一种晶圆载具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆载具，包括载具本体，所述载具本体上靠近其内壁的顶部通过销轴转动连接有夹套，所述载具本体的底部开设有通槽，所述通槽的内壁滑动连接有推动斜板，所述载具本体内壁的底部开设有导向槽，所述导向槽的内壁滑动连接有从斜板，所述从斜板的表面与推动斜板的表面滑动连接，所述从斜板的侧面与载具本体内壁的侧面之间固定连接有弹力件，本实用新型专利技术通过上述等结构的配合，实现了设置防滑软垫能够对晶圆的夹紧防落，通过推动斜板和从斜板之间滑动作用下，弹力件能够给予从斜板后续复位的弹力，保障了拉动以及稳定夹套对晶圆的装卸作用，给工作人员的工作带来了便利。利。利。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆载具


[0001]本技术涉及晶圆储存
，具体为一种晶圆载具。

技术介绍

[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，晶圆加工好后会安装规格投入晶圆盒中进行稳定放置，且载具能够进行晶圆盒的存放以及运输，由于现有的大多数载具采用包围的形式进行晶圆放置，但是其自身缺乏相对应的防护结构，从而容易受到外界碰撞而发生弯曲变形，且移动过程中晶圆容易滑落，给实际使用带来了一定的不利影响，因此需要进行改进。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种晶圆载具，设置防滑软垫能够对晶圆的夹紧防落，通过推动斜板和从斜板之间滑动作用下，弹力件能够给予从斜板后续复位的弹力，保障了拉动以及稳定夹套对晶圆的装卸作用，给工作人员的工作带来了便利的优点，给实际使用带来了一定的有利影响，解决了以上
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆载具，包括载具本体，所述载具本体上靠近其内壁的顶部通过销轴转动连接有夹套，所述载具本体的底部开设有通槽，所述通槽的内壁滑动连接有推动斜板，所述载具本体内壁的底部开设有导向槽，所述导向槽的内壁滑动连接有从斜板，所述从斜板的表面与推动斜板的表面滑动连接，所述从斜板的侧面与载具本体内壁的侧面之间固定连接有弹力件，所述从斜板的顶部通过铰链座转动连接有连接杆，所述连接杆的顶端通过铰链座与夹套转动连接。
[0005]优选的，所述载具本体的底部固定连接有滑板，所述滑板的数量为四个，且数量为四个的滑板均匀分布在载具本体的左右两侧。
[0006]优选的，所述滑板的侧面固定连接带有内螺纹槽的安装板，所述安装板的内部螺纹连接有定位螺栓。
[0007]优选的，所述夹套由外护板和内环板组成，所述外护板的内壁与内环板的外壁固定连接。
[0008]优选的，所述内环板的内壁固定连接有防滑软垫，所述防滑软垫的表面开设有防滑纹。
[0009]优选的，所述推动斜板的侧面固定连接有移动块，所述通槽的内壁开设有移动槽，所述移动槽的内壁与移动块的表面滑动连接。
[0010]优选的，所述弹力件包括两个阻尼块和短弹簧，两个阻尼块分别固定连接在从斜板的侧面与载具本体内壁的侧面上，所述短弹簧固定连接在两个阻尼块之间。
[0011]优选的，所述两个阻尼块的表面之间固定连接有伸缩套，所述伸缩套由外套筒和内套筒组成，且内套筒的表面与外套筒的内壁滑动连接。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：借助滑板能够带动整个载具本体进
行平稳移动，转动定位螺栓能够进行载具本体的稳定安装，通过移动块和移动槽的设置，借助外力按压推动斜板平稳移动，推动斜板移动能够挤压从斜板在导向槽中移动，通过弹力件的设置，给予从斜板后续复位的弹力，从斜板移动能够带动连接杆推动两个夹套倾斜，进而解除对晶圆的夹紧，以便工作人员进行晶圆的拿取。
附图说明
[0013]图1为本技术的正视剖面视图；
[0014]图2为本技术的A处放大图；
[0015]图3为本技术弹力件的正视剖面视图。
[0016]图中：1、载具本体；2、夹套；3、推动斜板；4、导向槽；5、从斜板；6、弹力件；7、连接杆；8、滑板；9、安装板；10、定位螺栓；11、外护板；12、内环板；13、防滑软垫；14、移动块；15、移动槽；16、阻尼块；17、短弹簧；18、伸缩套。
具体实施方式
[0017]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0018]实施例1请参阅图1
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3，本技术提供一种技术方案：一种晶圆载具，包括载具本体1，载具本体1上靠近其内壁的顶部通过销轴转动连接有夹套2，载具本体1的底部开设有通槽，通槽的内壁滑动连接有推动斜板3，载具本体1内壁的底部开设有导向槽4，导向槽4的内壁滑动连接有从斜板5，从斜板5的表面与推动斜板3的表面滑动连接，从斜板5的侧面与载具本体1内壁的侧面之间固定连接有弹力件6，从斜板5的顶部通过铰链座转动连接有连接杆7，连接杆7的顶端通过铰链座与夹套2转动连接。
[0019]进一步的，夹套2由外护板11和内环板12组成，外护板11的内壁与内环板12的外壁固定连接。
[0020]进一步的，内环板12的内壁固定连接有防滑软垫13，防滑软垫13的表面开设有防滑纹，防滑软垫13能够起到对晶圆夹紧固定。
[0021]进一步的，推动斜板3的侧面固定连接有移动块14，通槽的内壁开设有移动槽15，移动槽15的内壁与移动块14的表面滑动连接，通过移动块14和移动槽15的设置，能够保障推动斜板3的平稳移动。
[0022]进一步的，弹力件6包括两个阻尼块16和短弹簧17，两个阻尼块16分别固定连接在从斜板5的侧面与载具本体1内壁的侧面上，短弹簧17固定连接在两个阻尼块16之间，在阻尼块16和短弹簧17的弹性作用下，能够给予从斜板5后续复位的弹力。
[0023]进一步的，两个阻尼块16的表面之间固定连接有伸缩套18，伸缩套18由外套筒和内套筒组成，且内套筒的表面与外套筒的内壁滑动连接，通过伸缩套18的设置，减少了短弹簧17在伸缩过程中出现扭斜的情况。
[0024]实施例2：请参阅图1
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3，本实施例与实施例1的区别在于：载具本体1的底部固定连接有滑板8，滑板8的数量为四个，且数量为四个的滑板8均匀分布在载具本体1的左右两侧，
推动滑板8带动整个载具本体1进行平稳移动。滑板8的侧面固定连接带有内螺纹槽的安装板9，安装板9的内部螺纹连接有定位螺栓10，转动定位螺栓10进行载具本体1的稳定安装。
[0025]工作原理：该一种晶圆载具在用时，工作人员能够将加工好后的晶圆放置夹套2中，工作人员能够推动滑板8带动整个载具本体1进行平稳移动，以便工作人员在运输线（图中未示出）上进行推出移动，当载具本体1移动到安装点时，工作人员能够转动定位螺栓10进行载具本体1的稳定安装，当载具本体1移动到合适位置后，工作人员能够将借助外力按压推动斜板3，通过移动块14和移动槽15的设置，能够保障推动斜板3的平稳移动，推动斜板3移动能够挤压从斜板5在导向槽4中移动，在阻尼块16和短弹簧17的弹性作用下，能够给予从斜板5后续复位的弹力，通过伸缩套18的设置，减少了短弹簧17在伸缩过程中出现扭斜的情况，从斜板5移动能够带动连接杆7推动两个夹套2倾斜，进而解除对晶圆的夹紧，以便工作人员进行晶圆的拿取，给工作人员的工作带来了便利。
[0026]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆载具，包括载具本体（1），其特征在于：所述载具本体（1）上靠近其内壁的顶部通过销轴转动连接有夹套（2），所述载具本体（1）的底部开设有通槽，所述通槽的内壁滑动连接有推动斜板（3），所述载具本体（1）内壁的底部开设有导向槽（4），所述导向槽（4）的内壁滑动连接有从斜板（5），所述从斜板（5）的表面与推动斜板（3）的表面滑动连接，所述从斜板（5）的侧面与载具本体（1）内壁的侧面之间固定连接有弹力件（6），所述从斜板（5）的顶部通过铰链座转动连接有连接杆（7），所述连接杆（7）的顶端通过铰链座与夹套（2）转动连接。2.根据权利要求1所述的一种晶圆载具，其特征在于：所述载具本体（1）的底部固定连接有滑板（8），所述滑板（8）的数量为四个，且数量为四个的滑板（8）均匀分布在载具本体（1）的左右两侧。3.根据权利要求2所述的一种晶圆载具，其特征在于：所述滑板（8）的侧面固定连接带有内螺纹槽的安装板（9），所述安装板（9）的内部螺纹连接有定位螺栓（10）。4.根据权利要求1所述的一种晶...

【专利技术属性】
技术研发人员：俞志敏，胡路，
申请(专利权)人：苏州北汀羽电子有限公司，
类型：新型
国别省市：