本发明公开的一种集成固态微波源的微波传输系统，所述系统包括：固态发生器、阻抗匹配调节装置、微波传导元件和控制器，其中，所述固态发生器用于根据所接收的控制信号产生第一微波能量并输出至所述微波传导元件，所述固态发生器包括具有不同参数的多个固...

本发明涉及一种微波谐振腔，包括：圆柱形腔室，包括嵌套的多个圆柱形腔体，用于容纳气态等离子体，所述多个圆柱形腔体具有不同尺寸；耦合天线，位于所述圆柱形腔室内部；微波窗口，用于透射微波；位于所述圆柱形腔体的腔体壁上的抽气孔，用于通过外部真空...

本申请公开了复合式等离子体源系统与分体式远程等离子体设备，复合式等离子体源系统包括电源装置、等离子体设备、第一分体式等离子体装置与电力分配装置。电源装置用于提供工作电力。第一分体式等离子体装置与等离子体设备连接。电力分配装置用于实现以下...

本申请涉及一种等离子体腔室电弧抑制方法、装置和射频电源系统。所述方法包括：对等离子体腔室进行电弧检测；电弧检测包括反射率检测、斜率检测和压力检测；根据反射率检测、斜率检测和压力检测中的任一种确定等离子体腔室内是否有电弧产生；若有电弧产生...

本实用新型涉及一种阻抗检测器及阻抗检测系统，所述阻抗检测器中，箱体内设置有第一容纳区和第二容纳区；电传感探头组件设置在第一容纳区；主控板设置在第二容纳区，主控板包括电路基板和设置在电路基板上的处理电路；处理电路与电传感探头组件电性连接。...

本申请提出一种双频匹配器，该双频匹配器包括：双频匹配器包括控制模块、低频部分和高频部分，低频部分包括低频阻抗匹配网络，高频部分包括高频阻抗匹配网络；控制模块，用于根据低频部分的第一阻抗、高频部分的第二阻抗和负载阻抗生成用于调节双频匹配器...

本申请提供一种射频电源及其分时控制多个负载运行的控制装置，该控制装置包括电源、主控模块、驱动模块和分时开关模块，分时开关模块用于与数个负载连接；主控模块用于控制驱动模块的运行；驱动模块用于交替控制分时开关模块中各个开关元件的开启或关闭，...

本申请涉及一种射频电源系统。所述系统包括：所述射频电源系统包括射频电源、阻抗匹配网络、阻抗调节网络和负载阻抗，所述阻抗匹配网络分别与所述射频电源、所述阻抗调节网络、所述负载阻抗电性连接，所述阻抗调节网络还与所述负载阻抗电性连接，所述阻抗...

本申请提供一种射频电源，包括电源本体以及与电源本体输出端连接的检测模块，检测模块包括与电源本体连接的输出电缆以及与输出电缆连接的电流检测元件和电压检测元件；电流检测元件用于检测输出电缆的电流；电压检测元件，于检测输出电缆的电压。该射频电...

本实用新型涉及一种碳化硅MOSFET驱动电路、开关电源及电子设备，所述驱动电路中，第一钳位电路在接收到的初级绕组传输的电压信号为正电压信号时，驱动第一碳化硅MOSFET导通；第一钳位电路在接收到的初级绕组传输的电压信号为负电压信号时，驱...

本申请涉及一种射频阻抗匹配装置和方法，所述射频阻抗匹配装置包括：传感器模块、分数阶控制器、驱动模块以及可变阻抗电路。通过传感器模块检测射频发生装置的射频输出阻抗和可变阻抗电路的当前阻抗，由分数阶控制器计算得到可变阻抗电路的当前误差阻抗，...

本申请涉及一种阻抗匹配网络调节方法。所述方法包括：所述阻抗调节网络根据阻抗匹配网络与负载阻抗之间的入射信号和反射信号，生成至少一个控制电压，并将所述控制电压发送至所述阻抗匹配网络，其中，所述入射信号为所述阻抗匹配网络传递至所述负载阻抗的...

本申请提出一种双频匹配器的阻抗匹配方法及双频匹配器，该方法包括：获取低频输入端的第一驻波比和高频输入端的第二驻波比；若第一驻波比不满足第一条件，和/或，第二驻波比不满足第二条件，则获取低频输入端的第一阻抗和高频输入端的第二阻抗；获取双频...

本申请提供一种射频电源，包括电源本体以及与电源本体输出端连接的检测模块，检测模块包括与电源本体连接的输出电缆以及与输出电缆连接的电流检测元件和电压检测元件；电流检测元件用于检测输出电缆的电流；电压检测元件，于检测输出电缆的电压。该射频电...

本申请提出一种阻抗匹配的调节的方法及阻抗匹配电路，该方法包括：获取阻抗匹配电路的负载阻抗和源阻抗；根据负载阻抗计算得到输入阻抗；若输入阻抗的电阻值与源阻抗的电阻值的第一差值的绝对值超过第一预设值，和/或，输入阻抗的电抗值与源阻抗的电抗值...

本申请涉及一种阻抗匹配调节方法、装置、射频电源系统和存储介质，采集射频电源系统中的阻抗匹配网络和负载之间的入射波和反射波，获取入射波和反射波之间的幅值差值信号和相角差值信号，根据幅值差值信号和幅值差值信号生成电容控制信号，通过电容控制信...

本发明涉及一种阻抗检测方法、阻抗检测器及系统，所述阻抗检测方法中，通过获取待检测电路的电信号数据；对电信号数据进行校正处理，得到电压实部数据、电压虚部数据、电流实部数据和电流虚部数据；根据电压实部数据、电压虚部数据、电流实部数据和电流虚...

本申请提供一种射频电源及其分时多个负载运行的控制方法、装置和设备，该方法包括获取N个开关元件以及分时控制n个负载运行的循环周期T，循环周期T包括N个过渡时间和与N个开关元件对应的开启时间，每个开关元件均与一个负载连接；若电源输出电压的时...

本发明涉及一种碳化硅MOSFET驱动电路、开关电源及电子设备，所述驱动电路中，第一钳位电路在接收到的第一电压信号为正电压信号时，驱动第一碳化硅MOSFET导通；第一钳位电路在接收到的第一电压信号为负电压信号时，驱动第一碳化硅MOSFET...

本申请涉及一种双H桥移相变换器，包括第一驱动模块、第二驱动模块、固定相位H桥、可变相位H桥和功率合并模块。第一固定驱动信号和第二固定驱动信号分别通过第一驱动模块转换为第一至四驱动信号，驱动固定相位H桥中的四个开关模块工作。第一可变驱动信...