【技术实现步骤摘要】
一种旋臂式防撞探针台及其使用检测方法
[0001]本专利技术涉及探针台
，具体为一种旋臂式防撞探针台及其使用检测方法。
技术介绍
[0002]探针台主要是应用于半导体行业、光电行业及芯片结构上的技术检测使用，对其检测工件进行高精密电学测量，而随着行业发展，探针台所应用的场景和测量的工件种类也更加广泛，为了提高工件测量检测使用的精准性，防止外力作用导致的探针检测的冲击和反震作用损坏，探针台的使用碰撞防护也将成为重要的不可忽视因素。
[0003]现有的探针台如公开号为CN211125600U的“一种用于半导体器件测试的精密调节探针台”，包括底座、针座平台、载物台和探针座
……
底座和针座平台之间设置的升降机构还包括快速升降调节机构和微调机构，用以控制针座平台的升降，从而调节针座平台上所有探针与载物台之间的距离，相比单独一个个调节每个探针与载物台之间的距离，效率更高；
[0004]其在使用时探针结构直接外置使用，根据其使用要求改变个数需要，但是由于探针台现被应用于过于广泛，在复杂的作业区域环境中，其容易在使用的过程中，因人为辅助操作和调节，出现探针结构在使用过程中外力冲击碰撞，其冲击碰撞一般作用在探针本体和探针基座两部分，其中探针基座由于进行主要承载受力，所受荷载冲击大，且范围更广，在受到碰撞冲击时，外力作用的反震作用会持续传导，造成探针结构及其传动构件的内部振荡，导致其出现精密性失稳，整体功能出现碰撞的损坏，因此需要在探针结构的基础上进行改进，设置防撞降低反震冲击的探针机构。>[0005]针对上述问题，急需在原有探针台的基础上进行创新设计。
技术实现思路
[0006]本专利技术的目的在于提供一种旋臂式防撞探针台及其使用检测方法，以解决上述
技术介绍
提出现有探针台在受到碰撞冲击时，外力作用的反震作用会持续传导，造成探针结构及其传动构件的内部振荡，导致其出现精密性失稳，整体功能出现碰撞的损坏的问题。
[0007]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种旋臂式防撞探针台，包括：
[0008]基座，其顶部的左右两侧下凹式嵌入安装有探针台面，且探针台面的底部固定有定位架，并且探针台面的顶部设置有探针本体，而且探针本体的底部转动式安装有探针支座；
[0009]还包括：
[0010]限位盘，其中部凸起固定于所述探针支座的底部中心处，且限位盘整体位于活动盘的中部活动孔内，并且活动盘的底部中心固定有万向球，万向球与定位底座的顶部中心嵌入式活动安装；
[0011]缓冲液囊，呈环形位于定位底座的顶部边缘处，且定位底座的底部嵌入式安装有电磁定位器和无线充电台，无线充电台与定位架之间的无线续电支座耦合，定位底座设置
于探针台面顶面。
[0012]采用上述技术方案，便于探针支座及探针本体的移动和安装使用定位，同时在受到碰撞时，能够良好削弱振荡作用力。
[0013]优选的，所述限位盘与活动盘设置为相对滑动结构，且限位盘的顶部及底部均固定有活动支环，活动支环与活动孔的顶部及底部内壁为滚动连接。
[0014]采用上述技术方案，使得限位盘与活动盘在进行相对移动时，其连接处良好滑动，不会发生摩擦反震。
[0015]优选的，所述活动支环由圆环与滚珠组合设置，且圆环与活动支环之间同轴分布，并且滚珠在圆环上为等角度均匀分布，而且滚珠与圆环之间构成嵌入式的相对滑动连接。
[0016]采用上述技术方案，提高活动支环的安装稳定，在使用时整体滑动更加流畅。
[0017]优选的，所述限位盘的顶部中心凸起结构与活动孔的顶部贯穿孔均设置为横截面为正多边形结构，该正多边形边个数不小于8个，并且限位盘的顶部中心凸起结构外壁与活动孔的顶部贯穿孔之间安装有限位销，限位销的个数与正多边形边个数相同，而且限位盘的顶部凸起结构中内嵌安装有压力控位器。
[0018]采用上述技术方案，通过限位销进行限位盘和活动盘之间的连接定位，使得两者在定位后呈刚性连接加固。
[0019]优选的，所述压力控位器为壳体结构设置，且压力控位器的内部嵌入式安装电磁体，电磁体下方的限位盘内活动安装有推进支架，其安装处固定有弹性件；
[0020]所述限位销由外套筒和限位杆两部分组成，且外套筒和限位杆的外部末端分别位于限位盘和活动孔的外壁，外套筒与限位杆为贯穿的相对伸缩结构，两者伸缩连接处均固定有永磁体，并且外套筒靠近限位盘的末端内部活动安装有控位杆，而且外套筒的内部与限位盘的凸起结构内部贯通，其内设置有液压油液。
[0021]采用上述技术方案，通过压力控位器的使用调整限位销的伸缩，从而在必要时解除限位盘和活动盘之间的刚性连接状态，实现反作用力的卸载减震。
[0022]优选的，所述推进支架与限位盘，控位杆与外套筒均构成相对密封贴合式的相对滑动结构，且控位杆的两端分别设置为“T”字型和球状结构，其球状末端与限位杆之间横向同轴分布；而且限位杆和外套筒之间的电磁体相对面磁性设置相同。
[0023]采用上述技术方案，利用控位杆实现限位杆限位，在其解除限位后，限位杆能够自由伸缩并在磁力作用下，具有良好的缓冲防护效果。
[0024]优选的，所述限位杆的外部末端与活动孔的顶部贯穿孔内壁之间可以通过弹性软带连接，也可以限位杆的外部末端套设有防撞弹性垫，该防撞弹性垫与活动孔的顶部贯穿孔内壁之间接触式相连，同时限位杆与活动孔的顶部贯穿孔位于同一水平面内。
[0025]采用上述技术方案，使得限位杆在限位时能够对活动孔的内壁紧压，达到限位盘的限位，在解除限位后，可进行限位盘的横向移动和缓冲保护，不会发生横向移动错位失稳。
[0026]优选的，所述缓冲液囊与活动盘和定位底座之间均为固定连接，且活动盘的底面与定位底座的顶面之间预留有间距，而且缓冲液囊顶面等角度均匀设置有压力检测器，压力检测器与压力控位器内部电路通信连接。
[0027]采用上述技术方案，通过缓冲液囊作用进行探针检测碰撞的一次减震。
[0028]优选的，所述压力检测器的内部中心处固定有压力传感器，且压力检测器的顶部还固定有弹性气囊，并且弹性气囊的内侧壁嵌入式安装有弹性网，而且弹性气囊的顶部内壁中部固定有压盘，同时弹性气囊的外边缘处还分布有泄压气囊。
[0029]采用上述技术方案，使得压力检测器常规状态下能够进行活动盘的底部支撑定位，在其摇摆倾斜时，因压力作用检测并启动。
[0030]优选的，所述压盘与压力传感器之间竖向同轴分布，且两者之间预留有缝隙，并且泄压气囊与弹性气囊的内部相互贯通。
[0031]采用上述技术方案，便于横向泄压，使得压力检测器在使用时能够收缩并复位。
[0032]本专利技术还提供了一种旋臂式防撞探针台的使用检测方法，还包括以下步骤：
[0033]S1:首先根据探针检测的方位调整探针本体的位置，通过活动盘在探针台面顶部的位置移动调节；放置定位后无线续电支座和无线充电台耦合，为探针本体进行使用电能供给，利用无线信号控制其使用，并使得本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种旋臂式防撞探针台，包括：基座(1)，其顶部的左右两侧下凹式嵌入安装有探针台面(2)，且探针台面(2)的底部固定有定位架(3)，并且探针台面(2)的顶部设置有探针本体(5)，而且探针本体(5)的底部转动式安装有探针支座(6)；其特征在于，还包括：限位盘(7)，其中部凸起固定于所述探针支座(6)的底部中心处，且限位盘(7)整体位于活动盘(8)的中部活动孔(9)内，并且活动盘(8)的底部中心固定有万向球(10)，万向球(10)与定位底座(11)的顶部中心嵌入式活动安装；缓冲液囊(12)，呈环形位于定位底座(11)的顶部边缘处，且定位底座(11)的底部嵌入式安装有电磁定位器(13)和无线充电台(14)，无线充电台(14)与定位架(3)之间的无线续电支座(4)耦合，定位底座(11)设置于探针台面(2)顶面。2.根据权利要求1所述的一种旋臂式防撞探针台，其特征在于：所述限位盘(7)与活动盘(8)设置为相对滑动结构，且限位盘(7)的顶部及底部均固定有活动支环(15)，活动支环(15)与活动孔(9)的顶部及底部内壁为滚动连接。3.根据权利要求2所述的一种旋臂式防撞探针台，其特征在于：所述活动支环(15)由圆环与滚珠组合设置，且圆环与活动支环(15)之间同轴分布，并且滚珠在圆环上为等角度均匀分布，而且滚珠与圆环之间构成嵌入式的相对滑动连接。4.根据权利要求2所述的一种旋臂式防撞探针台，其特征在于：所述限位盘(7)的顶部中心凸起结构与活动孔(9)的顶部贯穿孔均设置为横截面为正多边形结构，该正多边形边个数不小于8个，并且限位盘(7)的顶部中心凸起结构外壁与活动孔(9)的顶部贯穿孔之间安装有限位销(18)，限位销(18)的个数与正多边形边个数相同，而且限位盘(7)的顶部凸起结构中内嵌安装有压力控位器(17)。5.根据权利要求4所述的一种旋臂式防撞探针台，其特征在于：所述压力控位器(17)为壳体结构设置，且压力控位器(17)的内部嵌入式安装电磁体(1701)，电磁体(1701)下方的限位盘(7)内活动安装有推进支架(1702)，其安装处固定有弹性件；所述限位销(18)由外套筒(1801)和限位杆(1802)两部分组成，且外套筒(1801)和限位杆(1802)的外部末端分别位于限位盘(7)和活动孔(9)的外壁，外套筒(1801)与限位杆(1802)为贯穿的相对伸缩结构，两者伸缩连接处均固定有永磁体(1803)，并且外套筒(1801)靠近限位盘(7)的末端内部活动安装有控位杆(1804)，而且外套筒(1801)的内部与限位盘(7)的凸起结构内部贯通，其内设置有液压油液。6.根据权利要求5所述的一种旋臂式防撞探针台，其特征在于：所述推进支架(1702)与限位盘(7)，控位杆(1804)与外套筒(1801)均构成相对密封贴合式的相对滑动结构，且控位杆(1804)的两端分别设置为“T”字型和球状结构，其球状末端与限位杆(1802)之间横向同轴分布；而且限位杆(1802)和外套筒(1...
【专利技术属性】
技术研发人员：肖体春，陈树杰，刘名臣，李付超，
申请(专利权)人：深圳市森东宝科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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