹连接有螺杆b，所述螺杆b安装在送料架的内部。
[0009]优选的，所述送料架左侧安装有电机a，所述电机a的输出端固定连接有螺杆a。
[0010]优选的，所述海绵粘接在清洗台的内部，所述清洗箱右侧安装有电动推杆a。
[0011]优选的，所述电动推杆a固定连接有竖架，所述竖架表面安装有电机b。
[0012]优选的，所述电机b的输出端固定连接有转轴，所述转轴左侧固定连接有调节架。
[0013]本技术的有益效果是：
[0014]1、电动推杆b伸缩带动刷架上下移动从而调整刷取直径，可对不同直径的晶圆进行清洗；把晶圆放在清洗台上固定后清洗台右移带动清洗台上晶圆右移，右移到最右端后清洗台旋转90度呈竖直状态，清洗箱右侧的电动推杆a伸长，电动推杆a伸长带动连接的竖架沿清洗箱底部持续向左滑动，竖架持续左移带动竖架上调节架左移靠近晶圆，当晶圆直径较大时，调节架内电动推杆b伸长，电动推杆b伸长带动连接的刷板上移，刷板持续上移直至刷板顶端微超过晶圆最上方且刷板足够长，刷板底端的刷毛位于晶圆中心点微下方，刷板外侧固定有喷淋管且喷淋管上安装的多个喷淋头插入刷板内，电动推杆a持续推动竖架
左移直至刷板上刷毛与晶圆表面相贴，喷淋泵持续抽取清洗液输送进喷淋管内，经喷淋管上安装的多个喷淋头向左侧喷出喷洒到晶圆表面，同时竖架上电机b转动，电机b转动带动连接的转轴转动，转轴转动带动连接的调节架旋转，调节架旋转带动调节架内刷板旋转，同时喷淋管上喷淋头持续喷洒清洗液，刷毛持续旋转对晶圆表面进行清洁，反之当晶圆直径较小时，调节架内电动推杆b缩短，电动推杆b缩短可带动连接的刷板下移直至刷板顶端微高于晶圆上端，同理位置调节后调节架旋转对晶圆表面进行喷淋冲洗的同时通过刷毛进行清洁，可根据晶圆直径对刷板位置进行调整，可对直径不同的晶圆进行清洗。
[0015]2、送料架和可旋转的清洗台配合可自动对晶圆进行送料清洗；机械手等把晶圆放在清洗台上后，晶圆底部与海绵相贴，清洗台内真空泵启动，真空泵启动后通过真空管对海绵与晶圆内空气进行抽取，产生负压，可使晶圆紧贴在清洗台表面，晶圆固定后送料架左侧的电机a启动，电机a启动带动连接的螺杆a转动，螺杆a转动带动连接的滑块a沿螺杆a持续右移，电机转动带动连接的螺杆b转动，螺杆b转动带动连接的滑块b沿螺杆b右移，滑块a内电机c通过转杆与清洗台连接，且转杆一端插入滑块b内，滑块a和滑块b同步右移可带动连接的清洗台右移，滑块持续右移带动清洗台进入清洗箱内，滑块移动到送料架最右侧后，滑块a内电机c启动带动连接的转杆转动，转杆转动带动连接的清洗台旋转90度呈竖直状态进行清洗，清洗后电机c反转带动转杆连接的清洗台反向旋转90度恢复水平位置，电机a反转可带动螺杆a反转，螺杆a反转可带动滑块a左移恢复原位，螺杆b反转可带动滑块b左移恢复原位，即连接的清洗台带动清洗后的晶圆恢复原位进行更换，可通过送料架和可旋转的清洗台配合自动对晶圆进行送料清洗。
附图说明
[0016]图1为本技术整体的部分剖结构示意图；
[0017]图2为本技术清洗箱的部分剖结构示意图；
[0018]图3为本技术送料架的俯视图；
[0019]图4为本技术图2中A处的放大图。
[0020]图中：1、电机a；2、螺杆a；3、送料架；4、清洗箱；5、海绵；6、真空管；7、真空泵；8、清洗台；9、喷淋管；10、喷淋泵；11、调节架；12、电机b；13、竖架；14、电动推杆a；15、电动推杆b；16、转杆；17、刷毛；18、刷板；19、滑块a；20、螺杆b；21、滑块b；22、电机c。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]实施例1：请参阅图1
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4所示，一种晶圆清洗装置用喷淋机构，包括送料架3，所述送料架3安装有螺杆a2，送料架3可固定螺杆a2的位置，所述螺杆a2螺纹连接有滑块a19，螺杆a2转动带动连接的滑块a19左右移动，所述滑块a19转动连接有清洗台8，清洗台8可绕滑块a19旋转，所述清洗台8内安装有真空泵7，清洗台8可为真空泵7提供安装平台，所述真空泵7与真空管6互通，真空泵7通过真空管6抽取海绵5与晶圆间的空气，所述真空管6位于海绵5
的下方，所述送料架3固定连接有清洗箱4，送料架3右端插入清洗箱4内进行固定，所述清洗箱4滑动连接有竖架13，竖架13可沿清洗箱4左右滑动，所述竖架13转动连接有调节架11，调节架11可绕竖架13旋转，所述调节架11内安装有电动推杆b15，调节架11可固定电动推杆b15的位置，所述电动推杆b15固定连接有刷板18，电动推杆b15伸缩带动连接的刷板18上下移动，所述刷板18表面固定连接有刷毛17，所述刷板18安装有喷淋管9，喷淋管9上安装的多个喷淋头插入刷板18内，所述喷淋管9与喷淋泵10互通，喷淋泵10抽取清洗液向喷淋管9内输送。
[0023]具体而言，所述转杆16贯穿连接有清洗台本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆清洗装置用喷淋机构，包括送料架（3），其特征在于：所述送料架（3）安装有螺杆a（2），所述螺杆a（2）螺纹连接有滑块a（19），所述滑块a（19）转动连接有清洗台（8），所述清洗台（8）内安装有真空泵（7），所述真空泵（7）与真空管（6）互通，所述真空管（6）位于海绵（5）的下方，所述送料架（3）固定连接有清洗箱（4），所述清洗箱（4）滑动连接有竖架（13），所述竖架（13）转动连接有调节架（11），所述调节架（11）内安装有电动推杆b（15），所述电动推杆b（15）固定连接有刷板（18），所述刷板（18）表面固定连接有刷毛（17），所述刷板（18）安装有喷淋管（9），所述喷淋管（9）与喷淋泵（10）互通。2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗装置用喷淋机构，其特征在于：所述滑块a（19）内安装有电机c（22），所述电机c（22）的输出端固定连接有转杆（16）。3.根据权利要求2所述的一种晶圆清洗装置用喷淋机构，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨茗，胡路，
申请(专利权)人：苏州北汀羽电子有限公司，
类型：新型
国别省市：