本技术提供了一种射频探针台，涉及射频探针台技术领域，包括：探针台底座和支撑部分；所述探针台底座放置在工作台上。因滑动管内螺纹连接有一根第二螺纹杆，第二螺纹杆转动连接在安装臂上；滑动臂上螺纹连接有一根用于滑动管锁紧的锁紧螺栓，当锁紧螺栓拧...

本技术提供一种真空高低温探针台，涉及温度测量设备技术领域，包括底座；所述底座顶部中间两侧位置固定连接有支撑架，支撑架为凵字形状设计，支撑架的内侧上方中间位置固定连接有定位台，定位台的底部位置固定连接有固定齿轮。将所需检测的材料放置在底座...

本申请涉及半导体技术领域，尤其是涉及一种晶圆检测方法

本实用新型提供一种晶圆测试探针台，涉及探针台技术领域，电机的顶端输出轴向上穿过支架，并凸出支架，且电机的顶端输出轴上安装有座体，解决现有的在进行探针连接时，由于缺乏有效的自动化调节标记结构，使得晶圆在进行测试时需要人工校准位置，容易导致...

本发明公开了一种探针座的自适应活动结构及其调节方法，包括利用螺钉固定安装在测试桌面上的固定底板，所述固定底板左侧上表面固定安装有放置台，且所述固定底板右侧上表面固定安装有探针座主体。该探针座的自适应活动结构及其调节方法，采用新型的结构设...

本发明公开了一种旋臂式防撞探针台及其使用检测方法，包括：基座，其顶部的左右两侧下凹式嵌入安装有探针台面；还包括：限位盘，其中部凸起固定于所述探针支座的底部中心处，且限位盘整体位于活动盘的中部活动孔内，并且活动盘的底部中心固定有万向球，万...

本申请涉及晶圆芯粒检测的技术领域，尤其涉及一种晶圆芯粒检测方法、装置、设备和介质，该方法包括：获取待检测晶圆的待检测晶圆图像和待检测晶圆的尺寸信息；基于待检测晶圆图像确定待检测晶圆上的所有芯粒各自对应的芯粒位置信息，并基于所有芯粒位置信...

本申请涉及一种晶圆检测的芯粒自动定位方法、系统、设备及介质，属于光电半导体检测技术领域，其包括获取晶圆整体图像；基于所述晶圆整体图像，获得位于X/Y数列的至少三个芯粒位置坐标；基于所述位于X/Y数列的至少三个芯粒位置坐标、芯粒的大小以及...

本申请涉及一种真空晶圆检测制冷装置，包括支撑架、支撑架顶板、探针台、测试机构、真空腔体、载物台、两级GM制冷机、加热环、外层真空罩、内层真空罩、环形稳定罩、制冷机安装板、配重块和承载板。本申请采用两级GM制冷机提供冷量，避免使用液氮、液...

本申请涉及一种检测晶圆双面的架体，包括圆盘支架、连接支架以及底座，所述圆盘支架包括有外圈架、内圈架、连接架以及调节架，所述内圈架设置有定位孔，所述连接架与所述外圈架和所述内圈架连接，所述调节架设置在所述连接架上，所述调节架的端部设置有单...

本申请涉及一种具有沟槽式晶圆检测吸盘的探针台，属于晶圆测试的技术领域，其包括用于吸附晶圆的吸附吸盘，吸附吸盘的轴心上开设有轴心气孔，吸附吸盘上还开设有若干数量的吸附沟槽，且若干数量的吸附沟槽围绕轴心气孔开设，轴心气孔和吸附沟槽均用于吸附...

本申请涉及一种晶圆检测的方法、装置及存储介质，该方法包括获取晶圆的晶圆类型，将晶圆类型在预设模板库中进行匹配，预设模板库中包括预设晶圆类型以及预设晶圆类型对应的检测模板，若匹配成功，则获取与晶圆类型相同的预设晶圆类型对应的检测模板，按照...

本申请涉及一种具有双面晶圆检测显微镜的检测台，包括架体、显微镜主体、调节架以及伸缩旋转架，整个装置设置在机架上，所述调节架包括L形连接板、第一调节组件以及第二调节组件，所述第一调节组件固定设置在L形连接板上，所述第一调节组件包括套环件，...

本申请涉及一种具有安装卡盘的探针台，属于晶圆检测的技术领域，其包括操作台，操作台上开设有安装孔，操作台的边沿处开设有卸料口，且安装孔与卸料口连通，操作台上还可拆卸设置有安装卡盘，安装卡盘上具有安装载体以及手持板，安装载体设置于安装孔内，...

本申请涉及一种多功能晶圆检测的探针台，属于硅晶片测试的技术领域，其包括安装平台、第一探针组件、第二探针组件和晶圆固定框，第一探针组件和第二探针组件均设置于安装平台上，晶圆固定框活动设置于安装平台上，晶圆固定框镂空式设置，晶圆固定框用于承...

本申请涉及一种晶圆检测台防震底座，涉及设备防震的技术领域，其包括机架、底板、配重块、盖板以及承载板，所述底板固定设置于机架的底部，所述配重块固定设置于所述底板的顶面，所述配重块包括所述避让块以及支撑块，所述避让块设置于所述支撑块的顶面，...

本实用新型公开了一种探针座，包括磁力吸附开关底座、三维调节装置和探针夹具倾仰装置；所述磁力吸附开关底座包括实现磁力吸附的打开与关闭的磁铁固定装置，所述三维调节装置位于磁力吸附开关底座上方，包括：第一固定座和控制探针座前后移动的第一微分头...

本实用新型半导体测试技术领域，尤其涉及一种用于半导体器件的真空高低温测试探针台，包括真空腔体、三维移动机构、电学测试机构、光学测试机构和光学观察机构，真空腔体设置电信接口、冷源接口、抽气接口和三维移动机构接口，并且真空腔体内设置载物台，...

本实用新型属于半导体测试技术领域，尤其涉及一种用于半导体器件的非真空变温测试探针台，包括针座平台、密闭罩、透视罩和载物台，所述针座平台中部开设通孔，所述密闭罩固接于针座平台通孔的下方，针座平台、密闭罩、透视罩组成一个非绝对密封的密闭环境...

本实用新型属于半导体测试技术领域，尤其涉及一种具有气动快速调节载物台和显微镜的探针台，包括底座、针座平台、载物台、探针座和显微镜，针座平台开设通孔，载物台对应设置于针座平台开设的通孔处，探针座安装于针座平台上，且环绕针座平台开设的通孔设...